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- [实用新型]一种半导体晶圆涂胶用匀胶机-CN202320093553.0有效
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唐伟东;周晓娟;张阳芳
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苏州杉树园半导体设备有限公司
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2023-01-31
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2023-06-09
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B05C13/02
- 本实用新型涉及晶圆生产技术领域，公开了一种半导体晶圆涂胶用匀胶机，包括底座，底座上设置有滴胶设备主体，所述底座上固定安装有气室，气室上转动安装有转动管，转动管贯穿气室侧壁且转动管远离气室的一端固定安装有顶板，顶板远离底座的表面固定安装有同心分布的第一垫圈和第二垫圈，所述转动管远离气室的一端固定安装有吸盘，所述底座上固定安装有通过连通管与气室连通的抽气泵。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：实现了晶圆的快速定位和夹紧，保证夹紧定位的同时能够避免夹紧力较大损坏晶圆，保证了晶圆转动轴线与顶板的转动轴线重合，提高了晶圆转动的稳定性，进而提高后续涂胶的均匀性，有利于涂胶使用。
- 一种半导体涂胶用匀胶机
- [实用新型]一种晶圆涂胶治具-CN202320150583.0有效
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唐伟东;周晓娟;张阳芳
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苏州杉树园半导体设备有限公司
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2023-02-08
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2023-06-02
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B05C13/02
- 本实用新型涉及晶圆生产装置技术领域，公开了一种晶圆涂胶治具，包括底座，底座上开设有多组间隔分布的通孔，所述底座一侧表面固定安装有第一伸缩件，第一伸缩件输出端固定安装有气室，气室上连通有多组分别伸入不同通孔内的吸气管，吸气管远离气室的一端连通有吸盘，所述底座一侧表面固定安装有抽气泵，抽气泵通过连通管与气室连通，所述底座远离第一伸缩件的表面固定安装有对称分布的支板。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：实现晶圆的快速定位和夹持，能够保证夹持稳定性的同时避免夹紧力度较大损坏晶圆，能够对晶圆的一侧表面进行吸附同时从晶圆的外侧对晶圆进行限制，从而保证后续晶圆涂胶的稳定性和均匀性，有利于使用。
- 一种涂胶
- [发明专利]一种高稳定型通信基站-CN202310192488.1在审
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曹军;徐小军;查裕江;唐伟东
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浙江新展通信技术有限公司
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2023-03-02
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2023-05-30
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H04Q1/04
- 本申请公开了一种高稳定型通信基站，属于通信基站领域，通过在多个天线外侧增设固定连接的内罩体，并在内罩体外部套设具有弹性的外弹性套，当风速传感器检测到的气流大于安全范围内的气流值时，且通过风向传感器判断气流流动方向，将数据传递至中央控制模块，并利用中央控制模块将信号传递至该气流流动方向的电磁片处，电磁片启动后对与其位置对应的排风嘴进行磁性排斥，该处的外弹性套被向外推动形成尖状的机头形状，将迎风面积降至最小，并通过排风嘴与排流套管的配合将气流向分流管下方进行排流，且向下排流有助于提高内罩体与分流管整体稳固性，进而双重增强微通信基站的抗风能力。
- 一种稳定通信基站
- [实用新型]一种嵌入式通信天线设备箱-CN202223383825.5有效
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曹军;凌界;唐伟东;徐小军
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浙江新展通信技术有限公司
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2022-12-16
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2023-03-21
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H04Q1/02
- 本实用新型公开了涉及通信天线设备箱技术领域的一种嵌入式通信天线设备箱，包括外箱体，外箱体的内部设有内壳体，内壳体与外箱体之间设有散热空腔，内壳体的内部表面设有多个导热板，导热板靠近内壳体的一侧设有制冷片，制冷片的外周设有导热棒，制冷片放热端设有散热翅片，内壳体的内部设有隔板，隔板的一端内侧设有抽气扇，内壳体的两端内部设有排风扇，通过设有的导热板、制冷片和散热翅片，将内壳体内部零部件产生的热量传递至散热空腔的内部，通过抽气扇和排风扇来对散热空腔内部的热量进行驱散，有效的保证了散热效率，同时避免直接在设备箱上开孔进行通风散热会导致大量的灰尘进入，影响内部零部件的运行，降低其寿命。
- 一种嵌入式通信天线设备
- [实用新型]一种半导体器件真空蒸镀设备-CN202222458591.X有效
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唐伟东;周晓娟
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苏州杉树园半导体设备有限公司
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2022-09-16
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2023-01-10
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C23C14/24
- 本实用新型属于真空蒸镀技术领域，尤其为一种半导体器件真空蒸镀设备，包括真空仓，所述真空仓的一侧固定设有安装座，所述安装座的底部固定设有真空泵，所述真空仓的正面活动设有密封门，所述真空仓的正面固定设有控制面板，所述真空仓的顶部内壁上固定设有转动电机，所述转动电机的输出轴上固定设有基板，所述真空仓的底部内壁上固定设有蒸发盘，所述蒸发盘的顶部设有蒸发材料，本实用新型通过设置滑槽、隔板、弹簧、连接杆和操作柄等部件，能够调整过料孔的开闭大小，从而实现对蒸发粒子的数量调节，能够降低粒子在基片上凝结成膜速率，转动电机的设置，能够带动底部的半导体材料转动，实现较好的成膜均匀性。
- 一种半导体器件真空设备
- [实用新型]一种半导体用等离子清洗装置-CN202222460188.0有效
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唐伟东;周晓娟
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苏州杉树园半导体设备有限公司
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2022-09-17
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2023-01-10
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B08B5/02
- 本实用新型公开了种半导体用等离子清洗装置，包括控制台，所述控制台上设置有机架，所述机架的外侧设置有壳体，所述壳体的内侧设置有旋转组件，所述旋转组件包括驱动电机和载物盘，所述载物盘上设置有若干个放置槽，所述驱动电机的外侧设置有废气收集组件，所述机架上废气收集组件的上侧设置有等离子清洗组件。本实用新型通过光电传感器一与光电传感器二进行精确定位，当载物盘转动到指定角度时，驱动电机停止工作，等离子发生器与等离子发射器进行工作，实现精确定位，保证清洗精度与效率，同时还利用海绵层进行增大摩擦力，加快减速载物盘减速停止，提高定位精度，以及在清洗时避免杂质飞出吹气罩，保证工作区的洁净。
- 一种半导体等离子清洗装置
- [实用新型]一种半导体自动清洗设备-CN202222468086.3有效
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唐伟东;周晓娟
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苏州杉树园半导体设备有限公司
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2022-09-19
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2023-01-03
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B08B3/08
- 本实用新型公开了一种半导体自动清洗设备，包括设备箱体，所述设备箱体上从左到右依次设置有氧化处理槽、溶解槽和去离子清洗槽，所述氧化处理槽和所述溶解槽、所述溶解槽和所述去离子清洗槽间设置有立式隔板，所述设备箱体的上端面两侧对称设置有两列多个组合块，两侧两列多个组合块的上端面设置有支撑板，所述支撑板的下端面且分别对应氧化处理槽、溶解槽和去离子清洗槽固定设置有相应数量的伸缩气缸，每个所述伸缩气缸的底端设置有水平导轨，相对两个所述水平导轨间活动设置有支架，所述支架的内槽底部设置有置料盒，两侧两列所述组合块的外侧上部设置有风干风机。本实用新型可以实现良好的半导体硅清洗效果。
- 一种半导体自动清洗设备
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