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- [实用新型]一种半导体设备陶瓷件-CN202320982471.1有效
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周小琳
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苏州金琳芯半导体科技有限公司
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2023-04-26
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2023-10-10
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F16L41/08
- 本实用新型公开了一种半导体设备陶瓷件，涉及半导体加工技术领域，该半导体设备陶瓷件，包括第一陶瓷圆盘和安装在第一陶瓷圆盘一侧表面的第二陶瓷圆盘，所述第一陶瓷圆盘的另一侧表面安装有气密连接机构，所述第二陶瓷圆盘的内部开设有主气动孔，所述主气动孔外侧的第二陶瓷圆盘一侧表面开设有若干个延展槽，所述延展槽之间连接有连接横槽，所述延展槽外侧的第二陶瓷圆盘一侧表面开设有防落槽。本实用新型通过气动接管连通主气动孔，通过连接横槽进一步连接至延展槽，同时通过防落槽和加强吸附孔进一步增大吸附面积和吸附力，保证了晶圆转移过程中的稳定性，避免由于晶圆存在翘曲变形的情况，导致在搬运此类晶圆时发生真空泄露的问题。
- 一种半导体设备陶瓷
- [发明专利]一种晶圆搬运装置-CN202310721552.0在审
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周小琳;张峰宁
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苏州金琳芯半导体科技有限公司
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2023-06-19
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2023-08-25
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H01L21/677
- 本申请涉及一种晶圆搬运装置，涉及搬运设备领域，为了解决自动化程度高的工厂对晶圆的搬运精准便捷，且机械手的适应性更高，但与此同时，自动化程度高的设备价格都较高的问题，本申请的方案包括横纵移动机构，所述横纵移动机构上设置有伸缩气缸，所述伸缩气缸的活塞杆上铰接有第一转动板和第二转动板，所述第一转动板和第二转动板之间设置有控制两者角度的角度调节组件；所述第一转动板远离伸缩气缸的一端设置有第一夹持板，所述第二转动板远离伸缩气缸的一端设置有第二夹持板，所述第一夹持板和第二夹持板相对方向的侧壁均设置有柔软垫。本申请具有实现晶圆搬运且适应性高的基础设备的效果。
- 一种搬运装置
- [发明专利]一种等离子体清洗设备-CN202310686079.7在审
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周小琳;张峰宁
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苏州金琳芯半导体科技有限公司
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2023-06-12
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2023-08-11
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B08B7/00
- 本申请涉及一种等离子体清洗设备，涉及半导体行业中对基板清洗的领域，尤其是涉及一种等离子体清洗设备。其包括等离子体喷射模块及基板输送模块，所述基板输送模块包括输送轨道、经过输送轨道的输送带、分布于输送带上的若干基板座，所述基板座转动设置有安装平台，所述输送轨道或所述基板座设置有用于驱使安装平台相对于基板座转动的驱动件。实际加工过程中，基板安装至安装平台上，安装平台随输送带的传送沿输送轨道运动，运动过程中，驱动件持续地驱使安装平台转动，从而使得等离子体喷射模块喷出的等离子体最终落在持续旋转的基板上，这样，即可使得等离子体的实际喷射均匀度不易受到基板输送速度不均带来的影响。
- 一种等离子体清洗设备
- [实用新型]一种高精度半导体设备气体喷淋头-CN202320720048.4有效
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周小琳
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苏州金琳芯半导体科技有限公司
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2023-04-04
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2023-08-08
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C23C16/455
- 本实用新型公开了一种高精度半导体设备气体喷淋头，属于气体喷淋头领域。一种高精度半导体设备气体喷淋头，包括：喷淋头本体，所述喷淋头本体上部连接有连接管，所述连接管内侧腔体部位由上到下依次设置有过滤板、喷淋板；本实用新型中，通过在喷淋头本体的侧边中心对称设置三组固定件可有效将喷淋板连接固定在喷淋头本体底部，利用固定件上滑槽及按压组件上插杆的相互配合可快速完成对喷淋板的装配与拆卸，同时方便了操作人员对喷淋板与喷淋头本体内过滤板检修及更换；设置驱动组件可驱动清扫组件上的内侧刮板、外侧刮板分别对喷淋板内外表面沉积的副产物进行及时清除，避免了喷淋板上的喷淋气孔堵塞，确保了气体的输送效率。
- 一种高精度半导体设备气体喷淋
- [发明专利]一种用于脊髓损伤的电刺激系统及方法-CN202310608901.8在审
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周小琳;李骁健
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深圳先进技术研究院
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2023-05-25
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2023-08-04
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A61N1/36
- 本发明公开了一种用于脊髓损伤的电刺激系统及方法，该系统包括：水凝胶电极、数据采集器、控制器、电刺激器，水凝胶电极包括贴附于目标对象的脊髓断裂处的上截面的第一水凝胶电极和贴附于上截面对应的下截面第二水凝胶电极；水凝胶电极用于采集目标对象的脊髓断裂处神经束的电生理信号；数据采集器分别与各水凝胶电极电连接，用于接收来自水凝胶电极的电生理信号并转换为对应的电生理数字信号；控制器与数据采集器连接，用于分别对电生理数字信号进行数据处理，得到对应的电刺激信号；电刺激器分别与控制器、各水凝胶电极连接，用于基于电刺激信号通过水凝胶电极对对应的神经束进行电刺激，以诱发相应的神经冲动实现生理功能。
- 一种用于脊髓损伤刺激系统方法
- [实用新型]一种半导体蚀刻工艺专用石英环-CN202320717292.5有效
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周小琳
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苏州金琳芯半导体科技有限公司
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2023-04-04
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2023-08-01
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H01L21/683
- 本实用新型公开了一种半导体蚀刻工艺专用石英环，属于半导体蚀刻工艺领域。一种半导体蚀刻工艺专用石英环，包括：石英保护环，所述石英保护环内侧嵌合设置有晶圆承载盘，所述石英保护环外侧嵌合设置有接地承载盘；本实用新型中，通过在石英保护环上设置吸附区，方便了在对石英保护环整体向上拆卸过程中配合拆装装置上的弧形吸嘴吸附，且吸附区微微凹入，增大了弧形吸嘴的吸附面积，使得真空负压吸附时更为紧固；石英保护环上的凸点与接地承载盘上圆孔相互匹配卡接，防止了石英保护环在工作时脱离偏位，再配合石英保护环上嵌入环、凸块与圆槽一、平口及圆槽二的相互匹配嵌合，保证了石英保护环安装过程中位置更加精准，装配质量更加稳定。
- 一种半导体蚀刻工艺专用石英
- [发明专利]一种船用浮游植物打捞装置-CN202111271290.X有效
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李敏;巫世晶;周小琳;习杨;蔡景润;魏志航
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武汉大学
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2021-10-29
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2023-06-27
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E02B15/10
- 本发明涉及一种船用浮游植物打捞装置，包括支架系统、收集系统、脱水系统和支撑系统；支架系统包括钢架以及两侧挡板；收集系统包括收集装置与连杆装置，其中收集系统包括滚叉和底板，滚叉将浮游植物进行打捞并在运动过程中与底板相配合将浮游植物留在底板上等待运输，连杆装置将浮游植物运输到脱水系统；脱水系统通过基座安装在支架后半段用于对对浮游植物进行挤压脱水，同时将浮游植物运输至末端落入船舱；支撑系统实现整体装置的固定及角度调整。本发明利用连杆机构与传送带滚筒对浮游植物进行两级脱水与运输，可有效提高浮游植物打捞运输量；同时整体装置可便携拆卸，可安装在不同船只上进行跨水域作业，设备购置以及运输成本低。
- 一种浮游植物打捞装置
- [实用新型]一种双向牵引的ESD术圈套器-CN202320152744.X有效
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张静平;周小琳;徐依雯
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罗田县人民医院
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2023-02-08
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2023-06-27
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A61B17/12
- 本实用新型公开了一种双向牵引的ESD术圈套器，包括圈套器本体及设置在圈套器本体上的连接导管，所述连接导管上安装有圈套芯，所述圈套器本体上转动连接有用于圈套芯使用过程中转动的旋钮，还包括固定在圈套器本体上的安装板，所述旋钮上固定有套管，所述安装板上设置有用于旋钮转动的转动组件。本实用新型的双向牵引的ESD术圈套器，通过传动组件、调节组件的相互配合，既能使套管及旋钮以较快的转动速度进行转动调节，便于圈套芯的快速调节，也能使套管及旋钮以较低的速度进行转动微调，降低因旋钮转动的幅度过大造成圈套芯转动的角度不符合要求的几率。
- 一种双向牵引esd圈套
- [实用新型]数码电子雷管起爆器-CN202223116239.4有效
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陈召锋;赵会彬;周小琳
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北京丹灵云科技有限责任公司
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2022-11-23
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2023-03-28
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F42C19/12
- 本实用新型公开了数码电子雷管起爆器，涉及起爆器技术领域，包括起爆器本体，所述起爆器本体表面设置有安装机构，所述安装机构的上表面设置有安装面板，所述安装面板的表面设置有按键，所述安装面板的表面开设有插口，所述安装面板的表面固定连接有显示屏。本实用新型通过固定杆、滑杆、移动板、卡块、螺纹杆、弹簧一、弹簧板、滚轮一、伸缩轴的相互配合，按压小把手从而使固定杆挤压滚轮一滚动并使弹簧板挤压弹簧一和伸缩轴，当固定杆的下端与安装机构内部接触时由于弹簧一的作用，使滚轮一卡住固定杆内部，再通过摇动螺纹杆使移动板在滑杆上移动，并使卡块卡住固定杆，解决了安装和拆卸螺钉麻烦的问题，达到了安装和拆卸效率提升的效果。
- 数码电子雷管起爆
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