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[发明专利]一种基于视觉的石墨舟倒片检测方法、装置及系统-CN202010598314.1有效
发明人：刘帅;谢成;成秋云;朱辉;张春城;吴德轶 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2020-06-28 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于视觉的石墨舟倒片检测方法、装置及系统，属于管式PECVD设备技术领域，用于解决目前倒片检测结构复杂、检测精度低的技术问题，此方法包括步骤：获取在石墨舟的不同位置采集的石墨舟图像；2)对各石墨舟图像进行图像处理，得到石墨舟图像中硅片边缘与较近的石墨舟槽边缘距离的较大距离值；3)基于较大距离值判断对应的石墨舟槽内的硅片是否存在倒片。本发明具有检测精度高、检测可靠性高等优点。
一种基于视觉石墨舟倒片检测方法装置系统

[发明专利]管式PECVD设备的压力控制装置-CN201910790348.8有效
发明人：肖洁;吴德轶;朱辉;成秋云;张春成 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2019-08-26 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本发明公开了管式PECVD设备的压力控制装置，包括至少一组反应室，每组反应室对应设有VAT阀和主抽泵，各组反应室共用一个预抽泵，每组反应室包括第一反应室和第二反应室，每组反应室中的第一反应室通过第一主管路与主抽泵连通，第二反应室通过第二主管路与主抽泵连通，第一主管路与第二主管路并联形成汇流管路，汇流管路与主抽泵连接，VAT阀设于汇流管路上，各组反应室中的第一反应室均通过第一支管路与预抽泵连接，各组反应室中的第二反应室均通过第二支管路与预抽泵连接。本发明的核心在于两管共用主抽泵时，工艺过程是错开的，相当于时刻都只有一个主抽泵为一个反应室工作，其余时间另一管利用预抽泵工作，大大降低了设备的成本。
pecvd 设备压力控制装置

[发明专利]利用管式PECVD设备制备背面钝化膜的方法-CN201910344320.1有效
发明人：李明;赵增超;郭艳;周小荣;吴德轶 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2019-04-26 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： C23C16/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种利用管式PECVD设备制备背面钝化膜的方法，该方法包括以下步骤：将硅片置于管式PECVD设备中进行恒温处理、前处理、背面沉积AlOx膜、后处理、在AlOx膜上沉积第一SiNx膜、在第一SiNx膜上沉积第二SiNx膜，完成对背面钝化膜的制备。本发明方法通过利用管式PECVD设备并改良工艺流程和工艺参数即可实现PERC电池背面钝化膜的制备，不仅有利于提高旧产线或旧设备的利用率，同时还具有设备投资成本低、维护频率低、制备成本低等优点，且由此制得的太阳电池也具有较高的光电转换效率，对于实现PERC电池的广泛应用具有十分重要的意义。
利用 pecvd 设备制备背面钝化方法

[发明专利]一种管式PECVD设备压力控制装置-CN201910790369.X有效
发明人：肖洁;吴德轶;成秋云;张春成;朱辉 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2019-08-26 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本发明的管式PECVD设备压力控制装置，包括控制器、第一反应室、第二反应室、第一薄膜规、第二薄膜规、主抽泵和VAT阀，主抽泵分别通过第一、第二主管路与第一、第二反应室连接，第一主管路与第二主管路并联形成汇流管路，VAT阀设于汇流管路上，第一反应室与第二反应室之间设有并联的第一支管路和第二支管路，第一支管路上设有第一气动阀和第二气动阀，第二支管路上设有第三气动阀和第四气动阀，第一、第三气动阀为互锁阀，第二、第四气动阀为互锁阀，第一薄膜规设于第一支管路上并在第一、第二气动阀之间，且通过第一控制线路与VAT阀连接，第二薄膜规设于第二支管路上并在第三、第四气动阀之间，且通过第二控制线路与控制器连接。
一种 pecvd 设备压力控制装置

[发明专利]一种管式PECVD石墨舟结构-CN201811354016.7有效
发明人：肖洁;吴德轶;成秋云;张春成 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2018-11-14 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明的管式PECVD石墨舟结构，包括陶瓷基座、两个舟片锁紧盘组件、两个陶瓷固定环、石墨棒和多个舟片，舟片锁紧盘组件包括陶瓷绝缘盘和石墨导电盘，石墨导电盘上设有多个卡槽和多个第一导电槽，卡槽与第一导电槽均匀交错布置，陶瓷绝缘盘上设有多个卡齿，卡齿与卡槽的数量相等且二者配合，卡齿上设有第二导电槽，陶瓷基座上的安装柱面上设有舟片安装槽，陶瓷固定环上设有固定槽，舟片可沿轴向插入舟片安装槽内，舟片前端同时卡在前端的第一导电槽和固定槽内，舟片的后端同时卡在后端的第二导电槽和固定槽内。本发明中舟片呈扇形布置，充分利用石英管的空间，载片量比现有大，石墨舟电极处在石英管的中心，而舟片在电极外周，能使气流场更平顺均匀。
一种 pecvd 石墨结构

[发明专利]一种管式LPCVD真空反应室-CN201811455572.3有效
发明人：李明;吴德轶;张弥涛;成秋云;张春成 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2018-11-30 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了管式LPCVD真空反应室，包括炉门、前端法兰、前支撑法兰、前密封组件、加热炉体、后支撑法兰、后密封组件、尾端法兰、内层石英管和外层石英管，加热炉体套于外层石英管上，前支撑法兰和后支撑法兰分别位于外层石英管的两端的外管壁上，前支撑法兰、加热炉体和后支撑法兰三者固定设置，炉门与前端法兰连接，前端法兰盖设于内、外层石英管的前端端口，前端法兰与外层石英管之间通过前密封组件连接，前密封组件固定在前支撑法兰上，尾端法兰设于内、外层石英管的后端，且尾端法兰与外、内层石英管之间通过后密封组件连接，后密封组件固定在后支撑法兰上。本发明具有拆卸维护更加简单、快捷，缩短了维护时间，经济效益显著的优点。
一种 lpcvd 真空反应

[发明专利]一种管式PECVD设备石墨舟电极引入装置-CN201711382216.9有效
发明人：张春成;成秋云;吴德轶;李晔纯;张弥涛;李明 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： C23C16/507 文献下载
摘要：本发明公开了一种管式PECVD设备石墨舟电极引入装置，包括安装于石墨舟上的石墨舟脚和用于支撑石墨舟的支撑组件，所述支撑组件上设置有与石墨舟脚相对应的石墨舟座，所述石墨舟座通过一连接组件与石墨舟电极杆电连接。本发明的管式PECVD设备石墨舟电极引入装置具有对电极效率高以及可靠性高等优点。
一种 pecvd 设备石墨电极引入装置

[实用新型]一种管式PECVD的真空反应炉管-CN201822156152.7有效
发明人：李明;郭艳;吴德轶;张春成 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： C23C16/505 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种管式PECVD的真空反应炉管，包括石英管、加热炉体、前端保温棉圈、后端保温棉圈、前端法兰及炉门组件、后端法兰组件以及两个电极杆，前端保温棉圈、后端保温棉圈和加热炉体套于石英管外侧，且加热炉体两端通过前端法兰及炉门组件和后端法兰组件密封，前端法兰及炉门组件位于石英管的前端并与前端保温棉圈相邻，后端法兰组件位于石英管的后端并与后端保温棉圈相邻，石英管内设有至少一根红外加热管。本实用新型通过设置红外加热管，利用电磁辐射传热效率高以及石墨材料的短波辐射特性，加速石墨材料的热吸收，以达到提高石英管内的石墨舟升温速率的目的。
保温棉石英管后端法兰加热炉体炉门组件前端法兰本实用新型红外加热管真空反应炉石墨材料种管电磁辐射传热效率短波辐射组件密封电极杆热吸收石墨舟

[实用新型]一种大载片量石英舟-CN201821309147.9有效
发明人：李明;吴德轶 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2018-08-14 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种大载片量石英舟，包括两块平行布置的端板，两块端板之间固设有中间定位棒、左侧上定位棒和右侧上定位棒，中间定位棒位于左侧上定位棒和右侧上定位棒之间，左侧上定位棒与中间定位棒之间设有左侧下定位棒，右侧上定位棒与中间定位棒之间设有右侧下定位棒，左侧下定位棒和右侧下定位棒的高度低于中间定位棒的高度，左侧下定位棒和右侧下定位棒的上部、左侧上定位棒的右侧、右侧上定位棒的左侧、以及中间定位棒的左右两侧均沿轴向设有多个用于定位硅片的定位部，左侧上定位棒、左侧下定位棒及中间定位棒左侧的各定位部对应布置，右侧上定位棒、右侧下定位棒及中间定位棒右侧的各定位部对应布置。本实用新型具有成本低、容量大、可靠性高等优点。
定位棒定位部石英舟端板载片本实用新型平行布置左右两侧硅片轴向

[发明专利]一种管间资源共用的管式PECVD设备-CN201810989914.3在审
发明人：李明;吴德轶;郭艳;成秋云;张春成 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2018-08-28 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种管间资源共用的管式PECVD设备，包括炉体柜、真空与压力系统、气路系统、射频系统、第一转换组件、第二转换组件和第三转换组件，所述炉体柜内安装有多根炉管，所述真空与压力系统通过第一转换组件与多根炉管相连，用于实现与不同炉管的连接切换；所述气路系统通过第二转换组件与多根炉管相连，用于实现与不同炉管的连接切换；所述射频系统通过第三转换组件与多根炉管相连，用于实现与不同炉管的连接切换。本发明的管间资源共用的管式PECVD设备具有结构简单、部件利用率高、成本低且占用面积小等优点。
转换组件多根炉管连接切换资源共用管式炉管气路系统射频系统压力系统炉体种管柜内安装占用

[发明专利]一种扩散炉炉体调节装置-CN201510720234.8有效
发明人：张春成;吴德轶;谢振勇;李晔纯 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2015-10-30 - 公布日： 2018-06-22 - 主分类号： C30B31/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种扩散炉炉体调节装置，包括固定座、调节座以及用于支撑所述扩散炉炉体的第一支撑件和第二支撑件，所述调节座包括水平调节支座和高度调节支座，所述第一支撑件安装于水平调节支座上，所述第二支撑件安装于高度调节支座上，所述水平调节支座可沿固定座移动地安装于固定座上，所述高度调节支座可沿水平调节支座移动地安装于水平调节支座上并带动第二支撑件靠近或远离第一支撑件。本发明具有调节方便、调节精度和准确度高的优点。
水平调节第二支撑件高度调节固定座扩散炉支撑件炉体调节装置准确度调节方便支座移动移动地支撑

[发明专利]一种反应腔室及半导体加工设备-CN201510625538.6有效
发明人：张宇;田湘龙;吴德轶;胡昌文 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2015-09-28 - 公布日： 2017-11-07 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种反应腔室，包括由下垫块、侧壁和上盖板构成的封闭的腔体和设于所述腔体内的平板加热器组件，上盖板与所述平板加热器组件之间设有匀流板，匀流板与上盖板之间形成匀流腔，上盖板上设有进气组件，进气组件的出气口与所述匀流腔连通，进气组件的出气口前方一定距离设有气流挡板。本发明的反应腔室工艺气体进入反应腔室之前经过两次匀流，具有工艺气体进入速度快、气体分布均匀的优点，改善了工艺质量，提高了半导体材料的成膜质量，且工艺气体直接从腔体顶部进入反应腔室，提高工艺气体进入反应腔室的速度。
一种反应半导体加工设备

[实用新型]一种PECVD设备炉体支撑调节机构-CN201621286245.6有效
发明人：张春成;成秋云;吴德轶;李晔纯;张弥涛;李明 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2016-11-28 - 公布日： 2017-07-14 - 主分类号： C30B25/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种PECVD设备炉体支撑调节机构，包括一对调节底座及一对支撑圆杆，一对支撑圆杆垂直安装于一对调节底座上，所述支撑圆杆与PECVD设备的炉体平行。本实用新型具有结构简单、支撑高度低以便于炉体位置调节等优点。
一种 pecvd 设备支撑调节机构

[实用新型]一种石墨舟的推舟装置-CN201520756286.6有效
发明人：张宇;吴德轶 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2015-09-28 - 公布日： 2016-02-10 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石墨舟的推舟装置，包括装载机构、水平运动机构和推舟，所述推舟固定在所述水平运动机构的滑块上，所述装载机构后端固定于所述推舟上，前端悬空设置，所述石墨舟放置在所述装载机构的前端，所述装载机构前端与后端之间设有用于加强装载机构前端刚性的斜拉件。本实用新型采用斜拉件，提高了装载机构的整体刚性，减小了装载机构的变形，改善了石墨舟在前进和后退过程中的抖动现象，在一定程度上避免了因石墨舟进舟过程中抖动而造成的硅片成膜质量差的问题。
一种石墨装置

[发明专利]用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置-CN201510686888.3在审
发明人：李明;吴德轶;成秋云;谢振勇 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2015-10-22 - 公布日： 2016-02-03 - 主分类号： B01D5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置，包括用于与减压扩散系统连接的冷凝瓶、设置在末端的排废管以及连接在冷凝瓶与排废管之间的真空泵，冷凝瓶与真空泵之间连接有至少一个气体过滤罐。该装置具有结构简单可靠、回收过滤效果好的优点。
用于减压扩散系统尾气回收过滤装置

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