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[发明专利]一种外延沉积反应室、沉积系统及沉积方法-CN202210481219.2有效
发明人：盛飞龙;郭嘉杰;王慧勇;王鑫;吴彩庭;孔倩茵 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-05-05 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C30B25/08 文献下载
摘要：本申请涉及外延生长技术领域，具体提供了一种外延沉积反应室、沉积系统及沉积方法，其包括：所述反应室包括上半月石墨腔体和下半月石墨腔体，所述上半月石墨腔体两侧通过侧壁支撑石墨件与所述下半月石墨腔体连接，以围合构成气体反应腔，所述上半月石墨腔体的底壁具有多条平行设置的冷却流道，所述上半月石墨腔体一侧设有与所述冷却流道连接的冷却气体提供组件，所述冷却气体提供组件用于在所述反应室进行外延生长时为所述冷却流道提供所述冷却气体；该外延沉积反应室能够有效地减少由于反应气体在上半月石墨腔体的底壁发生化学反应而形成晶体的情况。
一种外延沉积反应系统方法

[发明专利]一种外延炉的衬底装载装置及上下料系统-CN202210399479.5有效
发明人：徐俊;吴彩庭;刘欣;孔倩茵;胡承 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-04-15 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C30B25/02 文献下载
摘要：本发明涉及外延生长技术领域，具体公开了一种外延炉的衬底装载装置及上下料系统，其中，该装置包括：装载室，所述装载室内具有与外界隔绝的装载腔；托盘，安装在所述装载腔内；片盒，设置在所述托盘上，用于存放所述衬底；所述装置还包括：顶杆，设置在所述装载室外；磁力件，固定在所述顶杆上，且与所述装载室内的所述托盘磁性相吸；升降机构，安装在所述装载室外，与所述顶杆连接；该装置实现了对装载室内托盘的无接触式驱动，从而保留了装载室的完整性，提高了装载室的密封度。
一种外延衬底装载装置上下系统

[发明专利]甩干机的烘干系统、方法、设备、存储介质及甩干机-CN202210146404.6有效
发明人：盛飞龙;吴彩庭;戴科峰;伍三忠;吴帆;徐俊 -专利权人：季华恒一（佛山）半导体科技有限公司
申请日： 2022-02-17 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： F26B11/08 文献下载
摘要：本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种甩干机的烘干系统、方法、设备、存储介质及甩干机，甩干机的烘干系统包括甩干桶，还包括：吹扫机构，用于送入吹扫气体；加热机构，用于加热吹扫气体和甩干桶；气体流量调节机构，用于调节吹扫气体的流量；温度湿度传感器，用于测量甩干桶内的温度信息和湿度信息；控制器，用于获取温度信息和湿度信息；在湿度信息大于预设湿度阈值，且温度信息小于或等于预设温度阈值时，减小吹扫机构中吹扫气体的流量；在湿度信息大于预设湿度阈值，且温度信息大于预设温度阈值时，增大吹扫机构中吹扫气体的流量，本申请提出的烘干系统可自动调节吹扫气体流量，实现了甩干机自动化烘干，并提高能源利用率。
甩干机烘干系统方法设备存储介质

[发明专利]一种多腔式碳化硅外延设备及其反应室机构-CN202111187818.5有效
发明人：王慧勇;伍三忠;徐俊;吴彩庭;刘欣 -专利权人：季华实验室
申请日： 2021-10-12 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： C30B25/08 文献下载
摘要：本发明涉及外延生长领域，具体公开了一种多腔式碳化硅外延设备及其反应室机构，其中，反应室机构包括：反应室本体、快拆装置、平移机构和控制器，控制器用于控制所述快拆装置的开合以改变所述反应室本体与所述传输机构的连接状态，还用于在所述快拆装置处于打开状态时，控制所述平移机构运动以使所述反应室本体靠近或远离所述传输机构移动；该反应室机构利用快拆装置连接反应室本体和传输机构，使得控制器能迅速改变反应室本体和传输机构的连接状态，反应室本体底部设置由控制器控制运行的平移机构，使得反应室本体在清洗维护前能迅速完成移动操作，从而有效缩短了整个反应室机构清洗维护的时间。
一种多腔式碳化硅外延设备及其反应机构

[发明专利]一种气体流场均匀性检测系统及方法-CN202210564195.7在审
发明人：张南;王鑫;吴彩庭;刘自然;毛朝斌;罗骞 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-05-23 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： G01N7/00 文献下载
摘要：本申请涉及化学气相沉积技术领域，具体提供了一种气体流场均匀性检测系统及方法，其包括：驱动组件；检测盘，其包括承载台、气压传感器和至少一种气体浓度传感器，气压传感器和气体浓度传感器均设置在承载台上，气压传感器用于采集生成气压信息，气体浓度传感器用于采集生成对应的原料气体的浓度信息；控制器，与气压传感器、气体浓度传感器和驱动组件电性连接，用于控制驱动组件间隙性地驱动承载台旋转预设的第一角度，还用于根据气压传感器在不同位置采集生成的气压信息检测混合气体是否均匀，还用于根据气体浓度传感器在不同位置采集生成的浓度信息检测对应的原料气体是否均匀；该系统能够有效地提高外延生长的膜厚均匀性。
一种气体均匀检测系统方法

[实用新型]一种腔体密封结构-CN202220858919.4有效
发明人：徐俊;吴彩庭;孔倩茵 -专利权人：季华恒一（佛山）半导体科技有限公司
申请日： 2022-04-14 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体材料制造技术领域，提供了一种腔体密封结构，用于上料腔，其包括：承物台，设置于上料腔内；顶杆，其任一端与所述承物台一端面固定连接；驱动组件，与所述顶杆另一端固定连接，用于驱动所述顶杆上下移动；第一伸缩保护套，套接在所述顶杆外周，用于隔绝所述上料腔内部空间和外部空间，所述第一伸缩保护套的两端分别与所述承物台一端面和所述上料腔一内壁面密封连接，或分别与所述上料腔一外壁面和所述驱动组件一端面密封连接；第一伸缩保护套隔绝上料腔内部空间和外部空间，无需使用密封组件密封顶杆和上料腔之间的间隙，避免出现承物台升降时密封组件磨损和密封组件的表面分子脱落的情况。
一种密封结构

[发明专利]一种外延炉的匀气盒及气体输送组件-CN202111020536.6有效
发明人：刘欣;王慧勇;孔倩茵;徐俊;吴彩庭 -专利权人：季华实验室
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： C30B25/14 文献下载
摘要：本发明涉及外延生长技术领域，具体明公开了一种外延炉的匀气盒及气体输送组件，其中，匀气盒，用于朝外延炉的反应室输送反应气体，包括：用于朝外延炉的反应室输送反应气体，包括：盒体，盒体长度为10‑30cm，盒体内设有若干沿其长度方向设置的气孔，若干气孔包括若干小孔和若干大孔，若干大孔对称分设于小孔两侧；该匀气盒长度为10‑30cm，能使反应气体沿着气孔在盒体中进行输送从而形成若干道平行流动的反应气体气流，确保匀气盒输出的反应气体稳定不紊乱，使得晶体生长更均匀，同时采将气孔布置为中间小、两侧大的形式，使得两侧边缘气流的流速高于传统导气筒导出的两侧边缘气流的流速，从而解决衬底边缘的温度均匀性差的问题。
一种外延匀气盒气体输送组件

[发明专利]一种外延炉晶片冷却系统、方法、电子设备及存储介质-CN202210145533.3在审
发明人：胡承;唐敢然;徐兴龙;吴彩庭;刘欣 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-02-17 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本申请涉及晶片冷却技术领域，具体提供了一种外延炉晶片冷却系统、方法、电子设备及存储介质，其包括：预抽真空腔；供气装置，安装在所述预抽真空腔上，所述供气装置用于释放吹扫气体；冷却装置，设置在所述预抽真空腔内，用于冷却所述吹扫气体；第一测温装置，用于测量所述晶片的温度；控制器，用于控制所述供气装置释放所述吹扫气体以冷却所述晶片，还用于在所述晶片的温度小于或等于预设的第一阈值时，控制所述冷却装置冷却所述吹扫气体；在不发生晶片翘曲的前提下，通过控制吹扫气体的温度以实现使晶片和与晶片接触的吹扫气体保持一定的温度差，从而提高了预抽真空腔的冷却速率和外延炉的生产效率。
一种外延晶片冷却系统方法电子设备存储介质

[实用新型]一种气浮驱动托盘及气浮装置-CN202123280113.6有效
发明人：王慧勇;毛朝斌;胡承;吴彩庭 -专利权人：季华恒一（佛山）半导体科技有限公司
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： C30B25/12 文献下载
摘要：本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种气浮驱动托盘及气浮装置，包括托盘本体，用于承托衬底并带动衬底旋转，所述托盘本体的底部为圆形，所述托盘本体底部设置有若干圆周阵列的气流槽，所述气流槽为楔形槽或直线槽，所述楔形槽两侧壁的长度不相等，所述直线槽两侧壁的深度不相等，通过将所述气流槽设置为所述楔形槽或所述直线槽，并对所述楔形槽和所述直线槽的侧壁长度和深度进行设计，使得所述气浮驱动托盘的加工成本降低，提高外延工艺的效率，有效减少了驱动所述气浮驱动托盘所需要的气流消耗量。
一种驱动托盘装置

[实用新型]脚踏组件及作业机械-CN202122772841.2有效
发明人：张珂;吴彩庭;徐月妮 -专利权人：三一汽车制造有限公司
申请日： 2021-11-12 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： B60R3/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及作业机械配件领域，尤其涉及脚踏组件及作业机械。脚踏组件包括：固定脚踏，通过连接架与作业机械的车架连接；活动脚踏，设置在固定脚踏的下方并可相对于固定脚踏在使用位置和收起位置间转动；驱动机构，连接在作业机械的主平台和活动脚踏间，驱动机构配置成：基于作业机械的驾驶室门的开闭进行伸缩，以驱动活动脚踏在使用位置和收起位置之间切换。当驾驶室门打开时，驱动机构伸出，推动活动脚踏移动到固定脚踏下方，方便人员上下；当驾驶室门关闭时，驱动机构收回，拉动活动脚踏收纳到车底部，避免行车过程中受到底部或侧面障碍物碰撞损坏，保护脚踏并且提高车辆通过性。由此，活动脚踏与驾驶室门的开闭相联动，使用更加方便高效。
脚踏组件作业机械

[发明专利]一种用于外延工艺的衬底预热装置及设备-CN202111658267.6在审
发明人：胡承;赵海英;徐俊;盛飞龙;吴彩庭;孔倩茵 -专利权人：季华实验室
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种用于外延工艺的衬底预热装置及设备，用于在外延生长前对衬底进行预热处理，所述用于外延工艺的衬底预热装置包括：基座；衬底取放台，用于装载并固定衬底；衬底加热器，用于对衬底进行预热处理，所述衬底加热器设置在所述衬底上方，所述衬底加热器固定连接在所述基座上；升降驱动组件，用于驱动所述衬底取放台做升降运动，使衬底靠近或远离所述衬底加热器。所述用于外延工艺的衬底预热装置通过将衬底加热器设置在衬底上方，使得衬底加热器发出的热量直接作用于衬底上表面，从而使衬底上表面的温度达到外延工艺的温度要求。
一种用于外延工艺衬底预热装置设备

[外观设计]半导体生产设备-CN202130517119.7有效
发明人： 吴彩庭;刘欣;罗骞;毛朝斌;孔倩茵 -专利权人：季华恒一(佛山)半导体科技有限公司
申请日： 2021-08-10 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： 15-09 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：半导体生产设备。2.本外观设计产品的用途：半导体生产的设备，尤其是衬底外延生产设备。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.其中左视图中的A部分与右视图中的B部分为透明或半透明部位。
半导体生产设备

[实用新型]雨刮装置、驾驶室和作业车辆-CN202020937584.6有效
发明人：张珂;吴彩庭;徐建辉 -专利权人：三一汽车制造有限公司
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： B60S1/32 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种雨刮装置、驾驶室和作业车辆。雨刮装置包括：刮刷；刮臂，一端与刮刷连接；输出轴组件，一端与刮臂远离刮刷的一端连接；联轴器组件；驱动机构，与联轴器组件连接；伸缩杆，设于输出轴组件或联轴器组件上，用于实现联轴器组件与输出轴组件的连接，伸缩杆可沿输出轴组件与联轴器组件的连接方向伸缩。本实用新型通过伸缩杆连接联轴器组件和输出轴组件，能够保证使输出轴组件与联轴器组件的连接，不仅能够提高驱动机构和输出轴组件连接的可靠，且传递力矩迅速，并有效提高了雨刮装置使用的多功能性和使用稳定性。
装置驾驶室作业车辆

[发明专利]雨刮装置、驾驶室和作业车辆-CN202010470984.5在审
发明人：张珂;吴彩庭;徐建辉 -专利权人：三一汽车制造有限公司
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： B60S1/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种雨刮装置、驾驶室和作业车辆。雨刮装置包括：刮刷；刮臂，一端与刮刷连接；输出轴组件，一端与刮臂远离刮刷的一端连接；联轴器组件；驱动机构，与联轴器组件连接；伸缩杆，设于输出轴组件或联轴器组件上，用于实现联轴器组件与输出轴组件的连接，伸缩杆可沿输出轴组件与联轴器组件的连接方向伸缩。本发明通过伸缩杆连接联轴器组件和输出轴组件，能够保证使输出轴组件与联轴器组件的连接，不仅能够提高驱动机构和输出轴组件连接的可靠，且传递力矩迅速，并有效提高了雨刮装置使用的多功能性和使用稳定性。
装置驾驶室作业车辆

[实用新型]踏板装置和车辆-CN201921855050.2有效
发明人： 吴彩庭;张珂;陈剑 -专利权人：三一汽车制造有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： B60R3/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种踏板装置和车辆。其中，踏板装置包括框架结构，框架结构，框架结构上至少一侧设有开口；第一踏板组件，与框架结构可转动连接，第一踏板组件可由开口向外翻转展开或向框架结构内翻转收回；第二踏板组件，与框架结构滑动连接，且第二踏板组件可由开口向外伸出或向框架结构内收回。通过本实用新型的技术方案，通过优化连接结构，实现了滑动踏板与转动踏板的结合，可增大踏板装置的有效伸出长度，改善了使用舒适性，提高了空间利用率，同时减少了部件外露，可降低故障率，增强了踏板装置的可靠性。
踏板装置车辆

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