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[发明专利]太赫兹元件、半导体装置-CN201880042706.0有效
发明人： 向井俊和;金在瑛;外山智一郎 -专利权人：罗姆股份有限公司
申请日： 2018-06-26 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L21/822 文献下载
摘要：本发明的一方案提供的太赫兹元件具备半导体基板、第一导电层、第二导电层、能动元件。上述第一导电层以及第二导电层分别形成于上述半导体基板且相互绝缘。上述能动元件形成于上述半导体基板并与上述第一导电层以及上述第二导电层导通。上述第一导电层包括沿第一方向延伸的第一天线部、在上述半导体基板的厚度方向视角上相对于上述能动元件位于第二方向侧的第一电容部、连接于上述第一电容部的第一导电部。上述第二方向与上述厚度方向和上述第一方向正交。上述第二导电层包括第二电容部。上述第二电容部层叠于上述第一电容部且从上述第一电容部绝缘。上述半导体基板包括从上述第一电容部以及上述第二电容部露出的露出部。上述第一导电部具有在上述厚度方向视角上隔着上述露出部从上述第一天线部向上述第二方向离开的部位。
赫兹元件半导体装置

[发明专利]太赫兹器件-CN201880067881.5有效
发明人： 向井俊和;金在瑛;鹤田一魁 -专利权人：罗姆股份有限公司
申请日： 2018-10-02 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H01L21/329 文献下载
摘要：依照本发明的一个方面，提供一种太赫兹器件。上述太赫兹器件包括半导体衬底、太赫兹元件和第一整流元件。上述太赫兹元件配置于上述半导体衬底上。上述第一整流元件与上述太赫兹元件并联电连接。
赫兹器件

[发明专利]太赫兹装置和太赫兹装置的制造方法-CN201980055069.5在审
发明人：鹤田一魁;金在瑛;柳田秀彰;向井俊和 -专利权人：罗姆股份有限公司
申请日： 2019-07-26 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： H01L23/29 文献下载
摘要：本发明提供一种太赫兹装置，其包括太赫兹元件、密封树脂、配线层和框状部件。上述太赫兹元件进行太赫兹波与电能量的转换。上述太赫兹元件具有在第1方向上分离的元件主面和元件背面。上述密封树脂覆盖上述太赫兹元件。上述配线层与上述太赫兹元件导通。上述框状部件由导电体形成，从上述第1方向看配置在上述太赫兹元件的周围。上述框状部件具有能够反射太赫兹波的反射面。
赫兹装置制造方法

[发明专利]太赫兹波检测器和太赫兹单元-CN201880055308.2在审
发明人：金在瑛;向井俊和 -专利权人：罗姆股份有限公司
申请日： 2018-08-03 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： H03B7/06 文献下载
摘要：根据本公开的一个方面，提供了一种太赫兹波检测器，该太赫兹波检测器具备半导体基板、形成在上述半导体基板上的有源元件、以及与上述有源元件并联地电连接的第一电阻部。
赫兹检测器单元

[实用新型]加工装置-CN201320891465.1有效
发明人：高樱修平;向井俊和;奥山昇;严瑞雄;陈馨宝 -专利权人：三重电子株式会社;东台精机股份有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2014-07-16 - 主分类号： H02J17/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种使工具侧相对于主体侧旋转的新结构的加工装置，在该加工装置中，能够通过更简单且小型的结构以更好的传送品质从工具侧向主体侧传送电信号，并且更有效地驱动设置于工具侧的超声波振子。在主体侧(14)与工具侧(20)之间设置成对的信号用线圈(58a、58b)而能够进行电信号的传送，并且由供电控制单元(140、136)控制对设置于上述工具侧(20)的超声波振子(112)的供电频率性。并且，将信号用线圈(58a、58b)的至少一方以降低由来自设置于上述主体侧(14)和上述工具侧(20)的电力用线圈(56a、56b)的影响而产生的噪声电动势的线圈绕组路径(68、70)形成。
加工装置

[发明专利]加工装置-CN201310753051.7有效
发明人：高樱修平;向井俊和;奥山昇;严瑞雄;陈馨宝 -专利权人：三重电子株式会社;东台精机股份有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： H02J17/00 文献下载
摘要：本发明提供一种使工具侧相对于主体侧旋转的新结构的加工装置，在该加工装置中，能够通过更简单且小型的结构以更好的传送品质从工具侧向主体侧传送电信号，并且更有效地驱动设置于工具侧的超声波振子。在主体侧(14)与工具侧(20)之间设置成对的信号用线圈(58a、58b)而能够进行电信号的传送，并且由供电控制单元(140、136)控制对设置于上述工具侧(20)的超声波振子(112)的供电频率性。并且，将信号用线圈(58a、58b)的至少一方以降低由来自设置于上述主体侧(14)和上述工具侧(20)的电力用线圈(56a、56b)的影响而产生的噪声电动势的线圈绕组路径(68、70)形成。
加工装置

[发明专利]工具自动更换装置用组件-CN200980130472.6有效
发明人：高樱修平;出口笃;佐佐木真也;向井俊和;山下富正;八寻真二;宫部淳史;绫部圭介;藤村峰志 -专利权人：三重电子株式会社;本田技研工业株式会社
申请日： 2009-07-23 - 公布日： 2011-08-03 - 主分类号： B25J15/04 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种不仅能够防止在传输效率第一连结构件和第二连结构件之间降低，并且能够以更高的可靠性进行电信号的传输的、新构造的工具自动更换装置用组件。为了解决该课题，在芯构件(54)的除了传输面(60)之外的外周配设电磁屏蔽构件(50)，并且在该芯构件(54)和该电磁屏蔽构件(50)之间设有电磁屏蔽效果比该电磁屏蔽构件(50)低的间隔构件(56)，将具有包括线圈构件(52)、芯构件(54)、间隔构件(56)而构成的线圈头(46、82)的线圈单元(44、80)分别设于第一组件(30a)和第二组件(30b)上。
工具自动更换装置组件