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- [实用新型]一种晶圆的晶片数量计数打标机-CN202223407300.0有效
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卢传播
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厦门市弘瀚电子科技有限公司
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2022-12-19
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2023-09-05
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B65G47/91
- 本实用新型公开一种晶圆的晶片数量计数打标机，包括机架，以及设置在机架上的上料盒、上料机械手、转运组件、计数打标组件、下料机械手和收料盒；上料盒内放置有扩膜件；上料机械手位于上料盒和转运组件上方，用于将上料盒内的扩膜件抓取移送到转运组件上；转运组件设置在上料机械手和下料机械手之间，用于承载扩膜件移送至下料机械手下方；计数打标组件包括设置在转运组件承载扩膜件移动路径上方的晶片计数相机组件和打标组件，晶片计数相机组件与打标组件通讯连接；下料机械手用于将转运组件上的扩膜件抓取移送到收料盒。本实用新型实现自动对扩膜件上的晶片数量进行计数，并将计数信息标记在扩膜件上。
- 一种晶片数量计数打标机
- [实用新型]一种晶圆贴膜贴片装置-CN202320187907.8有效
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卢传播
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厦门市弘瀚电子科技有限公司
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2023-02-07
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2023-09-05
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H01L21/677
- 本实用新型公开一种晶圆贴膜贴片装置，包括输送线、贴膜装置和切膜装置；输送线用于传送晶圆和铁环，输送线上的晶圆处于铁环中央的镂空处；贴膜装置设置在输送线上方，包括贴膜架以及转动设置在贴膜架上的膜料卷和贴膜辊，膜料卷上卷绕有离型纸，离型纸一侧粘贴有扩张膜，扩张膜随离型纸由膜料卷放出后绕经贴膜辊，贴膜辊上的扩张膜处于离型纸外侧，贴膜辊紧贴输送线，以在输送线上的铁环和晶圆经过时，随铁环和晶圆的位移进行辊动，进而将扩张膜粘贴在铁环和晶圆上形成贴膜成品；切膜装置设置在贴膜装置的下游，具有升降设置的切刀，切刀下行以切断相邻铁环之间的扩张膜。本实用新型通过简洁的结构实现自动将晶圆和铁环粘贴在一张扩张膜上。
- 一种晶圆贴膜贴片装置
- [发明专利]一种晶圆贴膜贴片机-CN202310100831.5在审
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卢传播
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厦门市弘瀚电子科技有限公司
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2023-02-07
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2023-08-11
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H01L21/677
- 本发明公开一种晶圆贴膜贴片机，包括铁环输送线，以及沿铁环输送线依次布置的铁环供料装置、晶圆供料装置、贴膜装置和切膜装置；铁环供料装置在铁环输送线上放置铁环，铁环沿铁环输送线传送，铁环中央具有镂空；晶圆供料装置在途径的铁环的镂空处放置晶圆；贴膜装置具有膜料卷和贴膜辊，膜料卷上卷绕有离型纸，离型纸一侧粘贴有扩张膜，扩张膜随离型纸由膜料卷放出后绕在贴膜辊上，贴膜辊上的扩张膜处于离型纸外侧，贴膜辊紧贴铁环输送线，以在铁环输送线上的铁环和晶圆经过时，随铁环和晶圆的位移进行辊动，将扩张膜粘贴在铁环和晶圆上，切膜装置用于切断铁环输送线上相邻铁环之间的扩张膜。本发明实现将晶圆和铁环自动粘贴在一张扩张膜上。
- 一种晶圆贴膜贴片机
- [实用新型]一种晶圆扩膜机-CN202223591966.6有效
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卢传播
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厦门市弘瀚电子科技有限公司
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2022-12-28
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2023-08-08
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H01L21/67
- 本实用新型公开一种晶圆扩膜机，包括：转运装置，具有转运座；子环上料装置，包括子环上料机械手和放置有子环的子环供料区，子环上料机械手用于将子环供料区内的子环转运到转运座；铁环上料装置，包括铁环上料机械手和放置有铁环的铁环供料区，铁环上料机械手用于将铁环供料区内的铁环转运到转运座，并使铁环中央的镂空与转运座上的子环同轴；扩膜装置，包括在转运座下方的上顶机构，用于穿过转运座，上顶子环；母环上料装置，包括母环上料机械手和放置有母环的母环供料区，母环上料机械手用于将母环供料区内的母环转运并向下箍在子环外周；切膜装置，具有沿母环外轮廓圆周位移的切刃。本实用新型实现晶圆扩膜过程的全自动化。
- 一种晶圆扩膜机
- [实用新型]一种晶圆扩张环清洗机-CN202223407786.8有效
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卢传播
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厦门市弘瀚电子科技有限公司
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2022-12-19
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2023-05-30
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B08B3/02
- 本实用新型公开一种晶圆扩张环清洗机，包括机架，以及设置在机架上的上药装置、静置装置、清洗装置、干燥装置和搬运机械手；上药装置包括上药座、上药驱动机构、毛刷和药液供给装置，上药座顶面供晶片扩张环放置，上药驱动机构用于驱动毛刷在上药座上方刷过晶片扩张环表面，药液供给装置设置有将药液喷出到毛刷表面的出液口；静置装置包括顶面供晶片扩张环放置的静置座；清洗装置包括清洗座和二流体喷头，清洗座顶面供晶片扩张环放置，二流体喷头朝向清洗座顶面喷射雾化水；干燥装置用于供晶片扩张环放入干燥；搬运机械手用于在上药座、静置座、清洗座和干燥装置之间转运晶片扩张环。本实用新型实现对晶片扩张环的自动清洗。
- 一种扩张清洗
- [实用新型]一种晶圆称重排序机-CN202320149920.4有效
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卢传播
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厦门市弘瀚电子科技有限公司
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2023-01-18
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2023-05-23
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B07C5/18
- 本实用新型公开一种晶圆称重排序机，包括机架，以及设置在机架上的晶圆料盒、中转料盒、电子秤、存储控制器和晶圆搬运机械手；晶圆料盒侧壁纵向阵列开设有多个晶圆插槽，每个晶圆插槽供一片晶圆插入放置；中转料盒上开设有多个中转插槽，每个中转插槽供一片晶圆插入放置，且中转插槽的数量不少于一个晶圆料盒上的晶圆插槽数量减一；电子秤供晶圆放置，以进行晶圆称重；存储控制器通讯连接电子秤和晶圆搬运机械手；晶圆搬运机械手用于在电子秤、各晶圆插槽和中转插槽之间转运晶圆。本实用新型能够自动使多片晶圆按照重量从大到小的顺序，从下到上依次排列于晶圆料盒中。
- 一种称重排序
- [实用新型]一种晶圆刮边清洗机-CN202223407051.5有效
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卢传播
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厦门市弘瀚电子科技有限公司
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2022-12-19
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2023-05-16
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H01L21/677
- 本实用新型公开一种晶圆刮边清洗机，包括机架，以及设置在机架上的上料料盒、刮边装置、清洗装置、甩干装置和搬运机械手组；上料料盒内放置有晶圆，并开设有取料口；刮边装置包括刮边座、刮刀驱动机构和旋转刮刀，刮边座顶面适于承载晶圆，刮刀驱动机构连接并驱动旋转刮刀沿刮边座上的晶圆侧壁轮廓移动；清洗装置包括清洗座和喷头，清洗座顶面适于承载晶圆，喷头朝向清洗座顶面喷射水；甩干装置包括离心转盘；搬运机械手组用于从取料口取出上料料盒内的晶圆，并将晶圆依次搬运到刮边座、清洗座、离心转盘。本实用新型实现晶圆的上料、刮边、清洗和干燥的全流程自动化。
- 一种晶圆刮边清洗
- [实用新型]一种晶圆载盘及晶圆载盘组装机-CN202320159758.4有效
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卢传播
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厦门市弘瀚电子科技有限公司
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2023-02-07
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2023-05-09
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H01L21/673
- 本实用新型公开一种晶圆载盘，包括下载盘和上载盘；下载盘的上表面供至少一个晶圆放置，并在晶圆所在位置镂空形成有晶圆镀膜口，以供晶圆的底面露出下载盘；上载盘扣合固定在下载盘上方，用于将放置在下载盘上的晶圆夹紧在下载盘和上载盘之间，上载盘或下载盘还纵向贯穿形成气密测试孔；还公开一种组装上述晶圆载盘的晶圆载盘组装机，包括载台、载盘上料组、晶圆上料组、锁螺钉组和气密测试组，载盘上料组和晶圆上料组将下载盘、晶圆和上载盘从下至上依次叠放在载台上，锁螺钉组将下载盘和上载盘通过螺钉锁紧固定，其气密测试组用于对接气密测试孔进行吹气，以检测下载盘和上载盘是否密封压紧。本实用新型使晶圆在镀膜过程中能够减少污染。
- 一种晶圆载盘组装
- [实用新型]一种芯片的聚量转移设备-CN202121680493.X有效
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卢传播
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厦门市弘瀚电子科技有限公司
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2021-07-22
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2021-12-17
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B65B15/04
- 本实用新型公开一种芯片的聚量转移设备，包括粘性膜、离型纸、张紧胶辊、供给粘性膜的放料卷、供给离型纸的离型纸卷、同步卷入离型纸与粘性膜的收料卷、驱动收料卷旋转的收料电机，所述放料卷、离型纸卷、收料卷、张紧胶辊均对应设置有相互平行的转轴，所述收料卷位于放料卷上方，所述张紧胶辊位于收料卷与放料卷的水平一侧，所述放料卷与收料卷间的粘性膜翻转绕接张紧胶辊，所述离型纸卷设置在张紧胶辊与收料卷间的粘性膜上方，所述张紧胶辊与放料卷间设置有下压装置、放置芯片的载片台，所述载片台间隔设置在粘性膜下方，所述下压装置设置在粘性膜上方、正对载片台。本实用新型实现了对芯片连续自动包装，提升了芯片包装效率。
- 一种芯片转移设备
- [实用新型]一种铁环扩膜机-CN202120399377.4有效
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卢传播
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厦门市弘瀚电子科技有限公司
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2021-02-23
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2021-09-10
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H01L21/67
- 本实用新型公开一种铁环扩膜机，包括：安装架和扩膜装置，扩膜装置设置在安装架上；扩膜装置包括上部扩膜架和下部扩膜架；下部扩膜架埋设在安装架上，上部扩膜架可翻折地设置在安装架上，上部扩膜架位于下部扩膜架的上方；置环座架设在下部扩膜架顶部，置环座供大铁环放置，撑膜座底部为第二升降气缸，第二升降气缸设置在下部扩膜架上，撑膜座顶部为撑开大铁环蓝膜的圆形座，置环座顶部和置环座中部均开设有相对应的下开口通道，下开口通道供撑膜座升降时通过，切膜刀环绕设置在置环座和下部扩膜架之间。
- 一种铁环扩膜机
- [实用新型]一种全自动上下膜一体机-CN202022587291.2有效
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卢传播
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厦门市弘瀚电子科技有限公司
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2020-11-10
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2021-09-03
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B65B33/02
- 本实用新型公开一种全自动上下膜一体机，包括机架，机架由晶圆物料的加工顺序依次设置上料组件、条形取料机构、第一转盘、晶圆数量检测机构、脱模机构、第二转盘、贴膜机构、离型纸上料机构和成品处理组件；上料组件设置在机架右侧，晶圆物料盛放在所述上料组件内，所述上料组件和所述第一转盘之间设置有转移晶圆物料的条形取料机构；第一转盘的设置高度高于第二转盘的设置高度，第一转盘左侧的加工工位与第二转盘右侧的加工工位上下重合，脱模机构设置于第一转盘和第二转盘重合的加工工位上；机架上还设有蓝膜组件，所述蓝膜组件设置在第一转盘后侧；所述条形取料机构前侧设置有回收机构。
- 一种全自动上下一体机
- [实用新型]一种全自动扩膜机-CN202120398616.4有效
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卢传播
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厦门市弘瀚电子科技有限公司
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2021-02-23
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2021-08-31
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H01L21/67
- 本实用新型公开一种全自动扩膜机，包括机架和机壳，机壳套设在机架外，还包括平行设置在机架两侧的大铁环架和小铁环架，大铁环架和小铁环架分别供大铁环和小铁环盛放，大铁环架和小铁环架的左侧均设置一个自动扩膜装置，一自动扩膜装置两侧分别滑设延伸至另一自动扩膜装置的大铁环上下料机械手和小铁环上下料滑块；大铁环架和大铁环上下料机械手之间设置用于转移大铁环的大铁环转移机构，小铁环架和小铁环上下料滑块之间设置用于转移小铁环的小铁环转移机构；铁环上下料机械手和小铁环上下料滑块将铁环交替运送至两个自动扩膜装置进行扩膜；带有蓝膜的大铁环在自动扩膜装置中将蓝膜扩膜至未带蓝膜的小铁环上。本案提出自动化扩膜装置，且扩膜效率高。
- 一种全自动扩膜机
- [实用新型]一种蓝膜剥离装置-CN202022854883.6有效
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卢传播
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厦门市弘瀚电子科技有限公司
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2020-12-02
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2021-08-13
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H01L21/67
- 本实用新型公开一种蓝膜剥离装置，包括机架，机架上按铁环加工顺序依次设置有第一蓝膜剥离机构、第二蓝膜剥离机构和脱模机构；第一蓝膜剥离机构和第二蓝膜剥离机构分别从两个不同的十字方向将蓝膜边缘脱离铁环，第一蓝膜剥离机构和第二蓝膜剥离机构均包括固定底座和移动剥膜装置，移动剥膜装置包括双层固定架、伸缩内轴和侧滑块；伸缩内轴穿过并设置在双层固定架底部，伸缩内轴下部为向下收缩的圆台，四个的侧滑块滑动设置在双层固定架底部的四边，侧滑块上设置有与伸缩内轴接触的滑轮，侧滑块底部设置有供铁环上蓝膜接触的摩擦片；伸缩内轴向下运动时，伸缩内轴推动四个的侧滑块呈十字方向向外水平运动。本方案的膜环分离更加均匀。
- 一种剥离装置
- [实用新型]一种蓝膜打包装置-CN202022855469.7有效
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卢传播
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厦门市弘瀚电子科技有限公司
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2020-12-02
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2021-07-30
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B65B11/04
- 本实用新型公开一种蓝膜打包装置，包括安装面板、打包膜架、拉膜机械手和夹膜移动架；打包膜架设置在安装面板一端，拉膜机械手架设在安装面板另一端的上方，夹膜移动架滑设在安装面板上；安装面板中部设置供打包成品落下的开口；拉膜机械手通过伸缩气缸抓取打包膜。打包膜架上设置有打包膜辊和切膜刀，打包膜辊供打包膜安装，切膜刀设置在打包膜的延伸方向上。夹膜移动架上设有夹膜机械手和皮带轮，两个夹膜机械手前后设置在夹膜移动架上，皮带轮设置在夹膜机械手外侧，电机通过皮带带动皮带轮后带动夹膜机械手转动。本案实现自动化蓝膜打包，自动化程度高，节省人力，防止蓝膜被污染。且本装置可以设置在相应的生产线上，对生产线进行快速升级。
- 一种打包装置
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