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[发明专利]一种双栅ITZO薄膜晶体管及其制备方法-CN202310250147.5在审
发明人：杨冠华;吴子竞;陈楷飞;刘孟淦;卢文栋;廖福锡;卢年端;李泠 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-03-13 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L29/51 文献下载
摘要：本发明涉及一种双栅ITZO薄膜晶体管及其制备方法，属于微电子技术领域，解决了现有技术薄膜晶体管的高迁移率和高稳定性难以同时满足的问题。所述的晶体管自下而上包括依次叠加设置的背栅、背栅介质层、a‑ITZO层、顶栅介质层和顶栅；所述的a‑ITZO层的左端的上表面与顶栅介质层之间设置有源极层，所述的a‑ITZO层的右端的上表面与顶栅介质层之间设置有漏极层；所述的背栅介质层和顶栅介质层的材质均为氧化铝。本发明的背栅介质层和顶栅介质层材质均采用氧化铝，在上下两个栅极同时施加栅压的时候，载流子倾向于在沟道中部运动，更少受到背栅介质层和顶栅介质层两个界面对器件性能的影响，从而实现更好的稳定性和更高的迁移率。
一种 itzo 薄膜晶体管及其制备方法

[发明专利]一种具有漏栅互联结构的IGZO晶体管及其制备方法-CN202310274252.2在审
发明人：杨冠华;刘孟淦;陈楷飞;卢文栋;廖福锡;吴子竞;卢年端;李泠 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01L29/417 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种具有漏栅互联结构的IGZO晶体管及其制备方法；晶体管包括：背栅、背栅介质层、a‑IGZO沟道层、顶栅介质层、源极及漏极源极、漏极与顶栅介质层的侧面、a‑IGZO沟道层的侧面连接，源极、漏极与背栅介质层顶部连接，漏极与顶栅介质层顶部连接，源极与顶栅介质层顶部不连接。本发明解决了IGZO晶体管源漏极容易接触短路、IGZO沟道区狭窄导致的电子迁移率低、开态电流小的问题，同时较现有技术同等条件下具有更大的电子迁移率，同时具有更大的漏极电场，有助于降低接触势垒，进一步增强IGZO晶体管电子注入能力。
一种具有漏栅互联结 igzo 晶体管及其制备方法

[发明专利]一种肖特基薄膜晶体管及其制备方法、应用-CN202310270954.3在审
发明人：杨冠华;刘孟淦;陈楷飞;卢文栋;廖福锡;吴子竞;卢年端;李泠 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L29/786 文献下载
摘要：本发明涉及一种肖特基薄膜晶体管及其制备方法、应用。一种肖特基薄膜晶体管，其包括衬底；所述衬底上表面设置依次层叠的背栅层、背栅介质层和沟道层；所述沟道层上表面左右两侧分别设置源极层和漏极层，并且在所述源极层和所述漏极层之间由顶栅介质层分隔开，且所述顶栅介质层覆盖所述沟道层的上表面；所述源极层还覆盖所述顶栅介质层的部分表面。本发明解决了高本征增益和低功耗不能兼顾的问题。
一种肖特基薄膜晶体管及其制备方法应用

[发明专利]一种短沟道双栅IGZO薄膜晶体管及其制备方法-CN202310266238.8在审
发明人：杨冠华;吴子竞;白子恒;刘孟淦;陈楷飞;卢文栋;廖福锡;卢年端;李泠 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-03-13 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01L29/423 文献下载
摘要：本发明涉及一种短沟道双栅IGZO薄膜晶体管及其制备方法，用以解决现有技术中双栅IGZO薄膜晶体管的顶接触长度大、接触电阻大的问题，所述的晶体管自下而上包括依次叠加设置的背栅、背栅介质层、a‑IGZO层、顶栅介质层和顶栅；所述的a‑IGZO层左端的上表面与顶栅介质层之间设置有源极层，所述的a‑IGZO层的右端的上表面与顶栅介质层之间设置有漏极层；所述的源极层和漏极层之间设置有沟道，所述的沟道的长度LCH为30‑36nm，漏极层和源极层的顶接触长度LC均为40‑44nm。本发明的双栅IGZO薄膜晶体管通过各层的综合作用，实现高密度集成，同时还具有优良的电学性能，所述的晶体管的开态电流≥56.3μA/μm，接触电阻≤500Ω·μm。
一种沟道 igzo 薄膜晶体管及其制备方法

[发明专利]一种晶体管、制备方法及功率门控电路-CN202310263884.9在审
发明人：杨冠华;卢文栋;卢年端;王桂磊;赵超;李泠 -专利权人：北京超弦存储器研究院;中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： H01L29/78 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种晶体管、制备方法及功率门控电路，涉及半导体技术领域，以解决目前的晶体管在膜层制备过程中容易造成栅绝缘层的表面与空气接触，从而导致在有源层生长的过程中造成沟道区域的界面态缺陷，使得晶体管的亚阈值摆幅增大，影响晶体管的开关性能的问题。该晶体管，包括：第一绝缘层；第二绝缘层，所述第二绝缘层设置于所述第一绝缘层的一侧；有源层，设置于所述第二绝缘层远离所述第一绝缘层的一侧，其中，所述有源层与所述第二绝缘层是通过相同的设备制备得到的。可以在第一绝缘层保证绝缘效果的情况下，统一有源层和第二绝缘层的制备方式，保证第二绝缘层的表面不与外部环境相接触，进而提高绝缘层与有源层之间的界面态水平。
一种晶体管制备方法功率门控电路

[发明专利]一种三维集成电路及其制造方法-CN202210515402.X在审
发明人：李泠;杨冠华;卢文栋 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-05-11 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： H01L27/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种三维集成电路及其制造方法，涉及半导体技术领域，用于在集成电路包括电源门控电路的前提下，提高该集成电路的性能。所述三维集成电路包括：衬底、形成在衬底上的前段电路、后段金属互连层和后段电源门控电路。后段金属互连层形成在前段电路上。后段电源门控电路位于后段金属互连层内。前段电路通过后段金属互连层和后段电源门控电路与电源或地线电连接。
一种三维集成电路及其制造方法

[实用新型]一种防止履带式车辆坡度试验溜车的台面结构-CN202220995198.1有效
发明人： 卢文栋;高爱东;申景凤 -专利权人：济南元通测控技术有限公司
申请日： 2022-04-27 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G01M17/007 文献下载
摘要：本实用新型提供一种防止履带式车辆坡度试验溜车的台面结构，属于试验台面结构技术领域，包括台面、缓坡、防滑条、对位块和固定螺栓，所述台面的左右两侧分别设有缓坡，且缓坡均与台面固定连接，所述台面的上方分别设有防滑条，且防滑条均与台面固定连接。改善了现有的防止履带式车辆坡度试验溜车的台面结构在倾斜状态下容易使车辆发生溜车情况，进而提高了台面结构的使用效果，有利于实际使用，且提高了现有的防止履带式车辆坡度试验溜车的台面结构稳定性，避免在安装使用过程中松动，提高了与固定地面中连接的稳定性，从而使得该种防止履带式车辆坡度试验溜车的台面结构实际使用效果更佳。
一种防止履带式车辆坡度试验台面结构

[发明专利]一种履带车辆行驶跑偏试验方法-CN202210498432.4在审
发明人： 卢文栋;高爱东;申景凤 -专利权人：济南元通测控技术有限公司
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： G01M17/007 文献下载
摘要：本发明公开了一种履带车辆行驶跑偏试验方法，场地选择步骤：选择地面平坦的场地，并对场地上的杂物和灰尘进行清理；放置反射墙板步骤：在场地上间隔一定的距离放置反射墙板一和反射墙板二；安装可调安装架步骤：将可调安装架安装在被检测的履带车辆本体的车身一侧面；安装激光测距传感器步骤：将激光测距传感器一和激光测距传感器二间隔一定的距离安装在可调安装架上，并记录激光测距传感器一和激光测距传感器二之间的距离为L0；本发明通过激光测距传感器一和激光测距传感器二分别与反射墙板一和反射墙板二之间的距离进行检测，使得履带车辆行驶跑偏实验数据能够通过较低的成本进行得出，因此实现了履带车辆行驶跑偏实验成本低的效果。
一种履带车辆行驶试验方法

[实用新型]一种异形台面称重稳定性试验平台-CN201922100823.2有效
发明人：高爱东;申景凤;荀强;卢文栋 -专利权人：济南元通测控技术有限公司
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： G01G23/01 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种异形台面称重稳定性试验平台，包括异形台面，异形台面的下方一侧安装两个固定铰支座，固定铰支座的底部与地面连接，异形台面的下方另一侧对应安装上连接铰支座，上连接铰支座的底部安装在驱动装置上，驱动装置的下方与下连接铰支座连接，下连接铰支座的底部与地面连接；异形台面上安装托架，托架上方的两侧分别设置异形承载台，每个异形承载台下方四角的位置安装称重装置，异形承载台的下方中间位置安装纵向连接部分，异形承载台的一侧通过横向连接部分连接托架。本装置整体结构设计紧凑，整机各部的运行直观可视，便于维护；解决了普通的矩形台面无法保证横向堆垛或空载试验时，EF线无法平行于试验平台的倾斜轴线的问题。
一种异形台面称重稳定性试验平台

[实用新型]上置驱动式侧翻、侧倾试验台-CN201820715271.9有效
发明人：彭月明;高爱东;申景凤;卢文栋 -专利权人：高爱东
申请日： 2018-05-15 - 公布日： 2018-11-20 - 主分类号： G01M17/007 文献下载
摘要：一种上置驱动式侧翻、侧倾试验台，包括托架，托架的一侧设有支撑铰，所述托架的另一端安装万向铰支座，万向铰支座上安装驱动油缸或电动驱动，所述驱动油缸或电动驱动位于侧翻、侧倾试验台上方，采用上置安装式驱动，驱动油缸或电动驱动内安装有推杆，推杆的下端通过杆端铰座与地面相连接。本实用新型的积极效果在于：解决了常规下置驱动式侧翻、侧倾试验台安装时间周期长，工程造价高，正常运行过程中的地下维护难度大等诸多问题。万向铰支座可适应和补偿由于托架负重变形而带来的驱动油缸安装基面摆角变化，以致规避或降低托架负重变形而带来的附加应力，从而提高了结构的可靠性。
托架驱动油缸试验台侧翻侧倾万向铰支座电动驱动驱动式推杆负重变形正常运行过程本实用新型安装基面工程造价时间周期安装式杆端铰摆角下端下置驱动地下支撑维护

[发明专利]一种枪械自动瞄准系统及其工作方法-CN201410225667.1有效
发明人：樊炳辉;王昌;孙石兴;卢文栋;王传江;孟乐;郭倩何;吴玉华 -专利权人：山东科技大学
申请日： 2014-05-26 - 公布日： 2014-11-05 - 主分类号： F41G1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种枪械自动瞄准系统及其工作方法，其中的自动瞄准系统由云台运动模块，控制器模块，视频传输模块和遥控器模块四部分组成，通过云台的转动带动其上搭载的枪械的转动，用以实现枪械对目标的自动瞄准；通过控制器模块实现瞄准云台上的枪械对目标的自动瞄准；通过视频传输模块实现操作人员对现场的实时监控；通过遥控器模块实现无线遥控功能。本发明瞄准系统可以临时移动或事先放置在需要打击目标的伏击场所，代替武警或狙击手在伏击地待命，不但避免了武警或狙击手因长期设伏对身体带来的生理极限挑战，而且克服了人直接操控武器，因呼吸而影响瞄准精度的缺陷。
一种枪械自动瞄准系统及其工作方法

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