专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体结构及其形成方法-CN202111400610.7在审
  • 武咏琴 - 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司
  • 2021-11-19 - 2023-05-23 - H01L29/06
  • 一种半导体结构及其形成方法,其中,形成方法包括:在形成凹槽后,去除所述牺牲层,在叠层结构和凸起部之间、以及凹槽的下方形成通道,所述通道由所述绝缘层和所述凸起部围成;在所述通道内形成隔离层;在所述凹槽内形成源漏掺杂层,所述源漏掺杂层位于所述隔离层上;去除所述伪栅结构,形成栅极开口,暴露出所述叠层结构和所述绝缘层;通过所述栅极开口,去除所述占位层,形成通槽,所述通槽由相邻所述沟道层围成,或由所述沟道层与所述隔离层围成;在所述栅极开口和所述通槽内填充栅极结构,所述栅极结构包围所述沟道层,且所述栅极结构还位于所述隔离层的顶部且横跨所述隔离层。采用上述方案,能够降低器件的漏电流,提升半导体结构的性能。
  • 半导体结构及其形成方法
  • [发明专利]半导体结构及其形成方法-CN202180054960.4在审
  • 汪涵;卜伟海 - 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司
  • 2021-03-15 - 2023-05-12 - H01L29/78
  • 一种半导体结构及其形成方法,结构包括:沟道结构层,包括多个自下而上依次间隔设置的第一沟道层,第一沟道层沿横向延伸,平行于基底且与横向相垂直的方向为纵向;栅极结构,横跨沟道结构层且包围第一沟道层;源漏结构,位于栅极结构两侧,包括位于第一沟道层侧壁的第一源漏掺杂层;源漏插塞,与源漏结构的顶部相接触,且还与第一源漏掺杂层沿纵向且与栅极结构相背的侧壁、沿横向第一侧侧壁和沿横向第二侧侧壁中的至少一个侧壁相接触。源漏插塞至少与第一源漏掺杂层的其中之一侧壁相接触,使得电流直接通过源漏插塞流向各个第一沟道层,减小电流在流向各个第一沟道层的路径中消耗的压降,提高各个第一沟道层内的沟道电流值,增强器件的驱动电流。
  • 半导体结构及其形成方法
  • [实用新型]一种分流结构及电镀装置-CN202223593661.9有效
  • 宋勃宏 - 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司
  • 2022-12-30 - 2023-05-09 - C25D17/00
  • 本申请提供一种分流结构及电镀装置,该分流结构用于电镀时阳极的工作表面上的母液分流,该分流结构包括:贯穿阳极的母液通道,用于引导母液流向阳极的工作表面;设置在阳极的工作表面上的分流部,分流部与母液通道连通,用于将母液分散至阳极的工作表面上的各个区域。本申请提供的分流结构能够有效解决电镀时阴极表面金属层发生钝化的问题,降低阴极表面电压的升高的风险,避免对金属层形成的半导体器件的金属互连的性能造成影响。
  • 一种分流结构电镀装置
  • [发明专利]半导体结构及其形成方法-CN202111254216.7在审
  • 武咏琴;卜伟海 - 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司
  • 2021-10-27 - 2023-04-28 - H01L29/06
  • 一种半导体结构及其形成方法,其中,半导体结构包括:衬底;多个凸起部,凸出于衬底;隔离层,位于凸起部上,沿凸起部的延伸方向,隔离层包括第一区域以及位于第一区域两侧的第二区域;填充层,位于隔离层的第一区域上;沟道结构层,位于填充层的上方且与填充层间隔悬空设置,沟道结构层包括一个或多个依次间隔设置的沟道层,沟道层沿垂直于衬底表面的方向堆叠;绝缘层,位于衬底上且围绕凸起部、隔离层和填充层,绝缘层覆盖隔离层和填充层的侧壁且露出沟道结构层;栅极结构,位于绝缘层上且横跨沟道结构层且包围沟道层,栅极结构还位于填充层的顶部且横跨填充层。本发明实施例能够降低器件的漏电流,提升半导体结构的性能。
  • 半导体结构及其形成方法
  • [发明专利]半导体结构及其形成方法-CN202110855629.4在审
  • 汪涵;卜伟海 - 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司
  • 2021-07-28 - 2023-02-03 - H01L29/423
  • 一种半导体结构及其形成方法,包括:衬底,衬底上具有若干沟道层,沟道层沿第一方向延伸;位于相邻沟道层两端之间的内侧墙,内侧墙的侧面与沟道层端面共垂直面;位于相邻沟道层之间的栅极槽;位于衬底上和栅极槽内的栅极结构,栅极结构沿第二方向包围若干沟道层,第一方向与第二方向垂直;位于栅极结构侧壁的第一侧墙和第二侧墙,第一侧墙位于第二侧墙上;位于栅极结构两侧的源漏开口,源漏开口暴露出内侧墙;位于源漏开口内的源漏掺杂层。通过底部伪栅材料层覆盖鳍部结构的侧壁。能够减少在形成源漏开口之后的副产物的产生,使得源漏掺杂层具有良好的生长环境,提升源漏掺杂层的形貌,以此提升最终形成的半导体结构的性能。
  • 半导体结构及其形成方法
  • [发明专利]半导体结构及其形成方法-CN202110855630.7在审
  • 汪涵 - 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司
  • 2021-07-28 - 2023-02-03 - H01L29/423
  • 一种半导体结构及其形成方法,其中结构包括:衬底;位于衬底上且沿衬底表面法线方向重叠的若干沟道层;位于衬底上的栅极结构,栅极结构包围沟道层;位于栅极结构侧壁表面的外侧墙,所述外侧墙的侧壁相对于沟道层端面凹陷;位于栅极结构两侧鳍部结构内的源漏开口;位于相邻的沟道层之间的隔离凹槽;位于隔离凹槽内的内侧墙;位于源漏开口内的源漏掺杂层;位于隔离层上的介质层,介质层覆盖若干沟道层和栅极结构。通过对初始外侧墙进行减薄处理,使得形成的外侧墙能够暴露出牺牲层的另外两个面,进而在后续刻蚀部分牺牲层时,使得刻蚀容易能够与牺牲层的三个面进行接触,降低刻蚀的工艺难度,减少刻蚀副产物的残留,以及提升隔离凹槽的形貌。
  • 半导体结构及其形成方法
  • [发明专利]半导体结构及其形成方法-CN202110864522.6在审
  • 汪涵 - 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司
  • 2021-07-29 - 2023-02-03 - H01L27/092
  • 一种半导体结构及其形成方法,其中结构包括衬底,衬底,衬底包括相邻的第一区和第二区;分别位于第一区和第二区上的若干沟道层;位于相邻沟道层之间的侧墙;位于堆叠的若干沟道层两侧的源漏掺杂层;位于衬底上的栅极结构,栅极结构包围若干沟道层,且栅极结构横跨第一区和第二区;位于衬底上的介质层,介质层覆盖栅极结构的侧壁,且介质层的顶部表面高于栅极结构的顶部表面,以使得在介质层内具有导电开口,导电开口暴露出栅极结构的顶部表面;位于导电开口内的导电层,导电层连接位于第一区和第二区上的栅极结构。通过该半导体结构能够简化位于第一区上的栅极结构和位于第二区上的栅极结构之间的电连接结构,进而简化工艺步骤,降低工艺难度。
  • 半导体结构及其形成方法

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