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[发明专利]ARPES真空系统、真空安全联锁系统和真空安全联锁方法-CN201711422421.3有效
发明人：张凯莉;沈大伟;向兀;刘吉山;刘正太;刘中灏;樊聪聪;刘万领;卢祥乐 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2017-12-25 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： G05B19/05 文献下载
摘要：本发明提供了一种ARPES真空系统、真空安全联锁系统和真空安全联锁方法。所述ARPES真空系统包括真空管路；所述真空管路的首端至末端依次设置有前级机械泵、第一真空规、第一前级真空阀、第二前级真空阀、第三前级真空阀、第一前级分子泵阀、第一分子泵、第二前级分子泵阀、第二真空规、第二分子泵、分子泵阀、离子泵阀、离子泵、样品准备腔、分析腔；所述样品准备腔和分析腔之间设置有腔体阀门，所述准备腔上接有第三真空规和第四真空规，所述分析腔上接有第五真空规第五真空规和吸附泵，所述分析腔和所述吸附泵之间设置有吸附泵阀；所述第一分子泵和所述分析腔之间的所述真空管路上依次设置有冷凝泵阀、冷凝泵和冷凝泵闸板阀。
arpes 真空系统安全联锁方法

[发明专利]一种臭氧产生提纯系统-CN202010064551.X在审
发明人：陈文清;沈大伟;刘正太;江志诚;刘万领;黄喆;卢祥乐 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2020-01-20 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： C01B13/11 文献下载
摘要：本申请提供一种臭氧产生提纯系统，包括：供氧装置、臭氧发生装置、臭氧分离装置、控制装置和气路管道；供氧装置能够提供氧气；臭氧发生装置能够将氧气电解为包含氧气和臭氧的混合气体；臭氧分离装置能够将混合气体中的臭氧分离，臭氧分离装置内设有臭氧吸附装置；供氧装置、臭氧发生装置和臭氧分离装置通过气路管道依次连通，气路管道包括多个支路管道；控制装置能够控制多个支路管道开启或关闭，且控制装置能够调控多个支路管道的气压。本申请提供的臭氧产生提纯系统的臭氧分离装置内设有臭氧吸附装置，能够进行臭氧的收集，控制装置能够控制多个支路管道开启或关闭，调控多个支路管道的气压，有效防止气路压力增大，安全系数高。
一种臭氧产生提纯系统

[发明专利]一种光路切换系统-CN201710277779.5有效
发明人：刘吉山;沈大伟;刘万领;向兀;樊聪聪;刘正太;张凯丽 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2017-04-25 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： G01N23/227 文献下载
摘要：本发明提供一种光路切换系统，所述光路切换系统至少包括：真空管路；设置在真空管路一端的样品系统腔，用于放置待测样品；设置在所述真空管路上至少两个光源光路腔，用于分别引入不同的光源，其中，每个光源光路腔配备有离子泵和真空阀门；设置在所述真空管路上且位于所述样品系统腔和所述光源光路腔之间的真空调节腔。本发明的光路切换系统可以解决角分辨光电子能谱仪集成不同激励光源后各光源之间的相互切换问题，实现在测试过程中各种光源能够相互自由切换的实际需求。
一种切换系统

[发明专利]一种钙钛矿型SrIrO₃单晶薄膜材料的制备方法-CN201510272038.9有效
发明人： 刘正太;沈大伟;李明颖;杨海峰;姚岐;刘吉山;樊聪聪 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2015-05-25 - 公布日： 2018-11-27 - 主分类号： C30B29/24 文献下载
摘要：本发明提供一种钙钛矿型SrIrO₃单晶薄膜材料的制备方法，包括如下步骤：S1：提供一钙钛矿型衬底；S2：对所述衬底进行清洗处理；S3：对所述衬底进行退火处理；S4：在氧化物分子束外延系统中采用Ir单质靶蒸发源、Sr单质靶蒸发源及氧源，在所述衬底表面外延生长钙钛矿型SrIrO₃单晶薄膜材料。本发明利用氧化物分子束外延技术，通过超高真空设备硬件、单质蒸发源的选择、稳定的蒸发源束流控制、衬底的选取、衬底的处理、薄膜合成参数的稳定控制，制备得到高质量的钙钛矿型SrIrO₃单晶薄膜材料。该单晶薄膜相比体材料拥有很大的优势，具有稳定态的钙钛矿型结构，外延薄膜表面是天然的平整解理面，有利于实现电子结构的测试，样品表面的高洁净度使测试更加顺利进行。
一种钙钛矿型 sriro sub 薄膜材料制备方法

[发明专利]一种钇掺杂氧化锆单晶衬底的处理方法-CN201510258262.2有效
发明人：姚岐;沈大伟;刘吉山;李明颖;刘正太 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2015-05-20 - 公布日： 2017-12-29 - 主分类号： H01L39/24 文献下载
摘要：本发明提供一种钇掺杂氧化锆单晶衬底的处理方法，所述处理方法包括提供一待处理的钇掺杂氧化锆单晶衬底，将所述钇掺杂氧化锆单晶衬底置于高温炉中，在1350℃～1450℃下进行空气氛围退火2～4小时，获得原子尺度的表面台阶，其中，所述钇掺杂氧化锆单晶衬底为(111)晶面。本发明的处理方法通过对(111)晶面的单晶衬底进行高温退火，使得原子内部按能量重新排列，表面再结晶，从而在衬底表面获得原子尺度的台阶，这种具有台阶的(111)单晶衬底有利于生长界面性能好、与衬底晶格匹配的氧化物薄膜，具有很大的应用潜力。
一种掺杂氧化锆衬底处理方法

[发明专利]用于分子束外延生长和角分辨光电子能谱测试的样品托-CN201510155485.6有效
发明人：刘吉山;沈大伟;刘正太;李明颖;姚岐;樊聪 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2015-04-02 - 公布日： 2017-12-29 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明提供一种用于分子束外延生长和角分辨光电子能谱测试的样品托，包括圆形托、压片、方形托；所述压片通过固定件固定在所述圆形托上；所述方形托包括样品承载部和与所述样品承载部相连的手柄，所述样品承载部压在所述压片和圆形托之间；所述圆形托上还设置有机械手进出的槽体和观察机械手是否抓取到所述方形托的观察孔；所述手柄上设置有抓取孔，机械手通过抓取孔抓取并抽出方形托。本发明设计的样品托既可以适用于分子束外延设备中的样品架，同时也适用于角分辨光电子能谱测试中的样品架，从而实现分子束外延/角分辨光电子能谱仪集成系统原位生长和原位电子结构测量。
用于分子外延生长分辨光电子测试样品

[发明专利]一种NdGaO3单晶衬底的处理方法-CN201510268586.4有效
发明人：杨海峰;沈大伟;李明颖;刘正太;姚岐;樊聪聪;刘吉山 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2015-05-22 - 公布日： 2017-09-22 - 主分类号： C30B19/12 文献下载
摘要：本发明提供一种NdGaO3单晶衬底的处理方法，所述处理方法包括步骤首先，提供一待处理的NdGaO3单晶衬底，所述待处理的NdGaO3单晶衬底表面是由NdO层和GaO层构成的混合终结面；然后，将所述待处理的NdGaO3单晶衬底进行酸刻蚀，使所述NdGaO3单晶衬底表面初步形成由GaO层构成的单一终结面；最后，将所述NdGaO3单晶衬底置于高温炉中进行退火，获得具有原子尺度表面台阶的GaO单一终结面。通过本发明的处理方法可以将混合终结面的NdGaO3单晶衬底转变为GaO单一终结面的NdGaO3单晶衬底，并且衬底表面具有高度结晶的原子级平整的台阶，有利于后续生长出更为平整、可控且质量更好的氧化物薄膜材料。
一种 ndgao sub 衬底处理方法

[发明专利]一种钙钛矿型Sr2IrO4单晶薄膜材料的制备方法-CN201510394987.4有效
发明人：李明颖;沈大伟;杨海峰;刘正太;刘吉山;姚岐;樊聪聪 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2015-07-07 - 公布日： 2017-04-19 - 主分类号： H01B13/00 文献下载
摘要：本发明提供一种钙钛矿型Sr2IrO4单晶薄膜材料的制备方法，所述制备方法至少包括首先提供一SrTiO3衬底；然后对所述SrTiO3衬底进行预处理，获得具有单一终截面的SrTiO3衬底；接着对所述具有单一终截面的SrTiO3衬底依次进行清洗处理和退火处理；最后在氧化物分子束外延系统中，通入氧化源，并交替通入Sr单质蒸发源和Ir单质蒸发源，从而在所述SrTiO3衬底表面生长形成钙钛矿型Sr2IrO4单晶薄膜材料。本发明通过新型的氧化物分子束外延(Oxide molecular beam epitaxy)技术，在面内晶格失配率较低的SrTiO3(001)衬底上制备出高质量的Sr2IrO4单晶薄膜，为实现高比例化学元素掺杂的Sr2IrO4单晶制备奠定基础。
一种钙钛矿型 sr sub iro 薄膜材料制备方法

[实用新型]具有双向联动换气机构的一体式空调器-CN200520084576.7无效
发明人：楚人震;谷东照;马玉新;陈立安;迟君正;刘正太 -专利权人：海尔集团公司;青岛海尔空调器有限总公司
申请日： 2005-06-24 - 公布日： 2006-12-20 - 主分类号： F24F1/02 文献下载
摘要：本实用新型所述具有双向联动换气机构的一体式空调器，提供有2个联动风门的双向换气管路，该换气管路分开设置并分别由各自的电机驱动，在整体式壳体内部形成2个联动风门，即使在压缩机停止运行的状态下也可直接从户外引入低温空气，既可维持室内低温环境，又可有效地提高室内空气质量。所述空调器具有一壳体；以及分别与壳体的后侧板连通、并贯穿墙体后与室外侧连通的一排风管和一进风管。在壳体内部，室内机和室外机通过一中间隔板相互分隔设置。所述的双向联动换气机构，在所述的排风管和壳体通风格栅之间、以及在所述的进风管和壳体通风格栅之间，设置有2个分开设置的、且分别由各自的电机驱动的进风风门和排风风门。
具有双向联动换气机构体式空调器

[实用新型]一体式空调器-CN200520084575.2无效
发明人：楚人震;谷东照;马玉新;陈立安;迟君正;刘正太 -专利权人：海尔集团公司;青岛海尔空调器有限总公司
申请日： 2005-06-24 - 公布日： 2006-09-13 - 主分类号： F24F1/02 文献下载
摘要：本实用新型所述的一体式空调器，提供一种整机配置在室内的壳体结构，壳体内设置有通过中间隔板分隔的室内机和室外机部分，室内机与室外机之间连接有通风管。当户外环境温度低于室内设定温度时，可停止压缩机运行而直接从户外引入低温空气，既可节省能量、又可有效提高室内空气质量。所述空调器具有一壳体；以及分别与壳体的后侧板连通、并贯穿墙体后与室外侧连通的一排风管和一进风管。在壳体内部，室内机和室外机通过一中间隔板相互分隔设置。在分隔室内机和室外机的中间隔板上，贯穿设置一由电机驱动的进风风门。在室外机一侧的壳体顶板上，贯穿设置一由电机驱动的排风风门。
体式空调器

[实用新型]叶片圆弧磨削装置-CN200420032630.9无效
发明人：林大明;林和洲;刘正太 -专利权人：贵州西南工具（集团）有限公司
申请日： 2004-01-16 - 公布日： 2005-03-16 - 主分类号： B24B19/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种叶片圆弧磨削装置，它在夹具体的两侧面上分别设有一个在同一中心线上的磨床顶尖孔，并且在夹具体上还设有能够安放被加工的叶片的凹槽，在夹具体上凹槽的上方通过螺钉连接有一盖板，在盖板上设有用于夹紧叶片的锁紧螺栓，在夹具体上通过螺栓连接有一个操作手柄。本实用新型具有结构简单、投资少、加工成本低、操作容易方便的优点。使用本实用新型时，先将叶片装夹在夹具体的凹槽中，并将夹具体装在外圆磨床头架和工作台顶尖之间即可开始磨削工作，磨削工作时，用手通过操作手柄使夹具体以顶尖的中心线为转动中心作反复摆动，即可使磨削出的叶片的圆弧表面粗造度、轮廓度完全达到要求。
叶片圆弧磨削装置

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