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[实用新型]一种具有高机械强度性能的MOCVD石墨盘-CN201620207598.6有效
发明人：杨鹏;杨翠柏;张小宾;张杨;方聪;刘向平;靳恺;王雷;高熙隆 -专利权人：中山德华芯片技术有限公司
申请日： 2016-03-17 - 公布日： 2016-08-17 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有高机械强度性能的MOCVD石墨盘，包括有石墨盘本体，所述石墨盘本体的表面沉积有250‑350nm厚的金红石型二氧化钛层。由于金红石型二氧化钛层和石墨不发生界面反应，有很好的化学相容性，且金红石型二氧化钛层具有优异的热稳定性、高熔点，高温力学性能好，因此将金红石型二氧化钛层与石墨盘相结合，可有效增强石墨盘的机械强度性能，防止石墨粉体进入反应腔，净化反应腔生长环境，从而极大提高半导体芯片质量。
一种具有机械强度性能 mocvd 石墨

[实用新型]一种基于MOCVD控制太阳能电池外延片生长的系统-CN201520925932.7有效
发明人：靳恺;方聪;杨翠柏;张杨;张露;刘向平;王雷 -专利权人：中山德华芯片技术有限公司
申请日： 2015-11-19 - 公布日： 2016-07-13 - 主分类号： C30B25/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于MOCVD控制太阳能电池外延片生长的系统，包括MOCVD反应腔室、光学探测器、温控器及加热电源；MOCVD反应腔室内设有基座和加热盘，外延片承载于基座上，加热盘在对基座进行加热的同时，间接也对基座上的外延片进行加热，加热电源通过加热电极为加热盘供电，MOCVD反应腔室的顶部设有至少三个探测窗口，探测窗口数量与光学探测器数量相一致，外延片根据探测窗口的数量区分有相应个数的区域，一个光学探测器对应一个探测窗口，并负责探测外延片上的相应区域，确保所有光学探测器组合起来能够探测到外延片上的全部区域，光学探测器和加热电源分别与温控器电连接。本实用新型能够实时监测并准确控制外延片的生长温度。
一种基于 mocvd 控制太阳能电池外延生长系统

[实用新型]一种MOCVD反应腔室用的无相差转盘结构-CN201520926552.5有效
发明人：张杨;方聪;杨翠柏;张露;刘向平;靳恺;王雷 -专利权人：中山德华芯片技术有限公司
申请日： 2015-11-19 - 公布日： 2016-06-08 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种MOCVD反应腔室用的无相差转盘结构，包括有上下叠置的耐高温托盘和耐高温金属驱动盘，该耐高温托盘的底面与耐高温金属驱动盘的顶面贴合；所述耐高温托盘和耐高温金属驱动盘之间通过其贴合面处紧密嵌合的凹凸结构进行准确定位，增加了它们两者之间的接触面积，进而使得耐高温托盘和耐高温金属驱动盘能更加紧密地贴合在一起，使得耐高温金属驱动盘转动时，耐高温托盘随之转动，耐高温金属驱动盘停止转动时，耐高温托盘随之停止转动，从而实现耐高温托盘和耐高温金属驱动盘的无相位差转动，这有利于对反应过程的精准控制。
一种 mocvd 反应腔室用相差转盘结构

[实用新型]一种能防止MOCVD反应过程中晶圆片翘曲的结构-CN201520923976.6有效
发明人： 刘向平;杨翠柏;张杨;方聪;张露;靳恺;王雷 -专利权人：中山德华芯片技术有限公司
申请日： 2015-11-19 - 公布日： 2016-04-27 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种能防止MOCVD反应过程中晶圆片翘曲的结构，包括反应腔室、托盘、钼旋转盘、磁流体轴；托盘顶面上设有多个均布的平整凹坑，其内形成有第一抽真空通道，凹坑设有多条均布的第一长条形槽，每条第一长条形槽与相应凹坑的第一抽真空通道连通，托盘底面中心设有一盲孔，及连通盲孔的多条第二长条形槽，一条第二长条形槽与一条第一抽真空通道连通；钼旋转盘内形成有与盲孔连通的第二抽真空通道；磁流体轴与钼旋转盘连接，并装配上磁流体，磁流体连接有与外界抽真空装置相连的密封罩，磁流体轴一端穿过磁流体后伸进密封罩内，其内形成有与第二抽真空通道连通的第三抽真空通道。本实用新型能有效避免大尺寸晶圆片翘曲的问题。
一种防止 mocvd 反应过程中晶圆片翘曲结构

[实用新型]一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置-CN201520925955.8有效
发明人： 刘向平;杨翠柏;方聪;张杨;张露;靳恺;王雷 -专利权人：中山德华芯片技术有限公司
申请日： 2015-11-19 - 公布日： 2016-04-27 - 主分类号： G01K1/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置，包括探测口法兰盖、探头安装座、探头调节架、探头调节螺杆、螺杆安装板，探测口法兰盖装在MOCVD反应腔室顶部，探测口法兰盖上开有观察窗，探头安装座滑动安装在探测口法兰盖上，可在观察窗的长度方向上自由滑动，测温仪探头垂直装在探头安装座上，探头调节架上贯通有带内螺纹的通孔，通孔上的内螺纹与探头调节螺杆相适配，探头调节架与探头安装座固定相连，螺杆安装板竖直装在探测口法兰盖上，探头调节螺杆的一端横穿螺杆安装板后伸进探头调节架的通孔中，与探头调节架构成螺母丝杆机构。本实用新型能有效实现对测温仪安装位置的无级精确调节。
一种用于调节外延测温探头位置无级可调装置

[实用新型]一种带头包覆片-CN201520741681.7有效
发明人： 刘向平 -专利权人： 刘向平
申请日： 2015-09-23 - 公布日： 2016-03-09 - 主分类号： B65D65/38 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带头包覆片，用于紧束手提袋的绳带的端部并形成挂钩，该带头包覆片包括一呈长条带状的主体部，且该主体部的两侧设有多个突出的挂片部；两相邻挂片部之间形成凹口，使得带头包覆片的两侧呈锯齿状；所述挂片部和与该挂片部相邻的主体部的一面具有印刷层且与凹口相邻的主体部具有印刷层间隙，所述印刷层包括印制在所述主体部上的用作装饰和/或识别区分的图案；本实用新型通过在挂片部以及主体部两侧的挂片部之间的连接部上设置由用作装饰和/或识别区分的图案组成的印刷层，使得包覆片在固定绳带端部的同时能够起到装饰和/或识别区分的作用，提高了绳带及包覆片的外表美观性及实用性。
一种带头包覆片

[发明专利]一种能防止MOCVD反应过程中晶圆片翘曲的结构-CN201510799227.1在审
发明人： 刘向平;杨翠柏;张杨;方聪;张露;靳恺;王雷 -专利权人：中山德华芯片技术有限公司
申请日： 2015-11-19 - 公布日： 2016-02-24 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了一种能防止MOCVD反应过程中晶圆片翘曲的结构，包括反应腔室、托盘、钼旋转盘、磁流体轴；托盘顶面上设有多个均布的平整凹坑，其内形成有第一抽真空通道，凹坑设有多条均布的第一长条形槽，每条第一长条形槽与相应凹坑的第一抽真空通道连通，托盘底面中心设有一盲孔，及连通盲孔的多条第二长条形槽，一条第二长条形槽与一条第一抽真空通道连通；钼旋转盘内形成有与盲孔连通的第二抽真空通道；磁流体轴与钼旋转盘连接，并装配上磁流体，磁流体连接有与外界抽真空装置相连的密封罩，磁流体轴一端穿过磁流体后伸进密封罩内，其内形成有与第二抽真空通道连通的第三抽真空通道。本发明有效避免大尺寸晶圆片因自身太薄及尺寸较大引发的翘曲问题。
一种防止 mocvd 反应过程中晶圆片翘曲结构

[发明专利]一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置-CN201510799241.1在审
发明人： 刘向平;杨翠柏;方聪;张杨;张露;靳恺;王雷 -专利权人：中山德华芯片技术有限公司
申请日： 2015-11-19 - 公布日： 2016-02-24 - 主分类号： G01K1/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置，包括探测口法兰盖、探头安装座、探头调节架、探头调节螺杆、螺杆安装板，探测口法兰盖装在MOCVD反应腔室顶部，探测口法兰盖上开有观察窗，探头安装座滑动安装在探测口法兰盖上，可在观察窗的长度方向上自由滑动，测温仪探头垂直装在探头安装座上，探头调节架上贯通有带内螺纹的通孔，通孔上的内螺纹与探头调节螺杆相适配，探头调节架与探头安装座固定相连，螺杆安装板竖直装在探测口法兰盖上，探头调节螺杆的一端横穿螺杆安装板后伸进探头调节架的通孔中，与探头调节架构成螺母丝杆机构。本发明能有效实现对测温仪安装位置的无级精确调节。
一种用于调节外延测温探头位置无级可调装置

[实用新型]测速装置-CN201520593227.1有效
发明人：彭俊吉;樊翠萍;王晓冰;范增昌;刘向平;李笑龙;陈文汉 -专利权人：湖南广思科技有限公司
申请日： 2015-08-07 - 公布日： 2015-12-02 - 主分类号： B61C17/00 文献下载
摘要：本实用新型的测速装置包括磁盘及与磁盘配合的传感器，磁盘包括盘体及设置于盘体内的若干磁性件，盘体内开设有磁感应通道，传感器包括感应探头；若干磁性件依次设置于盘体上且在磁感应通道内形成周期性变化的磁场，感应探头伸入所述磁感应通道内切割磁场的磁感线，并输出周期性脉冲信号。本实用新型测速装置中传感器的感应间隙范围大，安装时允许偏心量大，装配适应性佳。且测速装置内部无任何旋转部件与传动部件，节省下来的空间全部分配给电气部分，用于加强抗干扰能力，安全可靠。
测速装置

[实用新型]一种高强薄壁铝合金易拉罐成型模具-CN201420871220.7有效
发明人：计永红;刘向平;常征华;姚林峰 -专利权人：广州荣鑫容器有限公司
申请日： 2014-12-31 - 公布日： 2015-06-10 - 主分类号： B21D37/10 文献下载
摘要：本实用新型一种高强薄壁铝合金易拉罐成型模具，包括机座、安装在所述机座内的底模、设置在所述机座外的模具壳体、设置在所述模具壳体内的凹模、驱动所述模具壳体朝向所述底模移动的第一动力机构和第二动力机构，所述模具壳体与第一动力机构相连接，所述底模具有与易拉罐罐身的外壁的形状相同的内腔，所述凹模具有圆柱形模腔，所述圆柱形模腔与所述底模的内腔同轴，所述圆柱形模腔内设置有冲头，所述冲头与第二动力机构相连接，所述冲头的头部的外轮廓与易拉罐罐身的内壁形状相同，所述冲头与所述圆柱形模腔之间具有形成易拉罐罐身侧壁的间隙。本实用新型提供的高强薄壁铝合金易拉罐成型模具，其能将毛坯易拉罐进行冲压，得到形状和长度符合要求的易拉罐罐身。
一种高强薄壁铝合金易拉罐成型模具

[发明专利]一种高强薄壁铝合金易拉罐成型模具-CN201410857294.X有效
发明人：计永红;刘向平;常征华;姚林峰 -专利权人：广州荣鑫容器有限公司
申请日： 2014-12-31 - 公布日： 2015-04-29 - 主分类号： B21D37/10 文献下载
摘要：本发明高强薄壁铝合金易拉罐成型模具，包括机座、安装在所述机座内的底模、设置在所述机座外的模具壳体、设置在所述模具壳体内的凹模、驱动所述模具壳体朝向所述底模移动的第一动力机构和第二动力机构，所述模具壳体与第一动力机构相连接，所述底模具有与易拉罐罐身的外壁的形状相同的内腔，所述凹模具有圆柱形模腔，所述圆柱形模腔与所述底模的内腔同轴，所述圆柱形模腔内设置有冲头，所述冲头与第二动力机构相连接，所述冲头的头部的外轮廓与易拉罐罐身的内壁形状相同，所述冲头与所述圆柱形模腔之间具有形成易拉罐罐身侧壁的间隙。本发明提供的高强薄壁铝合金易拉罐成型模具，其能将毛坯易拉罐进行冲压，得到形状和长度符合要求的易拉罐罐身。
一种高强薄壁铝合金易拉罐成型模具

[实用新型]一种铝合金易拉罐表面平滑度测试装置-CN201420857384.4有效
发明人：计永红;陈卫;周锦昌;刘向平 -专利权人：广州荣鑫容器有限公司
申请日： 2014-12-30 - 公布日： 2015-04-22 - 主分类号： G01B5/28 文献下载
摘要：为了解决目前铝合金易拉罐生产领域的铝合金易拉罐平滑度检测手段落后且不准确的问题，本实用新型公开了一种铝合金易拉罐表面平滑度测试装置，包括底座、测量板和供放置铝合金易拉罐的翻转平台，所述测量板固定在所述底座的边缘上，所述底座和测量板相互垂直呈L型；所述翻转平台通过转动轴可转动的安装在所述底座上方，所述转动轴与所述测量板垂直，所述翻转平台上表面设置有用于固定铝合金易拉罐的定位机构；所述测量板邻接所述翻转平台的侧面上刻画有弧形角度盘，所述弧形角度盘的圆心位于所述转动轴的轴线延长线上。其结构简单合理、成本低且使用方便。
一种铝合金易拉罐表面平滑测试装置

[发明专利]一种铝合金易拉罐表面平滑度测试装置及测试方法-CN201410844055.0有效
发明人：计永红;陈卫;周锦昌;刘向平 -专利权人：广州荣鑫容器有限公司
申请日： 2014-12-30 - 公布日： 2015-04-01 - 主分类号： G01B5/28 文献下载
摘要：为了解决目前铝合金易拉罐生产领域的铝合金易拉罐平滑度检测手段落后且不准确的问题，本发明公开了一种铝合金易拉罐表面平滑度测试装置，包括底座、测量板和供放置铝合金易拉罐的翻转平台，所述测量板固定在所述底座的边缘上，所述底座和测量板相互垂直呈L型；所述翻转平台通过转动轴可转动的安装在所述底座上方，所述转动轴与所述测量板垂直，所述翻转平台上表面设置有用于固定铝合金易拉罐的定位机构；所述测量板邻接所述翻转平台的侧面上刻画有弧形角度盘，所述弧形角度盘的圆心位于所述转动轴的轴线延长线上。其结构简单合理、成本低且使用方便，同时公开了利用这种铝合金易拉罐表面平滑度测试装置测试铝合金易拉罐平滑度的方法，这种方法简便易行，标准统一，检测结果直观准确。
一种铝合金易拉罐表面平滑测试装置方法

[实用新型]一种多立柱式太阳能模组支架结构-CN201320666287.2有效
发明人：王智勇;郭丽敏;张东明;杨光辉;代明崇;张学;陈建民;张衡;蒋宗跃;刘向平 -专利权人：广东瑞德兴阳光伏科技有限公司
申请日： 2013-10-24 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： H02S20/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多立柱式太阳能模组支架结构，包括多根立柱、主旋转轴、次旋转轴、主轴翻转减速机、次轴翻转减速机、连杆机构及多个模组固定架，主旋转轴水平安装在多根立柱上，并可由主轴翻转减速机带动旋转；次旋转轴有多根垂直安装在主旋转轴上，相互平行且沿主旋转轴轴向间隔排列；模组固定架安装在相应的次旋转轴上，相邻两个模组固定架之间各通过一个连杆机构相连接，且两两模组固定架之间的连杆机构依次相接，构成一个整体，使得每个连杆机构可由次轴翻转减速机带动同步动作，进而使得每根次旋转轴上的模组固定架同步翻转。本实用新型可随光照条件变化进行调整，实现对太阳光的实时跟踪，从而使太阳能发电模组达到最大的工作效率。
一种立柱太阳能模组支架结构

[发明专利]一种单立柱式太阳能模组支架结构-CN201310514225.4有效
发明人：王智勇;郭丽敏;张东明;杨光辉;代明崇;张学;陈建民;张衡;蒋宗跃;刘向平 -专利权人：广东瑞德兴阳光伏科技有限公司
申请日： 2013-10-24 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： H02S20/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种单立柱式太阳能模组支架结构，包括单根立柱、活动支座、俯仰机构、水平回转减速机，所述俯仰机构包括俯仰支撑架及链条回转单元，太阳能模组平铺装于该俯仰支撑架上；所述水平回转减速机安装在立柱的顶部，活动支座装于该水平回转减速机的动盘上，链条回转单元的俯仰减速电机装在活动支座上，其链轮装在俯仰减速电机的动盘上，该链条回转单元采用开式链条传动，其链条装于俯仰支撑架的转动主梁上，该转动主梁装在活动支座上，俯仰支撑架通过转动主梁上的链条与链轮连接，由活动支座上的俯仰减速电机带动做竖直俯仰运动。本发明可随光照条件变化进行调整，实现对太阳光的实时跟踪，从而使太阳能发电模组达到最大的工作效率。
一种立柱太阳能模组支架结构