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- [实用新型]硅片旋转测试装置-CN202023334718.4有效
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吴廷斌;张学强;张建伟;罗银兵;刘三利
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罗博特科智能科技股份有限公司
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2020-12-30
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2021-11-02
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H01L21/677
- 本实用新型公开了一种硅片旋转测试装置,包括两侧设置有传输流水线的旋转机构,旋转机构包括驱动组件、旋转盘组件和太阳轮组件,驱动组件包括驱动源;旋转盘组件包括相连的一对转盘和吸附件,一对转盘轴连,其中一个转盘直连驱动源,转盘上设置有吸附件,吸附件包括同步轮组,多个同步轮组两两之间通过同步带相连;太阳轮组件包括太阳轮和固定轴,太阳轮设于固定轴上,太阳轮通过同步带连接其中一个吸附件的同步轮组。本实用新型能够实现产品在两个流水线上的稳定传输,同时在旋转盘组件的旋转过程中,吸附件一直保持水平状态,因此在产品转运的过程中可以进行类似拍照、检测以及印刷等其他工作,有利于大大提高工作效率。
- 硅片旋转测试装置
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