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- [实用新型]一种弹簧拆卸辅助工装-CN202320038229.9有效
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郑磊;何勇明;邱亦欣;吴群;陆其波;刘超林;吴晓富;黎志锋;黄明;全明;梁桂琦
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全明
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2023-01-07
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2023-06-23
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B25B27/30
- 本实用新型公开了一种弹簧拆卸辅助工装，包括固定块，所述固定块的下侧中间外部位置处设置有底柱，所述固定块的上侧中间位置处设置有中心块，所述中心块的上侧外部位置处设置有顶盖，所述中心块的外侧位置处设置有调节弹簧，通过中心块、调节弹簧、弹板以及环槽的设置，当待拆卸弹簧的半径小于多个弹板所围绕成的圆环半径时，待拆卸弹簧的末端金属钩会通过抵压住弹板，令弹板向中心块处移动，令调节弹簧向中心块处形变压缩，从而改变多个弹板形成圆环的半径使其符合待拆卸弹簧的半径，防止在将待拆卸弹簧和该设备进行连接时，由于待拆卸弹簧半径和该设备连接处半径不相符，对待拆卸弹簧弹力造成破坏，起到在拆卸弹簧时的缓冲保护作用。
- 一种弹簧拆卸辅助工装
- [实用新型]晶片装载装置-CN202223366551.9有效
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陆前军;全明;张剑桥;王农华;黄杰煌;杨霖
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广东中图半导体科技股份有限公司
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2022-12-15
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2023-04-18
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H01L21/677
- 本实用新型涉及半导体晶圆加工技术领域，公开一种晶片装载装置。其中晶片装载装置的装载固定系统包括装载执行件和固定执行件，装载执行件能将晶片装载于载具组件，固定执行件能固定装载后的载具组件；转换工作台上设置有与装载执行件对应的装载工位和与固定执行件对应的固定工位，转换工作台转动设置，以将置于装载工位和固定工位的载具组件转换位置；传送系统设置于转换工作台的一侧，包括承载架和传送执行件，传送执行件能将承载架上空载的载具组件放置于固定工位，并将固定工位装载后且固定后的载具组件放置于承载架；晶片定位能定位晶片，以为装载执行件提供定位后的晶片。本实用新型工作效率更高，装载和固定的精度更好，结构更加紧凑。
- 晶片装载装置
- [发明专利]晶片装载装置及装载方法-CN202211613951.7在审
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陆前军;全明;张剑桥;王农华;黄杰煌;杨霖
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广东中图半导体科技股份有限公司
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2022-12-15
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2023-03-21
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H01L21/677
- 本发明涉及半导体晶圆加工技术领域，公开一种晶片装载装置及装载方法。其中晶片装载装置的装载固定系统包括装载执行件和固定执行件，装载执行件能将晶片装载于载具组件，固定执行件能固定装载后的载具组件；转换工作台上设置有与装载执行件对应的装载工位和与固定执行件对应的固定工位，转换工作台转动设置，以将置于装载工位和固定工位的载具组件转换位置；传送系统设置于转换工作台的一侧，包括承载架和传送执行件，传送执行件能将承载架上空载的载具组件放置于固定工位，并将固定工位装载后且固定后的载具组件放置于承载架；晶片定位能定位晶片，以为装载执行件提供定位后的晶片。本发明工作效率更高，装载和固定的精度更好，结构更加紧凑。
- 晶片装载装置方法
- [实用新型]一种蚀刻设备-CN202222607866.1有效
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李海虹;康凯;全明;许剑勇
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广东中图半导体科技股份有限公司
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2022-09-30
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2023-03-21
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H01J37/32
- 本实用新型公开了一种蚀刻设备，所述蚀刻设备包括蚀刻机体、蚀刻部件、射频电源和散热结构，所述蚀刻部件用于对工件进行刻蚀；所述射频电源包括频率输出电路，所述频率输出电路用于输出1MHZ的频率，以对所述蚀刻部件进行电力输送；所述散热结构包括冷风机，所述蚀刻机体设有安装腔，所述射频电源设置在所述安装腔内；所述蚀刻机体的侧壁设有贯通所述安装腔的第一进气口和第一散热孔，所述冷风机用于将外部空气通过所述第一进气口导入所述安装腔；所述第一散热孔的数量为多个，所述射频电源用于通过所述第一散热孔散热。通过采用上述方案，实现了提高产能的同时防止射频电源过热的效果。
- 一种蚀刻设备
- [实用新型]一种吸附装置及自动上片机-CN202222897188.7有效
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黄杰煌;全明;杨霖;刘宇
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广东中图半导体科技股份有限公司
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2022-11-01
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2023-02-17
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B65G47/91
- 本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种吸附装置及自动上片机。本实用新型提供的吸附装置包括吸附载板以及吸嘴组件，其中，吸附载板上开设有螺纹吸附孔，吸嘴组件包括吸嘴以及连接套，吸嘴套设固定在连接套上，连接套与螺纹吸附孔螺纹连接，并且吸嘴、连接套以及螺纹吸附孔依次导通。吸嘴组件通过连接套螺纹连接在吸附载板上，当吸附装置进行吸取工作时，避免了吸嘴组件从吸附载板上脱落的风险，保证了吸嘴组件与吸附载板连接的可靠性和稳定性，从而提高了吸附装置的工作效率。本实用新型提供的自动上片机，通过应用上述吸附装置，减少了晶圆的返工处理量，节省了时间成本及生产成本，提高了自动上片机的稼动率。
- 一种吸附装置自动上片
- [发明专利]一种ICP刻蚀机-CN202111441533.X在审
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罗凯;王子荣;全明
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广东中图半导体科技股份有限公司
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2021-11-30
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2022-03-08
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H01J37/32
- 本发明属于刻蚀设备技术领域，公开了一种ICP刻蚀机。该ICP刻蚀机包括底座、下支架、上支架、上盖、调整环、导流板和线圈；下支架安装在底座上，上支架安装在下支架上，上盖安装在上支架上，线圈安装在上盖上；上盖、上支架内壁、下支架内壁和底座共同围设形成封闭的空腔；上盖还具有进气孔；导流板置于调整环上，调整环用于带动导流板沿靠近或远离底座移动；导流板用于将空腔分割为第一腔室和第二腔室，导流板具有若干个流道孔，第一腔室和第二腔室通过流道孔连通。通过本发明，可以实现放电间隙的调节和流场分布的调整；节省能源、提升效率和提高刻蚀质量；同时也能减少对上支架的刻蚀损害，提升刻蚀机的寿命。
- 一种icp刻蚀
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