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[发明专利]基板处理装置-CN201880091453.6在审
发明人：折坂昌幸;佐藤雅伸;基村雅洋;光吉一郎 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2018-11-22 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：基板处理装置在支承于升降部的基板W的下方与处理槽1的底面之间具有狭缝板(31)。21个狭缝(33)的与中央区域(ARC)的宽度(WD1)相比，第一外区域(AR1)以及第二外区域(AR2)中的宽度(WD2、WD3)被设为更大。因此，在从一对喷出管(7)供给的、在中央区域(ARC)沿基板(W)面上升的处理液的流动性强的液流从狭缝板(31)通过而向基板(W)侧上升时，其动量被削弱。因此，能够缓和基板(W)面附近的处理液的流动的差异，能够在基板(W)面内形成速度差很小的整流。
处理装置

[发明专利]基板处理装置以及基板处理方法-CN201280063629.X有效
发明人：相原友明;光吉一郎;前川直嗣;土谷庆一 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2012-12-11 - 公布日： 2014-08-20 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：基板处理装置(1)具有处理槽(3)、盖部(5)、升降部。用于贮存处理液的处理槽具有上部开口(30)。盖部具有卷绕有片状连续构件(50)的两端部的一对辊(51、52)，连续构件的处于一对辊之间的部位即中间部(501)，在上部开口的附近与上部开口的开口面平行地配置，通过使辊旋转，使中间部沿着开口面移动。在连续构件上形成有作为开口的通过口(502)。升降部使基板(9)在处理槽内的处理位置和处理槽外的退避位置之间进行升降。在要使基板在处理位置和退避位置之间进行升降时，通过口配置在上部开口的正上方。另外，要在处理槽内对基板进行处理时，通过口配置在从上部开口的正上方偏离的位置，从而通过连续构件堵塞上部开口。能够通过省空间的盖部来使基板处理装置小型化。
处理装置以及方法

[发明专利]基板处理装置-CN201110416096.6有效
发明人： 光吉一郎;柴田英树;古田智靖 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2011-12-09 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及基板处理装置，在基板处理单元(11)和收纳器容置/搬运单元(7)间具有收纳器容置单元(9)，通过搬运机器手(19)在装载口(5)和保持架排列部(33)间搬运。通过搬运机器手(31)在保持架排列部(33)、保持架排列部(69)和载置部(27)间搬运。装载口(5)和保持架排列部(33)间的搬运与保持架排列部(69)、保持架排列部(33)和载置部(27)间的搬运能够大致并行地进行。因此，提高FOUP(3)的搬运效率，提高生产率。而且，在收纳器容置/搬运单元(7)和基板处理单元(11)间仅配置收纳器容置单元(9)，能够抑制装置尺寸增加，增加FOUP(3)的容置数量，能够实现装置的高生产率。
处理装置

[发明专利]基板承载架和基板处理装置-CN201010198915.X有效
发明人： 光吉一郎 -专利权人：大日本网目版制造株式会社
申请日： 2007-12-27 - 公布日： 2010-10-27 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种基板承载架以及基板处理装置，该基板处理装置由分度器区和处理区组成，利用分度器机器人在分度器区和处理区之间搬运基板。分度器机器人包括在转动台上设置的上下的两个手部。一手部相对于另一手部沿铅垂方向移动。一手部和另一手部的高度差能够调整得与运载器的基板容置槽之间的间隔相同，该运载器容置有被搬入到分度器区内的基板。一手部和另一手部的高度差能够调整得与设置在分度器区和处理区之间的基板承载部的支承板之间的间隔相同。
承载处理装置

[发明专利]基板处理装置及在基板处理装置中使用的基板搬运装置-CN200910169141.5有效
发明人： 光吉一郎;村元僚 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2009-09-11 - 公布日： 2010-03-17 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种基板处理装置包括：基板处理部，对垂直姿势的多张基板一起实施处理；第一横向运动机构，使对垂直姿势的多张基板一起进行保持的第一横向运动保持部，在基板运载位置与基板交接位置之间沿着第一横向运动路径横向运动；第二横向运动机构，使对垂直姿势的多张基板一起进行保持的第二横向运动保持部，在所述基板运载位置与所述基板交接位置之间沿着比所述第一横向运动路径靠下方的第二横向运动路径横向运动；升降机构，使对垂直姿势的多张基板一起进行保持的升降保持部，在所述基板运载位置升降；主搬运机构，在所述基板交接位置与所述基板处理部之间一起搬运垂直姿势的多张基板。
处理装置使用搬运

[发明专利]基板处理装置-CN200910007769.5有效
发明人：涩川润;清川信治;光吉一郎 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2009-02-24 - 公布日： 2009-09-02 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种基板处理装置，包括：刷，其用于清洗基板；跷板构件，其能够以支撑构件为支点进行摆动，相对所述支点在一侧具有力点部，相对所述支点在另一侧具有作用点部；按压用驱动器，其向所述跷板构件的力点部施加驱动力，使该跷板构件以所述支点为中心进行摆动，从而向该跷板构件施加用于将所述刷按压于基板的按压力；传递构件，其具有被作用点部，所述被作用点部接受从所述跷板构件的所述作用点部施加给所述力点部的驱动力，并向所述刷传递用于将所述刷按压于基板的按压力。
处理装置

[发明专利]基板处理装置-CN200810210935.7有效
发明人： 光吉一郎 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2008-08-15 - 公布日： 2009-04-01 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种能缩短搬运基板所需时间的基板处理装置。FOUP(前开式统一标准箱)搬运机械手(20)在加载端口(10)和FOUP装载台(30)之间对容置有多个基板的FOUP(80)进行搬运。分度器机械手(40)经由基板交接部(50)将在装载于FOUP装载台(30)上的FOUP(80)中容置的基板(W)(未处理的基板)传送至清洗处理部(60)，并经由基板交接部(50)取出在清洗处理部(60)擦洗处理完的基板(W)(处理完的基板)并容置于FOUP(80)中。在分度器机械手(40)周围设置有多个FOUP装载台(30)。因此分度器机械手(40)在搬运基板的过程中无需沿水平方向移动。由此能缩短搬运基板所需时间。
处理装置

[发明专利]基板处理装置-CN200810005676.4有效
发明人： 光吉一郎 -专利权人：大日本网目版制造株式会社
申请日： 2008-02-15 - 公布日： 2008-08-20 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置。在处理区设置有多个背面清洗单元及主机械手。主机械手设置在配设在处理区一侧的侧面的背面清洗单元与配设在处理区另一侧的侧面的背面清洗单元之间。在分度器区与处理区之间，上下邻接的方式设置有使基板翻转的翻转单元、及在分度器机械手与主机械手交接基板的基板装载部。主机械手在多个背面清洗单元、基板装载部及翻转单元之间搬运基板。
处理装置

[发明专利]基板处理装置-CN200810005675.X有效
发明人： 光吉一郎;涩川润;清川信治;榑林知启 -专利权人：大日本网目版制造株式会社
申请日： 2008-02-15 - 公布日： 2008-08-20 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种对基板进行处理的基板处理装置。该基板处理装置由互相并列而设置的分度器区、第一处理区以及第二处理区构成。在分度器区设置有分度器机械手。在第一处理区设置有多个背面清洗单元以及第一主机械手。在第二处理区设置有多个端面清洗单元、多个表面清洗单元以及第二主机械手。
处理装置

[发明专利]基板搬运装置、基板承载架和基板处理装置-CN200710305600.9有效
发明人： 光吉一郎 -专利权人：大日本网目版制造株式会社
申请日： 2007-12-27 - 公布日： 2008-07-16 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种基板搬运装置、基板承载架和基板处理装置，该基板处理装置由分度器区和处理区组成，利用分度器机器人在分度器区和处理区之间搬运基板。分度器机器人包括在转动台上设置的上下的两个手部。一手部相对于另一手部沿铅垂方向移动。一手部和另一手部的高度差能够调整得与运载器的基板容置槽之间的间隔相同，该运载器容置有被搬入到分度器区内的基板。一手部和另一手部的高度差能够调整得与设置在分度器区和处理区之间的基板承载部的支承板之间的间隔相同。
搬运装置承载处理

[发明专利]基板处理装置以及基板处理方法-CN200710305599.X有效
发明人： 光吉一郎;涩川润;清川信治;榑林知启 -专利权人：大日本网目版制造株式会社
申请日： 2007-12-27 - 公布日： 2008-07-02 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置具有分度器区以及处理区。多个表面清洗单元沿上下层叠配置在处理区的一方侧面侧，多个背面处理单元沿上下层叠配置在处理区的另一方侧面侧。在分度器区和处理区之间，上下设置有用于使基板(W)反转的反转单元。例如，反转单元用于使通过背面清洗单元进行背面清洗处理前的基板进行反转等，反转单元用于装载通过表面清洗单元进行表面清洗处理后的基板(W)等。
处理装置以及方法

[发明专利]基板处理装置-CN200710308111.9有效
发明人： 光吉一郎 -专利权人：大日本网目版制造株式会社
申请日： 2007-12-27 - 公布日： 2008-07-02 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置。反转单元包括固定板、以与固定板的一面相对向的方式设置的第一可动板、以与固定板的另一面相对向的方式设置的第二可动板以及旋转式促动器。旋转式促动器使第一可动板、第二可动板以及固定板围绕水平轴旋转。在反转单元中，背面清洗处理前的基板在由第一可动板的支承销和固定板的支承销保持的状态下被反转，背面清洗处理后的基板在由第二可动板的支承销和固定板的支承销保持的状态下被反转。
处理装置

[发明专利]基板处理装置-CN200710308112.3有效
发明人： 光吉一郎 -专利权人：大日本网目版制造株式会社
申请日： 2007-12-27 - 公布日： 2008-07-02 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置。反转装置包括固定板、以与固定板的一面相对向的方式设置的第一可动板、以与固定板的另一面相对向的方式设置的第二可动板以及旋转式促动器。旋转式促动器使第一可动板、第二可动板以及固定板围绕水平轴旋转。第一可动板与固定板之间的距离以及第二可动板与固定板之间的距离设定得与搬入搬出基板的主机械手的两个手部的高度差大致相等。
处理装置

[发明专利]基板处理装置-CN200610006956.8有效
发明人： 光吉一郎 -专利权人：大日本网目版制造株式会社
申请日： 2006-01-26 - 公布日： 2006-08-16 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种能够在存放器容置·搬送单元中高效地搬送存放器的基板处理装置。搬送机械手(130a)在加载端口(10)、第三装载部(150)、以及货架陈列(140)之间搬送FOUP(80)。中间隔着货架陈列(140)而配设在搬送机械手(130a)的相反侧的搬送机械手(130b)，在货架陈列(140)以及第二装载部(160)之间搬送FOUP(80)。在第三装载部(150)中，分别进行映射处理、以及将存放在FOUP(80)中的基板向基板处理装置(200)搬送的处理。由此，能够几乎同时进行多个搬送处理。另外，搬送机械手(130a、130b)能够在空间上互不干涉地执行FOUP(80)的搬送处理。
处理装置

[发明专利]基片处理设备-CN200510137082.5有效
发明人：佐野谦一;永见宗三;光吉一郎;酒井泷吉 -专利权人：日本网目版制造株式会社
申请日： 2005-12-23 - 公布日： 2006-07-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：基片处理设备包括用于接纳各自存放多张基片的整体容器的存放区、用于整体地处理多张基片的第一处理区、用于一次处理一张基片的第二处理区、以及用于在整体容器、第一处理区和第二处理区之间输送诸基片的输送装置。可以按整体地处理多张基片的方式和/或一次处理一张基片的方式处理基片。
处理设备

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