专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种用于切割硅棒的装置-CN202111640959.8在审
  • 令狐嵘凯;郑秉冑 - 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
  • 2021-12-29 - 2022-04-12 - B28D5/04
  • 本发明实施例公开了一种用于切割硅棒的装置,所述装置包括:用于对硅棒进行切割的切割线;用于对所述硅棒进行加热的加热器;控制器,所述控制器用于对所述加热器进行控制,使得所述硅棒在达到第一切割进程时的第一温度与所述硅棒在达到第二切割进程时的第二温度之间的差值不超过预定阈值。根据本发明的实施例,控制器根据切割操作的不同进程中硅棒以及从硅棒上切割下的硅片受到切割线的不同热传导情况来控制加热器对硅棒进行加热,以对硅棒的温度进行补偿,使得对于不同的切割进程硅棒和硅片的温度变化量被控制成不超过预定阈值范围,由此解决了现有技术中硅棒和硅片因在不同切割进程受热差异过大而发生变形的问题。
  • 一种用于切割装置
  • [发明专利]线切割装置及线切割方法-CN202110119045.0在审
  • 令狐嵘凯 - 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司
  • 2021-01-28 - 2021-06-08 - B28D5/04
  • 本发明涉及一种线切割装置,用于对晶棒进行切割,包括相对设置的两个导线轮,绕设于两个所述导线轮之间的多根切割线,用于固定晶棒的晶棒工件,以及升降结构,所述升降结构用于控制晶棒工件下降以使得晶棒与切割线接触,或者控制晶棒工件上升以使得晶棒与切割线脱离接触,所述晶棒工件包括用于与晶棒的切割初始面连接的预接触板。本发明还涉及一种线切割方法。通过预接触板的设置,在晶棒进行切割时,使得预接触板先与切割线接触,避免晶棒的切割初始面与切割线接触产生热聚集,进而防止硅片由于热聚集产生热膨胀。
  • 切割装置方法

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