“付韬韬”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果21个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种用于衍射光学元件测量的傅里叶变换物镜-CN202111301759.X有效
发明人：何毅;廖志杰;刘卫静;付韬韬;蕾茸粮 -专利权人：中国科学院光电技术研究所;成都同力精密光电仪器制造有限公司
申请日： 2021-11-04 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于衍射光学元件测量的傅里叶变换物镜，其光轴方向包括孔径光阑、第一透镜、第二透镜、中间像面、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、后焦面。其中孔径光阑位置处放置被测衍射光学元件，第一透镜具有正光焦度，第二透镜具有负光焦度，第一透镜和第二透镜构成成像前组，将孔径光阑的出射光聚焦至中间像面，中间像面用于对所成的光斑进行处理，第三透镜至第六透镜具有正光焦度，其构成成像后组，将中间像面成像至所述傅里叶变换物镜的后焦面处，后焦面为探测器的光敏面，孔径光阑位于所述傅里叶变换物镜的前焦面，后焦面上所有视场点的主光线与光轴平行，形成像方远心光路，后焦面为孔径光阑的傅里叶频谱面，满足正弦条件。
一种用于衍射光学元件测量傅里叶变换物镜

[发明专利]一种组合光学元件的角度对准装置-CN202111616292.8有效
发明人： 付韬韬;李声;何毅;刘卫静;雷茸粮 -专利权人：中国科学院光电技术研究所;成都同力精密光电仪器制造有限公司
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本发明公开一种组合光学元件的角度对准装置，包括机架(1)，第一三维调节架(21)，第二三维调节架(22)，第一自准直仪(31)，第二自准直仪(32)，第三自准直仪(33)，标准镜(4)。第一三维调节架水平放置在机架上，第一自准直仪、第二自准直仪以各自监视方向呈正交状态安装在机架上，且监视中心对准第一三维调节架的载物台面中心上方，第二三维调节架以水平为基准按照一定的角度倾斜安装在机架上，第三自准直仪安装在倾斜的第二三维调节架上，监视方向与水平面夹角与第二三维调节架倾斜角度一样，且监视中心也位于第一三维调节架载物台面中心上方；首先利用标准镜校准自准直仪，然后利用自准直仪监视组合光学元件的角度状态完成对准。
一种组合光学元件角度对准装置

[发明专利]一种刀具调节装置-CN202111662346.4有效
发明人：李云;付韬韬;黄文斌;雷茸粮;谢强 -专利权人：中国科学院光电技术研究所;成都同力精密光电仪器制造有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： B23Q3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种刀具调节装置，所述装置包括刀具(1)、刀架(2)、压块(3)、紧固螺丝(4)、紧固顶丝(5)、弹性辅助顶丝(6)、预紧顶丝(7)、定位调节顶丝(8)和支撑圆柱(9)。刀具(1)通过压块(3)、紧固螺丝(4)、紧固顶丝(5)固定在刀架(2)上，并可以通过弹性辅助顶丝(6)、紧固螺丝(4)及定位调节顶丝(8)对刀具(1)的安装角度进行精密调节。本发明所述一种刀具调节装置可以对精密机床上的刀具(1)安装角度进行精密便捷地调节。
一种刀具调节装置

[发明专利]一种基于深度学习的光学元件表面缺陷检测方法-CN201910176202.4有效
发明人：胡小川;全海洋;徐富超;付韬韬;侯溪;李声 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2019-03-08 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于深度学习的光学元件表面缺陷检测方法，该方法包括以下步骤：1)获取光学元件表面缺陷图像并进行预处理；2)将预处理后的缺陷图像输入预先训练好的缺陷检测模型进行光学元件表面缺陷的智能识别。所述图像预处理是对采集到的图像进行畸变校正，并采用梯度图像自适应阈值分割法、边缘检测法、二值化处理、断点连接算法相融合的方式对图像进行处理；所述缺陷检测模型是由卷积层、池化层、全连接层等组成的多层神经网络模型。与现有技术相比，本发明避免了人工目视检测带来的主观干扰及难以准确量化等问题，又弥补了成像检测方法在缺陷识别过程中准确率低、漏检率高等问题。
一种基于深度学习光学元件表面缺陷检测方法

[发明专利]一种大口径曲面光学元件表面缺陷自动检测装置及方法-CN201811330664.9有效
发明人：全海洋;徐富超;付韬韬;胡小川;吴高峰;侯溪;伍凡;李声 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2018-11-09 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明涉及一种大口径曲面光学元件表面缺陷自动检测装置及方法，属于光电技术检测领域。该装置包括测量头、旋转工件台、自动取样装置和喷淋装置。测量头包括传感器系统、照明系统和成像系统，照明系统为被测样品表面提供高均匀性和高亮度照明，旋转工件台和成像系统用于对光学表面区域的缺陷进行环带扫描和高分辨率散射成像。自动取样装置用作自动化生产中机械手自动夹取光学元件；喷淋设备一旦检测到表面上有灰尘、杂质等异物就被激活，用于准确去除被测件表面的灰尘、杂质等伪缺陷。本发明有效解决了大口径光学元件表面缺陷检测困难、效率低下的问题，可以快速测量大口径平面、球面和非球面光学元件的表面缺陷。
一种口径曲面光学元件表面缺陷自动检测装置方法

[发明专利]一种激光辅助切削刀具-CN202210482357.2在审
发明人：李云;林妩媚;谢强;许嘉俊;贾辛;何毅;付韬韬;廖志杰;杨宇頔 -专利权人：中国科学院光电技术研究所;成都同力精密光电仪器制造有限公司
申请日： 2022-05-05 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： B23P25/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光辅助切削刀具，所述刀具包括刀粒(1)、刀柄(2)，刀粒(1)焊接于刀柄(2)的一端上。本发明所述的一种激光辅助切削刀具，激光束(3)从刀粒(1)内部，通过内反射面(14)反射到刀尖(11)和前刀面(12)靠近刀尖(11)的位置上，从刀尖(11)和前刀面(12)射出并照射到被加工件(4)上，对被加工件(4)表面材料形成激光熔化作用后有利于刀尖(11)切削出高质量的光滑表面或降低刀具磨损并延长刀具的使用寿命。
一种激光辅助切削刀具

[发明专利]一种高精度光学元件面形检测支撑结构-CN202210482342.6在审
发明人：刘绚;贾辛;付韬韬;李声;谢强 -专利权人：中国科学院光电技术研究所;成都同力精密光电仪器制造有限公司
申请日： 2022-05-05 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： G01B21/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种高精度光学元件面形检测支撑结构，属于深紫外投影光刻物镜结构设计领域，为保证高精度光学元件面形检测精度，需解决其支撑问题，本发明结构包括镜框和整体式弹片，所述整体式弹片和镜框之间通过12个沿镜框内环均匀分布的螺钉实现连接，所述整体式弹片为一个整体的圆环片上带有若干个相同的伸向圆心且均匀分布的支撑片，所述镜框具有支撑台，支撑台宽度与整体式弹片的圆环片下表面宽度相适应，所述整体式弹片与光学元件之间点接触。由于支撑片具有一定的轴向柔度，支撑光学元件时支撑片会产生一定的轴向变形，因此即使各支撑片高度方向上存在一定的尺寸误差，光学元件的自重也能相对均匀的作用在各个支撑片上，从而实现光刻物镜中光学元件的高精度支撑。
一种高精度光学元件检测支撑结构

[发明专利]一种用于微复眼透镜阵列元件测量的傅里叶变换物镜-CN202111608576.2在审
发明人：何毅;廖志杰;刘卫静;付韬韬;蕾茸粮 -专利权人：中国科学院光电技术研究所;成都同力精密光电仪器制造有限公司
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于微复眼透镜阵列元件测量的傅里叶变换物镜，其光轴方向包括孔径光阑、第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、后焦面。其中孔径光阑位置处放置被测微复眼透镜阵列元件，第一透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜具有正光焦度，第二透镜、第六透镜具有负光焦度，所述傅里叶变换物镜傅里叶透镜具有正光焦度，将孔径光阑的出射光聚焦于后焦面，后焦面为探测器的光敏面，孔径光阑位于所述傅里叶变换物镜的前焦面，后焦面上所有视场点的主光线与光轴平行，形成像方远心光路，后焦面为孔径光阑的傅里叶频谱面，满足正弦条件。
一种用于复眼透镜阵列元件测量傅里叶变换物镜

[发明专利]一种光学元件的装调对准装置-CN202111250161.2在审
发明人： 付韬韬;廖志杰;何毅;刘卫静;雷茸粮 -专利权人：中国科学院光电技术研究所;成都同力精密光电仪器制造有限公司
申请日： 2021-10-26 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学元件的装调对准装置，包括基准镜框、调节镜框、五组调节螺钉组件、紧固螺钉和垫片。在基准镜框平行的平面内的两个正交方向上分别布置两组和三组调节螺钉组件，基准镜框和调节镜框上都安装有精密光学元件，在安装调节过程中，基准镜框作为基准固定，利用调节螺钉改变调节镜框相对于基准镜框的位置，实现光学元件的中心对准和方位对准，通过调节垫片的厚度实现光学元件的间隔和平行对准。
一种光学元件对准装置

[发明专利]一种基于线扫描和环带拼接的大口径平面镜的瑕疵检测装置和方法-CN201811342863.1有效
发明人：徐富超;全海洋;付韬韬;胡小川;侯溪;李声 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2018-11-13 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： G01N21/896 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于线扫描和环带拼接的大口径平面镜的瑕疵检测装置和方法，该装置包括线扫描探测器，环形照明光源，被测平面镜，绕Z轴的旋转台，沿X轴的平移台，计算机。通过将被测平面镜通过平移和旋转，使得整个被测平面镜的表面能被扫描探测器检测完，并通过环带拼接方法获得整个被测平面镜的瑕疵情况。其中线扫描和环带拼接的方式减小了成像畸变、中间数据量、畸变的校正难度和拼接难度，提高了检测速度和检测质量。
一种基于扫描环带拼接口径平面镜瑕疵检测装置方法

[发明专利]一种基于相位解析的光学元件自动对心方法-CN201910304374.5有效
发明人：胡小川;全海洋;徐富超;付韬韬;侯溪;李声 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2019-04-16 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于相位解析的光学元件自动对心方法，该方法包括以下步骤：1)初始化光学元件对心装置，将光学元件放置于检测平台；2)调节成像相机和检测平台，使成像区域覆盖光学元件边缘且成像清晰；3)旋转检测平台，使用成像相机采集光学元件表面数据；4)使用相位解析方法处理采集数据，根据解算结果调整待测光学元件与检测平台的相对位置，从而将光学元件中心与检测平台旋转中心对准，在此基础上通过迭代操作实现成像相机的位置修正，进而完成光学元件的自动对心。本发明通过相位解析方法，实现了光学元件的自动对心。
一种基于相位解析光学元件自动对心方法

[发明专利]一种柔性铰链结构-CN201811415219.2有效
发明人： 付韬韬;李云 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2018-11-26 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： F16C11/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种柔性铰链结构，其特征在于，包括：刚性驱动端(3)；安装固定端(1)，其通过第一柔性部分(11)与刚性驱动端(3)上表面长度方向的一端连接，安装固定端(1)的表面设有第一固定结构(100)；位移输出端(2)，其通过第二柔性部分(21)与刚性驱动端(3)上表面长度方向的另一端连接；导向固定端(4)，其通过第三柔性部分(41)对称地设于位移输出端(2)的两侧面上，该两侧面与刚性驱动端(3)上表面长度方向平行，导向固定端(4)的表面设有第二固定结构(400)。通柔性部分将驱动块与位移块呈90度连接，实现输出方向位移与驱动方向位移呈90度输出。
一种柔性铰链结构

[发明专利]一种光学元件表面缺陷检测自动对焦方法及装置-CN201910136446.X在审
发明人：全海洋;胡小川;李声;侯溪;徐富超;付韬韬;伍凡 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2019-02-25 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明涉及一种光学元件表面缺陷检测自动对焦方法及装置，属于光电技术检测领域。该对焦装置包括微型投影模块、分光元件、物镜和投影监控模块。微型投影模块投射计算机生成的特定图样到待对焦光学元件表面上，投影监控模块拍摄反射回来的投影图像，通过计算机分析监控模块采集到的投影图像，调焦控制器对调焦电机发出控制信号，在光轴方向调整待对焦表面的位置，直到监控模块拍到的图像最清晰，从而实现自动对焦功能。本发明有效解决了显微成像系统对焦困难、效率低下的问题，可以实现平面、球面和非球面光学元件表面缺陷检测时的自动对焦。
监控模块自动对焦光学元件表面对焦微型投影模块缺陷检测投影图像投影非球面光学元件球面表面缺陷检测光轴方向调整显微成像系统调焦控制器计算机分析计算机生成对焦装置分光元件光电技术检测领域控制信号有效解决投射图样物镜对调反射电机采集图像拍摄清晰

[发明专利]一种非球面离子束成型装置及方法-CN201611204205.7有效
发明人：李云;邢廷文;付韬韬 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2016-12-23 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种非球面离子束成型装置及方法。所述装置包括真空舱、工件旋转机构、工件夹持架、被加工件、离子束掩模板和离子源；真空舱为离子源提供真空工作环境并容纳其它部件；工件旋转机构用于旋转被加工件；工件夹持架用于悬挂夹持被加工件；离子束掩模板根据非球面及离子束分布情况设计成特定的形状遮拦并形成特定形状及分布的离子束。本发明所述非球面离子束成型装置及方法能快速成型高质量的非球面。
一种球面离子束成型装置方法

[发明专利]一种曲面光学元件的离子束光滑方法-CN201510002043.8有效
发明人：李云;付韬韬;王安定;谢伟民;邢廷文 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2015-01-04 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于曲面光学元件的离子束光滑方法，该方法步骤为步骤(1)、检测初始面形，步骤(2)进行离子束预光滑试验，步骤(3)重新检测面形，计算材料移除速率，步骤(4)拟定正式光滑参数，步骤(5)、计算确定性预修形量，步骤(6)、进行确定性预修形，步骤(7)、进行正式离子束光滑，步骤(8)、取出工件，结束。所述方法能有效克服曲面光学元件进行离子束光滑的同时对原有高精度面形的破坏问题。该曲面光学元件的离子束光滑方法，既能保证原有高精度曲面的表面面形精度，又能有效提高光学元件的表面粗糙度。
一种曲面光学元件离子束光滑方法

1
2
下一页»
尾页
共 21 条