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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]静电致动器及其驱动方法-CN201110043026.0有效
发明人：岛内岳明;今井雅彦;胜木隆史;丰田治;上田知史 -专利权人：富士通株式会社
申请日： 2011-02-21 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明涉及静电致动器及其驱动方法。静电致动器包括彼此相对的固定电极和可动电极，并且在所述固定电极和所述可动电极之间放置有电介质层，所述方法包括以下步骤：在固定电极和可动电极之间施加第一电压，使可动电极与电介质层进行接触，并且，在第一电压的施加停止后并且在可动电极从电介质层移开之前，在固定电极和可动电极之间施加第二电压。第二电压的极性与第一电压的极性相反，并且第二电压的绝对值小于第一电压的绝对值。
静电致动器及其驱动方法

[发明专利]制造MEMS器件的方法以及MEMS器件-CN201110057805.6有效
发明人：胜木隆史;岛内岳明;今井雅彦;丰田治;上田知史 -专利权人：富士通株式会社
申请日： 2011-03-04 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及制造MEMS器件的方法以及MEMS器件，并提供了制造优选地用于微机电系统的器件的制造方法。该方法包括以下步骤：在衬底上形成第一电极，其中第一电极至少在其一端处具有第一倾斜端部；在第一电极上形成牺牲层，其中牺牲层具有第一倾斜边缘，该第一倾斜边缘和第一倾斜端部彼此叠置，使得第一倾斜边缘的厚度随着第一倾斜端部的厚度增加而减小；在第一电极上形成第一隔离体，其中第一隔离体与第一倾斜边缘接触；在牺牲层和第一隔离体上形成梁电极；以及在形成梁电极以后去除牺牲层。
制造 mems 器件方法以及

[发明专利]可变电容元件、可变电容设备和驱动可变电容元件的方法-CN201010532052.5有效
发明人：岛内岳明;今井雅彦;胜木隆史;上田知史 -专利权人：富士通株式会社
申请日： 2010-10-27 - 公布日： 2011-05-11 - 主分类号： H01G5/16 文献下载
摘要：本发明涉及可变电容元件、可变电容设备和驱动可变电容元件的方法。可变电容元件包括第一固定电极和第二固定电极，其相互绝缘；可动电极，其设置成面对所述第一固定电极和所述第二固定电极；电介质层，其设置在所述可动电极与所述第一固定电极以及所述第二固定电极之间；第一接线部分，其用于根据所述可动电极的电位将第一驱动电压施加到所述第一固定电极；和第二接线部分，其用于根据所述可动电极的电位将第二驱动电压施加到所述第二固定电极，所述第二驱动电压具有与所述第一驱动电压的极性不同的极性。
可变电容元件设备驱动方法

[发明专利]可变电容元件-CN201010124349.8有效
发明人：岛内岳明;今井雅彦;上田知史 -专利权人：富士通株式会社
申请日： 2010-02-26 - 公布日： 2010-10-13 - 主分类号： H01G5/011 文献下载
摘要：本发明公开一种可变电容元件。所述可变电容元件设置有衬底、设置在衬底上的信号线、设置在衬底上的固定电极和可动电极。可动电极包括可动部分和固定部分，可动部分跨过信号线并延伸到固定电极上方，并可相对于固定电极移动，固定部分隔着介电层固定到固定电极。
可变电容元件

[发明专利]可变电容元件-CN200910221923.9无效
发明人：岛内岳明;今井雅彦;上田知史 -专利权人：富士通株式会社
申请日： 2009-11-23 - 公布日： 2010-06-23 - 主分类号： H01G5/00 文献下载
摘要：本发明公开了可变电容元件。可变电容元件包括：基板；设置在基板上的信号线；设置为横跨信号线并且具有被固定到基板的第一端和第二端的可移动电极；以及设置在可移动电极两端中的至少一个与基板之间的固定电容部分。
可变电容元件

[发明专利]可变电容器、匹配电路元件和移动终端设备-CN200910007666.9有效
发明人：岛内岳明;今井雅彦;宓晓宇;上田知史 -专利权人：富士通株式会社
申请日： 2009-02-20 - 公布日： 2009-08-26 - 主分类号： H01G5/16 文献下载
摘要：本发明提供一种可变电容器、匹配电路元件和移动终端设备。可变电容器包括衬底、信号线，其设置在衬底的表面上用于馈送信号、接地电极，其设置在衬底的表面上、以及可动电极，其设置成与信号线和接地电极相对，可动电极可操作地朝着信号线和接地电极和远离信号线和接地电极移动。可动电极能被可动电极和信号线之间和可动电极和信号线之间的静电吸引移位，静电吸引由施加到可动电极的电压产生，并且可动电极的移位量根据电压量变化。
可变电容器匹配电路元件移动终端设备

[发明专利]可变滤波器元件、可变滤波器模块及其制造方法-CN200810094844.1有效
发明人：宓晓宇;岛内岳明;今井雅彦;上田知史;佐藤良夫 -专利权人：富士通株式会社
申请日： 2008-04-28 - 公布日： 2008-10-29 - 主分类号： H01P1/203 文献下载
摘要：本发明提供一种适用于降低驱动电压的可变滤波器元件和可变滤波器模块。该可变滤波器元件包括衬底、两条地线和位于所述两条地线之间的信号线，其中这些线被设置为在所述衬底上平行延伸。该滤波器元件还包括：可移动电容器电极，其桥接在所述两条地线之间，并具有面对所述信号线的部分；驱动电极，其位于所述信号线和地线之间，并对所述可移动电容器电极产生静电引力；以及设置在所述衬底中的地线，其具有面对所述信号线的部分，并接地。所述可移动电容器电极和所述地线构成地互连部，而所述信号线和所述地互连部构成分布常数传输线。
可变滤波器元件模块及其制造方法

[发明专利]驱动控制微机械装置的设备和方法-CN200810086194.6有效
发明人：米泽游;岛内岳明;三岛直之;上田知史;宓晓宇;今井雅彦 -专利权人：富士通株式会社
申请日： 2008-03-18 - 公布日： 2008-10-01 - 主分类号： H01G7/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种驱动控制微机械装置的设备和方法。在所述驱动控制微机械装置的方法中，所述微机械装置包括两个相对的电极和夹在电极之间的电介质层，在两个所述电极之间提供控制电压，所述控制电压为正极性和负极性交替反转的矩形波形。关于正侧和负侧检测由于提供所述控制电压而通过所述微机械装置的电流，基于检测到的电流，关于所述正侧和负侧获取与所述微机械装置的电容有关的参数。将所述控制电压控制为使得关于所述正侧和负侧获取的所述参数互相一致。这样，在可变电容装置的交换驱动中可抑制电容在正侧与负侧之间的变化。
驱动控制微机装置设备方法

[发明专利]可移动微器件-CN200810081333.6有效
发明人：宓晓宇;岛内岳明;今井雅彦;上田知史 -专利权人：富士通株式会社
申请日： 2008-02-25 - 公布日： 2008-09-03 - 主分类号： H01G5/00 文献下载
摘要：一种可移动微器件，包括可移动部件、框架及连接部件。可移动部件具有主要部分、第一电容器电极及第一驱动器电极。电容器电极和驱动器电极具有从主要部分延伸的电极齿。框架包括第二电容器电极和第二驱动器电极，其中第二电容器电极具有朝向第一电容器电极延伸的电极齿，而第二驱动器电极具有朝向第一驱动器电极延伸的电极齿。连接部件将可移动部件连接到框架。第一电容器电极和第二电容器电极的电极齿在其初始位置交叠。可移动部件可旋转以改变第一驱动器电极与第二驱动器电极之间交叠的程度。
移动器件

[发明专利]可变电容器及其制造方法-CN200710085687.3无效
发明人：岛内岳明;今井雅彦;上田知史 -专利权人：富士通株式会社
申请日： 2007-03-06 - 公布日： 2007-09-12 - 主分类号： H01G5/16 文献下载
摘要：一种可变电容器及其制造方法，该制造方法提供在温度变化影响下电容保持稳定的可变电容器。这种可变电容器包括：固定电极；活动电极膜，其面对该固定电极；以及锚定部，其在该固定电极与该活动电极膜之间提供部分连接。为了制造这种可变电容器，形成第一电极以用作固定电极。然后，在固定电极上形成锚定部，并形成牺牲膜以覆盖固定电极但部分地暴露出锚定部。在牺牲膜上形成第二电极以用作活动电极膜，并接合至锚定部。最后，去除牺牲膜。
可变电容器及其制造方法

[发明专利]可变电容器及其制造方法-CN200480042925.7有效
发明人：岛内岳明;今井雅彦;中谷忠司 -专利权人：富士通株式会社
申请日： 2004-05-31 - 公布日： 2007-04-11 - 主分类号： H01G5/011 文献下载
摘要：将具有两端侧的线路部(35a、35a)和中央侧的电容器部(35b)的下部可动电极(35)以及具有两端侧的线路部(37a、37a)和中央侧的电容器部(37b)的上部可动电极(37)配置成使电容器部(35b、37b)对置，与下部可动电极(35)和上部可动电极(37)电隔离地设置驱动下部可动电极(35)的下部可动电极用致动器(27a、27b、27c、27d)和驱动上部可动电极(37)的上部可动电极用致动器(29a、29b、29c、29d)的驱动电极。利用这些致动器(27a～27d和/或29a～29d)使下部可动电极(35)和/或上部可动电极(37)移动，调整两电容器部(35b、37b)间的距离来控制静电电容。
可变电容器及其制造方法

[发明专利]微移动器件及使用湿蚀刻的制造方法-CN200610058970.2有效
发明人：阮俊英;中谷忠司;岛内岳明;今井雅彦;上田知史 -专利权人：富士通株式会社
申请日： 2006-03-09 - 公布日： 2006-09-20 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种微移动器件，包括：基础衬底；固定部，其与基础衬底接合；可移动部，其具有连接至固定部的固定端，并沿着基础衬底延伸；以及压电驱动部，其设置在可移动部和固定部与基础衬底相反的一侧上。压电驱动部具有由第一电极膜、第二电极膜以及位于第一和第二电极膜之间的压电膜构成的层叠结构，该第一电极膜与可移动部和固定部接触。可移动部和固定部中的至少一个设置有沿着压电驱动部延伸的沟槽。
移动器件使用蚀刻制造方法

[发明专利]微型开关元件-CN200510108574.1有效
发明人：中谷忠司;阮俊英;岛内岳明;今井雅彦;上田知史 -专利权人：富士通株式会社
申请日： 2005-10-12 - 公布日： 2006-08-09 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：一种微型开关元件，包括基础基板、连接到该基础基板的固定部、及包括固定到该固定部的固定端的活动部。该活动部由该固定部通过具有一对闭合端的狭槽围绕。该活动部包括第一表面和第二表面。该第一表面朝向该基础基板，并且该第二表面与该第一表面相对。该微型开关元件还包括活动接触部，其设置于该活动部的第二表面上；以及一对固定接触电极，每个固定接触电极包括朝向该活动接触部的接触表面。该固定接触电极连接到该固定部上。
微型开关元件

[发明专利]可变电容器及制造可变电容器的方法-CN200510066849.X无效
发明人：岛内岳明;今井雅彦;中谷忠司;阮俊英;上田知史 -专利权人：富士通株式会社
申请日： 2005-04-29 - 公布日： 2006-08-09 - 主分类号： H01G5/16 文献下载
摘要：本发明涉及可变电容器及制造可变电容器的方法。第一可动电极是平坦的，但第二可动电极变形为凸形。在第二可动电极的相对面上设置电介质层。通过调节施加在第一可动电极和第二可动电极之间的电压，通过在所述两个电极之间产生的静电吸引力来在所述两个电极之间形成任意距离，从而获得所需的静电电容。当缩短两个电极之间的距离时，首先，在中心，第一可动电极的一部分和第二可动电极的一部分相互接触，其间夹有电介质层。然后，第一可动电极和电介质层(第二可动电极)从所述接触部分向外围依次相互接触，接触面积逐渐增加。
可变电容器制造方法

[发明专利]微型开关器件和制造微型开关器件的方法-CN200410057515.1有效
发明人：中谷忠司;岛内岳明;今井雅彦 -专利权人：富士通株式会社;富士通媒体部品株式会社
申请日： 2004-08-12 - 公布日： 2005-10-05 - 主分类号： H01L29/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种微型开关器件和制造微型开关器件的方法，该微型开关器件包括基板和经隔板或锚定部分固定到该基板上的悬臂。该悬臂具有面对该基板的内表面和与该内表面相对的外表面。在该悬臂的该外表面上形成导电条。该开关器件还包括固定到该基板上的一对固定电极。每个该电极包括与该悬臂上的该导电条隔开的向下接触部分。随着该悬臂向上弯曲，该导电条与各个固定电极的接触部分接触。
微型开关器件制造方法

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