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- [实用新型]一种Z轴电容式微机械加速度计-CN201420151300.5有效
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刘恒;于步云;孟瑞丽;许辰;王冕
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南京信息工程大学
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2014-04-01
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2014-09-10
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G01P15/125
- 本实用新型公开了一种Z轴电容式微机械加速度计,包括玻璃基座、键合在玻璃基座上的结构层以及设置于玻璃基座上的金电极层,所述结构层包括由一个质量块、附着在所述质量块上的梳齿、设置于所述质量块上且用于支撑质量块悬空的折叠梁、与所述折叠梁相连的锚点区、一端通过键合固定在玻璃基座上的固定检测梳齿,其中当加速度计受到Z轴方向的加速度时,所述质量块、梳齿及折叠梁形成可动结构,且所述固定检测梳齿和可动结构中梳齿形成检测电容。所述梳齿、折叠梁、锚点区、固定检测梳齿均为四组且分别布置于质量块四周。本加速度计具有灵敏度高、结构对称性好,能大大减小后续接口电路对微弱变化电容提取的困难。
- 一种电容式微机械加速度计
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