专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果52个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [实用新型]一种人脸识别装置-CN202220743471.1有效
  • 柯石猛;于大维;徐焱 - 深圳市平安顺科技有限公司
  • 2022-04-01 - 2023-03-24 - G06V40/16
  • 本实用新型公开了一种人脸识别装置,包括安装箱,所述安装箱内部的底部安装有轴承,且轴承的内部安装有调节螺杆,所述调节螺杆穿过安装箱并延伸至安装箱的外部,且调节螺杆的外侧螺纹安装有调节螺管,所述调节螺管的一端安装有安装块,且安装块远离调节螺管的一端安装有安装板。本实用新型安装有轴承、安装箱、限位块、调节螺杆和调节螺管,使用时,通过转动调节螺杆,使得调节螺管通过螺纹移动,即可对人脸识别设备本体的高度进行调节,安装装置后,不仅可随时调节人脸识别设备本体的安装高度,不同身高的使用者在使用时,也可将人脸识别设备本体调节至正对自己脸部位置处,装置使用较为便捷。
  • 一种识别装置
  • [发明专利]缺陷检测装置-CN202110874760.5在审
  • 刘逍;于大维;李润芝 - 上海微电子装备(集团)股份有限公司
  • 2021-07-30 - 2023-02-03 - G01N21/88
  • 本发明提供一种缺陷检测装置,所述缺陷检测装置通过将照明模块提供的检测光束入射至待测结构,并通过两个成像模块分别从两个不同的角度接收由待测结构散射的检测光束并进行成像,从而可形成所述待测结构的两个检测图像,图像处理器可基于所述两个检测图像确定所述待测结构的缺陷的位置。如此一来,仅需配置一个光源,即可实现检测待测结构的第一表面和第二表面的缺陷,由此可减小空间占比,降低成本,并可准确的确定缺陷的位置,提高缺陷检测的精度。
  • 缺陷检测装置
  • [发明专利]大视场成像物镜-CN202110736674.8在审
  • 李润芝;于大维;李运锋 - 上海微电子装备(集团)股份有限公司
  • 2021-06-30 - 2022-12-30 - G02B13/22
  • 本发明提供一种大视场成像物镜,采用沿光束入射方向依次由光焦度为正、正、负、正的透镜组组成的双远心光学结构,物镜总长≤1100mm,适用于450‑650nm的宽光谱,放大倍率为‑20x,物方的数值孔径NA≤0.45,物方视场的直径为4.1mm。本发明提供的成像物镜具有大孔径、大视场,提升物镜的分辨率,增加产率,且成像物镜具有大数值孔径角及较小的景深范围,可用于晶圆表面不同图案的检测,对于凹坑边缘成像更锐利,满足新工艺下晶圆缺陷检测需求。
  • 视场成像物镜
  • [发明专利]缺陷检测装置及缺陷检测方法-CN202110739531.2在审
  • 林彬;于大维;张凯 - 上海微电子装备(集团)股份有限公司
  • 2021-06-30 - 2022-12-30 - G01N21/88
  • 本发明提供一种缺陷检测装置和缺陷检测方法。所述缺陷检测装置中,照明光学系统形成照射到基片上的激光光束且该激光光束被反射,当激光光束照射到残留物时,在残留物的上表面和下表面分别进行反射而形成相干光;成像系统对从基片反射的光进行成像,形成检测图像,其中,相干光成像后对应于检测图像中的干涉条纹,通过干涉条纹获得残留物的信息。利用上述装置可以降低残留物的检测难度,提高缺陷的检出率。所述缺陷检测方法中,形成照射到基片上的激光光束且激光光束被反射,对从基片反射的光进行成像形成检测图像,其中,通过检测图像中的干涉条纹获得残留物的信息。
  • 缺陷检测装置方法
  • [实用新型]明暗场检测装置-CN202221411200.2有效
  • 李英甲;于大维;刁雷;李润芝;蓝科 - 上海微电子装备(集团)股份有限公司
  • 2022-05-31 - 2022-10-25 - G01N21/88
  • 本实用新型提供一种明暗场检测装置,用于检测基板上的待测区域,包括:明场照明单元、暗场照明单元、物镜单元及探测单元;明场照明单元出射的光束经物镜单元后在待测区域产生明场光斑,暗场照明单元出射的光束在待测区域产生暗场光斑,明场光斑及暗场光斑的反射光或散射光经物镜单元后被探测单元采集,其中,明场照明单元中设有明场光斑偏置单元,利用明场光斑偏置单元使明场光斑与暗场光斑的间隔距离大于设定值。本实用新型,通过设置明场光斑偏置单元,使明场光斑发生偏置,以增大明场光斑与暗场光斑的间距,以此减少两者之间的串扰,还可利用明场光斑偏置单元提高基板的焦面标定的准确性,以及提高暗场照明单元的安装精度。
  • 明暗检测装置
  • [发明专利]大视场成像物镜-CN201911206582.8有效
  • 李润芝;于大维;侯宝路;李运锋 - 上海微电子装备(集团)股份有限公司
  • 2019-11-29 - 2022-08-02 - G02B13/06
  • 本发明中提供一种大视场成像物镜,沿光束入射方向依次包括具有正光焦度的第一透镜组、光阑、具有正光焦度的第二透镜组、具有负光焦度的第三透镜组及具有正光焦度的第四透镜组,其中,物镜总长≤850mm,适用于450‑650nm的宽光谱,放大倍率为‑10x,物方的数值孔径NA≤0.3,物方视场的直径为8.4mm。相比于现有成像镜头,本发明提供的成像物镜,在相同的接近衍射极限的像质要求下,具有更长工作距,更大视场范围,能够满足系统的空间需求,可有效实现大孔径、大倍率、双远心系统的像差校正。
  • 视场成像物镜
  • [实用新型]一种地下车库用车牌识别装置-CN202220611102.7有效
  • 柯石猛;于大维;徐焱 - 深圳市平安顺科技有限公司
  • 2022-03-21 - 2022-08-02 - F16M11/22
  • 本实用新型公开了一种地下车库用车牌识别装置,包括底座和安装套管,所述底座顶部的一端安装有第三铰接轴,且第三铰接轴的顶部铰接有安装套管,所述安装套管的内部安装有安装内杆,所述安装内杆的顶部安装有安装板,且安装板的顶部安装有摄像头,所述安装套管远离底座的一端均匀设置有第一调节螺孔。本实用新型安装有底座、固定板、第一铰接轴、调节支板、第二铰接轴、安装套管和第三铰接轴,使用时,可直接转动安装套管,即可对摄像头的倾斜角度进行调节,且装置安装有安装内杆和调节螺栓配合使用,可将摄像头安装于不同的高度,使得摄像头能够调节至正对汽车车牌位置处,装置的可调节性较强,适用性较强。
  • 一种地下车库车牌识别装置
  • [实用新型]一种便于调节的广告道闸-CN202220404862.0有效
  • 柯石猛;于大维;徐焱 - 深圳市平安顺科技有限公司
  • 2022-02-24 - 2022-07-19 - E01F13/04
  • 本实用新型公开了一种便于调节的广告道闸,包括安装基座、道闸箱本体、道闸板和安装底板,所述道闸箱本体的一端安装有道闸板,且道闸板底部的两端皆安装有连接板,且连接板的底部安装有安装底板,所述安装底板的顶部设置有滑槽,且滑槽的内部均匀安装有滑块,所述滑块的顶部皆安装有第一安装板。本实用新型安装有滑块和第一安装板,使用时,滑块可在滑槽内部滑动,可对不同道闸广告板的安装位置进行调节,并可在调节结束后通过固定卡块将道闸广告板固定,可对相邻两组道闸广告板之间的间距大小进行调节,同时,可在装置上安装不同数量的道闸广告板使用,装置的可调节性较强,使用较为灵活。
  • 一种便于调节广告
  • [实用新型]一种车牌识别摄像装置-CN202220468349.8有效
  • 柯石猛;于大维;徐焱 - 深圳市平安顺科技有限公司
  • 2022-03-04 - 2022-07-05 - H04N5/225
  • 本实用新型公开了一种车牌识别摄像装置,包括安装底座、安装套管和缓冲套管,所述安装套管内部的两端皆安装有滑动组件,且滑动组件靠近安装套管的一端滑动安装有滑动板。本实用新型安装有支杆、滑动组件、滑动板和支撑螺栓,通过转动支撑螺栓,使得支撑螺栓推动滑动板移动,即可对摄像头的高度进行调节,可根据需求将摄像头调节至合适的安装高度,装置的可调节性较强,且装置安装有缓冲挡板、缓冲压杆、轴承、缓冲弹簧和缓冲套管,车辆撞击在装置上时,缓冲弹簧可缓冲冲击力,可有效保护装置,且车辆从侧面撞击装置时,缓冲挡板可受力转动,可避免冲击力直接传递至安装套管,从而可减小装置受到的损伤,保护效果较好。
  • 一种车牌识别摄像装置
  • [发明专利]暗场检测装置-CN202010970259.4有效
  • 李运锋;李润芝;王婷婷;于大维 - 上海微电子装备(集团)股份有限公司
  • 2020-09-15 - 2022-06-28 - G01N21/88
  • 本发明提供了一种暗场检测装置,所述暗场检测装置包括照明模块、光路整形模块、物镜和成像传感器,所述光路整形模块包括用于在晶片上形成重叠的线形照明光斑的多个分支光路;每一所述分支光路均用于以一定的入射角度照射所述晶片,所述多个分支光路形成环形照射;每一所述分支光路均包括匀光结构和临界照明结构,所述光源提供的光依次经所述匀光结构和临界照明结构照射至所述晶片上。本发明可以有效提高照明均匀性,同时也可以使得照明功率密度得以提升,杂散光得到很好的抑制,从而有利于线扫产率的提升,避免出现照明光斑颗粒状分布,更加有利于缺陷(颗粒、标记边缘)的检出。
  • 暗场检测装置
  • [发明专利]扫描对准装置及其扫描方法-CN201710582793.6有效
  • 于大维;王诗华;黄栋梁 - 上海微电子装备(集团)股份有限公司
  • 2017-07-17 - 2022-02-15 - H01L21/67
  • 本发明提供一种扫描对准装置及其扫描方法,所述扫描对准装置包括一个半透半反镜、一组成像元件、第一对准镜组、第二对准镜组和一个透镜。入射光束经所述一个透镜的透射后转变为单一的连续光束并照射至所述一个半透半反镜;所述一个半透半反镜用于将入射至的连续光束反射后照射至基底;所述第一对准镜组和所述第二对准镜组用于将经过其的光束透射为多路子光束;所述一组成像元件用于根据所述多路子光束获取所述基底的图像。本发明提供一种扫描对准装置及其扫描对准方法,使扫描效率得到了提高,进而提升了产品的生产效率,提高了产品的产出率。
  • 扫描对准装置及其方法

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top