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[发明专利]一种玻璃基板对准测量系统、方法和设备-CN202210264483.0在审
发明人：唐江锋;杨宣华;赖勇;蓝科 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2022-03-17 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种玻璃基板对准测量系统、方法和设备，其中，系统中上位机与第一运动控制模块连接，其用于根据上位机的第一指令控制所有线阵相机的焦面处于同一平面，并控制线阵相机按照第一预设路径进行步进；和/或，上位机与第二运动控制模块连接，其用于根据上位机的第二指令控制玻璃基板按照第二预设路径进行步进；玻璃基板按照线阵相机的分辨率划分有n个区域，线阵相机按照第一预设路径在扫描第m区域后形成第m区域的图像；上位机根据第m区域的图像获取第m区域中的各个芯片的位置，同时，线阵相机并行继续按照第一预设路径扫描第m+1区域形成第m+1区域的图像，m，n均为正整数，m小于n，以实现快速的获取各个芯片的精准位置。
一种玻璃对准测量系统方法设备

[发明专利]基片检测系统及基片检测方法-CN202111679406.3在审
发明人：邹秀阳;于大维;王婷婷;刁雷;刘涛;张记晨;周许超;蓝科;李运锋 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明提供一种基片检测系统及一种基片检测方法。采用所述基片检测系统或所述基片检测方法，在基片的运动过程中，进行图像数据采集，还确定基片的物理位置，可以利用所述图像数据生成所述基片的表面图像以进行缺陷检测，并根据所述基片的物理位置进行缺陷定位，能够提高缺陷检测效率。
检测系统方法

[实用新型]镜框及光学测量装置-CN202320283647.4有效
发明人：张俊杰;刁雷;蓝科;赖勇 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体技术领域，提供了一种镜框及光学测量装置，所述镜框包括框体；所述框体上设置有镜片槽、安装孔以及吸能槽；所述镜片槽沿第一方向开设，所述镜片槽用于安装光学镜片；所述安装孔沿第一方向开设，所述吸能槽沿垂直于所述第一方向延伸；沿所述第一方向，所述吸能槽和所述安装孔投影重合。所述光学测量装置安装有上述所述的镜框。如此配置，吸能槽与安装孔位置部分重合，吸能槽作为缓冲结构，使得安装孔附近受到连接件沿第一方向挤压时，局部发生弹性形变，且该应力几乎被吸能槽处形变吸收而不向光学镜片传递，因此，可有效改善由于局部应力导致的光学镜片面型变化过大的现象。
镜框光学测量装置

[发明专利]一种横向剪切干涉仪中棋盘格光栅衍射计算误差消除方法-CN202310018826.X在审
发明人：白剑;刘慧文;赵磊;费文辉;蓝科;于大维 -专利权人：浙江大学
申请日： 2023-01-06 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种横向剪切干涉仪中棋盘格光栅衍射计算误差消除方法，所用横向剪切干涉仪光学系统包括：将待测光学系统固定布置在横向剪切干涉仪的待测光学平台上，光学照明系统发射非相干光，光线依次经过物面光栅、待测光学系统、像面光栅，被光学探测元件接收；均匀移相物面光栅或像面光栅，得到两垂直方向的剪切干涉图；利用最小二乘法分离求解出两垂直方向的0级与+1级或0级与‑1级衍射光的剪切相位，并重建波前。本发明考虑到各衍射级次具有不同光强系数，对剪切相位进行精确求解，消除了棋盘格光栅在全光路衍射计算过程中带来的误差，提高了波前重建精度。
一种横向剪切干涉仪棋盘光栅衍射计算误差消除方法

[发明专利]显微物镜及自动光学检测设备-CN202111291476.1在审
发明人：李润芝;于大维;蓝科;王婷婷 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G02B21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种显微物镜及自动光学检测设备，所述显微物镜包括沿光束入射方向依次排布的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组，所述第一透镜组的焦距、所述第二透镜组的焦距和所述第三透镜组的焦距满足如下关系式：3|f1/f2|6；2|f2/f3|4；其中，f1表示第一透镜组的焦距，f2表示第二透镜组的焦距，f3表示第三透镜组的焦距，如此配置，显微物镜在满足系统总长和齐焦距离的约束条件下，仍具有较长的工作距，并可维持系统的工作距为20mm。
显微物镜自动光学检测设备

[发明专利]一种基于Mnist数据集的数字识别模型构建方法及装置-CN202110391935.7有效
发明人：李今朝;吕宗明;蓝科;王琳 -专利权人：成都四方伟业软件股份有限公司
申请日： 2021-04-13 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G06V10/774 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于Mnist数据集的数字识别模型构建方法及装置，主要解决现有技术中存在的现有数字模式识别精度不高，基于Mnist数据集识别模型易引起图像失真及在不同场景中泛化性还有待提升的问题。该发明利用空间金字塔池化层自适应处理多尺度信息输入的能力，使得模型方法支持任意尺度的图像数据输入。同时，模型通过能对多尺度信息的学习训练，具有较好的多尺度信息的表征性能。除此之外，该发明对迁移学习以及BN层的应用，极大降低了适应多环境数据训练的门槛，很好地促使了模型参数的有效学习以及模型训练效率的提升。因此，该模型方法具有较好的运行效率和泛化性。
一种基于 mnist 数据数字识别模型构建方法装置

[实用新型]明暗场检测装置-CN202221411200.2有效
发明人：李英甲;于大维;刁雷;李润芝;蓝科 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本实用新型提供一种明暗场检测装置，用于检测基板上的待测区域，包括：明场照明单元、暗场照明单元、物镜单元及探测单元；明场照明单元出射的光束经物镜单元后在待测区域产生明场光斑，暗场照明单元出射的光束在待测区域产生暗场光斑，明场光斑及暗场光斑的反射光或散射光经物镜单元后被探测单元采集，其中，明场照明单元中设有明场光斑偏置单元，利用明场光斑偏置单元使明场光斑与暗场光斑的间隔距离大于设定值。本实用新型，通过设置明场光斑偏置单元，使明场光斑发生偏置，以增大明场光斑与暗场光斑的间距，以此减少两者之间的串扰，还可利用明场光斑偏置单元提高基板的焦面标定的准确性，以及提高暗场照明单元的安装精度。
明暗检测装置

[发明专利]瓦斯含量预测方法、终端设备及计算机可读存储介质-CN201811574454.4有效
发明人：王丹;王纯斌;赵神州;覃进学;蓝科 -专利权人：成都四方伟业软件股份有限公司
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： G06F30/27 文献下载
摘要：本发明公开了一种瓦斯含量预测方法、终端设备及计算机可读存储介质，该方法包括：根据瓦斯相关参数构建瓦斯含量预测模型；初始化第一预定数量的输入向量的值，根据输入向量的值确定最优输入向量；将除最优输入向量之外的其他所有输入向量分为两组；分别计算第一组中的每一输入向量及第二组中每一输入向量对应的新值；对两组中所有新值进行寻优操作，根据寻优结果更新最优输入向量；将最优输入向量中值赋予瓦斯含量预测模型，通过第二预定数量的样本数据对预测模型进行训练得到误差值，并继续寻找最优输入向量直至达到预设条件后停止训练。本发明能够较好的预测瓦斯含量，对于煤矿生产安全具有重要意义。
瓦斯含量预测方法终端设备计算机可读存储介质

[发明专利]一种图像分类方法及装置-CN202210057396.8有效
发明人：蓝科;吕宗明;张国兵;张登辉;胥果;曾丸畅 -专利权人：成都四方伟业软件股份有限公司
申请日： 2022-01-19 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： G06V20/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种图像分类方法及装置，主要解决现有技术中存在的现有图像分类模型存在的模型性能提升困难及模型分类性能不佳的问题。该发明对原始图像数据进行处理增加图像数据的多变性以及缓解过拟合线性，将训练集输入VGG16模型计算出其总交叉熵Loss，至loss曲线收敛；提升了VGG16模型提取特征的多粒度性，使模型的提升更易；最后结合投票决策得出最终的VGG16模型，有效地对多个分类结果进行了综合评估，提升了模型分类的可信度。
一种图像分类方法装置

[发明专利]一种基于概率分布的设施设备评价方法及装置-CN202111313556.2在审
发明人：王琳;蓝科;张国兵 -专利权人：成都四方伟业软件股份有限公司
申请日： 2022-02-24 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G06Q10/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于概率分布的设施设备评价方法及装置，主要解决现有技术中存在的现有设备设施评价方法中评估框架丢失特征之间的相关性和独立性及不具备扩展性的问题。该一种基于概率分布的设施设备评价方法包括包括根据设施设备的历史数据分析器分析其相关系生产评估框架，然后根据评估框架对设施设备的新数据进行评分输出结果。通过上述方案，本发明达到了自动建立评估框架，保留特征花间的相关性和独立性，用信息分布的形式来推算分值和权重，以防止信息丢失，多维度评价的目的。
一种基于概率分布设施设备评价方法装置

[发明专利]一种LSTM神经网络训练方法及装置-CN201910863211.0有效
发明人：曾理;王纯斌;蓝科 -专利权人：成都四方伟业软件股份有限公司
申请日： 2019-09-12 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G06N3/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种LSTM神经网络训练方法及装置，本发明的目的在于提供一种基于文本感知聚焦机制的长短时记忆网络训练方法。该发明将人类感知事物时对关键信息形成聚焦，给予更多注意力权重的机理用于神经网络模型训练；将词向量模式应用于文本中实体关系、事件等关键信息，计算实体向量和事件向量，对训练数据进行实体增强、关系增强和事件增强，在不改变网络结构的前提下，增加训练数据中关键信息的比重，从而获得更加适用于训练数据的网络参数，提升LSTM神经网络性能。
一种 lstm 神经网络训练方法装置

[发明专利]基于改进广义网络向量模型的时序数据预测方法及装置-CN202210061307.7在审
发明人：蓝科;吕宗明;张国兵;颜怀柏;马华均;印龙兵;刘智勇 -专利权人：成都四方伟业软件股份有限公司
申请日： 2022-01-19 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： G06Q50/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于改进广义网络向量模型的时序数据预测方法及装置，主要解决现有技术中存在的现有对离散型因变量分析预测的广义网络向量自回归模型研究大型社交网络时，样本的接受率很低，马尔科夫链会出现大量停滞的问题。该发明输入带有网络结构的时序数据，建立离散型因变量和状态变量之间的连接函数，然后通过状态变量构建广义网络向量自回归模型，然后通过标准马尔科夫链蒙特卡洛算法的MH算法得到多条马尔科夫链，然后通过花朵授粉算法得出最优的1条马尔科夫链，进而得到改进的广义网络向量模型，对带网络结构的时序数据进行预测；本发明可以有效提高新样本的接受率，同时降低修正参数的相对误差。
基于改进广义网络向量模型时序数据预测方法装置

[发明专利]一种改进型硬盘故障预测方法及装置-CN202111211138.2在审
发明人：邬成博;王琳;蓝科;张国兵 -专利权人：成都四方伟业软件股份有限公司
申请日： 2021-10-18 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： G06K9/62 文献下载
摘要：本发明公开了一种改进型硬盘故障预测方法及装置，主要解决现有技术中存在的现有硬盘故障预测模型正负样本的不平衡、决策树易过拟合及随机采样生成的数据子集造成的决策树决策结果准确性差异化的问题。该一种改进型硬盘故障预测方法利用通过基于层次聚类改进的SMOTE算法缓解数据不平衡导致的偏差，使用引入了新的评价标准和限制条件的改进CCP剪枝方法解决决策树过拟合，结合AdaBoost和随机森林学习模型，采用投票法得出预测结果。通过上述方案，本发明达到了更加有效并且准确地进行硬盘故障预测。
一种改进型硬盘故障预测方法装置

[发明专利]一种流式细胞分选仪的照明系统和流式细胞分选仪-CN202011529697.3在审
发明人：潘文强;蓝科;于大维 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种流式细胞分选仪的照明系统和流式细胞分选仪，流式细胞分选仪的照明系统包括光源模块和光束能量分布调整模块；所述光源模块用于产生出射光束；所述光束能量分布调整模块包括变倍扩束单元和光束整形单元，所述变倍扩束单元用于对所述出射光束进行扩束处理得到扩束光束，且所述变倍扩束单元的扩束倍率可调；所述光束整形单元用于根据所述扩束光束的光束口径调整所述扩束光束的能量分布。通过变倍扩束单元得到光束口径不同的扩束光束，再经过光束整形单元得到能量分布不同的照明光斑，例如高斯光斑、类高斯光斑和平顶光斑，针对不同的探测样品采用不同的照明光斑进行探测，可以降低照明系统的功耗，增加照明系统的普适性。
一种细胞分选照明系统

[发明专利]对数据自动分箱的方法及装置-CN201910362666.4有效
发明人：李骥东;何智福;蓝科;覃进学 -专利权人：成都四方伟业软件股份有限公司
申请日： 2019-04-30 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： G06N20/00 文献下载
摘要：本发明涉及数据处理技术领域，具体涉及一种对数据自动分箱的方法及装置，该方法具体包括：获取用户输入的基本特征数据以及分箱条件，将分箱条件带入预定义函数得到目标函数，根据分箱条件确定初始向量，将初始向量带入目标函数确定对基本特征数据的搜索方向。进而以初始向量为基准点按照搜索方向对初始向量进行调整并带入目标函数得到对应的函数值，当后一个函数值与当前函数值的差值小于预设收敛精度，则确定后一个函数值对应的初始向量作为分割点，最后依据确定的多个分割点对用户输入的基本特征数据进行分箱。通过本方案可实现快速分箱，使得各个分箱之间的关联程度最低，进而便于对用户输入的数据进行客观评分操作。
数据自动方法装置

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