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[发明专利]基于光纤的低温近场光学显微镜-CN202011567791.8在审
发明人：刘锐 -专利权人：仪晟科学仪器（嘉兴）有限公司
申请日： 2020-12-26 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于光纤的低温近场光学显微镜，用于测量样品，包括光学部分和扫描机械部分，光学部分包括光源、光纤耦合器、干涉臂、探测器和近场耦合结构，所述光源与所述光纤耦合器的第一入射端口固定连接，所述探测器与所述光纤耦合器的第二入射端口固定连接。本发明公开的一种基于光纤的低温近场光学显微镜，其不仅省去了光波束引导机构的调试校准工序，还避免了系统机械部件老化所带来的位置漂移影响，其具有更好的抗环境干扰能力、安装位置受实际安装环境影响小和能够更经济的达到1.2K、4K的超低温环境等优点。
基于光纤低温近场光学显微镜

[发明专利]一种采用基于探针阵列的近场光学显微镜提取相位信息的方法-CN202010014041.1有效
发明人：胡旻;王月莹;张天宇;张倬铖;张晓秋艳;许星星;吴振华;刘頔威;刘盛纲 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2020-01-07 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于探针阵列的近场光学显微镜提取相位信息的方法，属于扫描近场光学显微镜技术领域。本发明在散射型扫描近场光学显微镜中，利用两个及以上的探针组成阵列取代传统的单探针激励；通过不同的振动频率Ω来分辨每根探针的散射信号，从而实现同时测量样品的不同位置处近场信号强度的差异，由此计算出该表面波的相位。本发明在传统单探针散射型近场显微镜的基础上做出改进，可以同时获得材料或生物组织表面倏逝波的场强和相位，有助于更为直观地了解被测样品的近场特性。
一种采用基于探针阵列近场光学显微镜提取相位信息方法

[发明专利]单量子点扫描近场光学显微探针及体系、检测装置及方法-CN201910544844.5有效
发明人：陈学文;徐威旺;王志远 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2019-06-21 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本发明涉及扫描探针成像技术领域，公开了一种基于单量子点的近场探针及探针体系，以及基于该探针体系的检测装置及方法。单量子点扫描近场光学显微探针，是将单量子点通过静电力或化学粘附剂装载到介质针尖用作探针，介质针尖为锥形光纤或者原子力显微镜探针。本发明的近场探针体系能有效地克服传统扫描近场光学探针扭曲样品光学性质、信噪比低、重复性差等缺陷；单量子点近场探针成像分辨率能达到与单量子点尺寸同一量级，一般优于10纳米空间分辨率。检测方法具有基于荧光强度成像和荧光寿命成像，可传感样品形貌、材料成分、光学近场分布等多维度的物理量信息。
量子扫描近场光学显微探针体系检测装置方法

[发明专利]一种基于周期纳米孔阵列和透镜介质微球阵列的近场超分辨光学成像方法-CN201910987418.9有效
发明人：王宏达;石岩;邵丽娜;田昕 -专利权人：中国科学院长春应用化学研究所
申请日： 2019-10-17 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于周期纳米孔阵列和透镜介质微球阵列的近场超分辨光学成像方法，通过周期纳米孔阵列可以将入射光拆分成10‑500nm直径的细小光束，透镜介质微球阵列可以将这些光束分别聚焦，形成光斑阵列。通过三维移动周期纳米孔阵列器件使孔阵列与透镜介质微球阵列的中心轴对应，最大程度的将被孔阵列分散的光束聚焦，得到纳米级的光斑阵列，进而实现超分辨显微成像的目的。本发明的有益效果是结合周期纳米孔阵列和透镜介质微球阵列的优势，将传统进场扫描光学显微镜的点扫描方式扩展为阵列扫描，克服了其单次成像范围小、需要极细探针、扫描过程与样品接触、无法对高度变化大的样品成像的缺陷，实现超高分辨率的显微成像。
一种基于周期纳米阵列透镜介质近场分辨光学成像方法

[实用新型]太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构-CN201922452530.0有效
发明人：王文杰 -专利权人：仪晟科学仪器（嘉兴）有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，适于并且匹配各种型号的原子力显微镜以检测一待测样品，所述太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构包括一90°平面镜、一AFM探针、一第一平面镜，所述AFM探针用于检测置于一AFM样品台的所述待测样品，所述第一平面镜置于所述90°平面镜的靠近AFM样品台的一侧。本实用新型专利申请公开的太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，适用并且匹配多种成熟的商业化AFM，抛物面镜需针对AFM进行定制，在保证将入射太赫兹脉冲束聚焦到AFM探针之上及收集经探针和样品散射的太赫兹脉冲束的前提下不与AFM结构产生冲突。
赫兹近场显微镜脉冲引出机构

[实用新型]一种样品结构-CN201922216397.9有效
发明人：温晓镭 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2019-12-11 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本申请提供一种样品结构，所述样品结构，包括衬底、位于衬底上的金属薄膜，以及位于金属薄膜内部或其上的纳米结构。样品结构简单，制作方法简易，能够在倾斜入射光照射下，产生的近场光场分布能够被SNOM检测到，且对入射光空间角具有良好响应，能够用于SNOM近场光场成像，进而由SNOM近场光场成像测量结果反推出入射光空间角分量，从而实现对SNOM设备入射光空间角的标定。
一种样品结构

[发明专利]太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构-CN201911388517.1在审
发明人：王文杰 -专利权人：仪晟科学仪器（嘉兴）有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，适于并且匹配各种型号的原子力显微镜以检测一待测样品，所述太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构包括一90°平面镜、一AFM探针、一第一平面镜，所述AFM探针用于检测置于一AFM样品台的所述待测样品，所述第一平面镜置于所述90°平面镜的靠近AFM样品台的一侧。本发明专利申请公开的太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，适用并且匹配多种成熟的商业化AFM，抛物面镜需针对AFM进行定制，在保证将入射太赫兹脉冲束聚焦到AFM探针之上及收集经探针和样品散射的太赫兹脉冲束的前提下不与AFM结构产生冲突。
赫兹近场显微镜脉冲引出机构

[发明专利]一种样品结构及其制作方法、入射空间角标定方法-CN201911267392.7在审
发明人：温晓镭 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2019-12-11 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本申请提供一种样品结构及其制作方法、入射空间角标定方法，所述样品结构，包括衬底、位于衬底上的金属薄膜，以及位于金属薄膜内部或其上的纳米结构。样品结构简单，制作方法简易，但是能够在倾斜入射光照射下，产生的近场光场分布能够被SNOM检测到，且对入射光空间角具有良好响应，能够用于SNOM近场光场成像，进而由SNOM近场光场成像测量结果反推出入射光空间角分量，从而实现对SNOM设备入射光空间角的标定。该标定方法简便易行，样品结构制备工艺简单，可作为标准样品对不同厂家型号或实验室搭建的散射式扫描近场光学显微镜入射光空间角进行标定，适用范围广泛，可大批量生产。
一种样品结构及其制作方法入射空间标定方法

[实用新型]一种散射式低温扫描近场光学显微镜-CN201920096744.6有效
发明人：王文杰 -专利权人：仪晟科学仪器（嘉兴）有限公司
申请日： 2019-01-21 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种散射式低温扫描近场光学显微镜，包括冷台、设置于冷台底部的样品扫描平台和探针扫描平台、抛物面镜平台以及底座，所述样品扫描平台包括扫描台，扫描台上设置有弹性夹片和样品架，样品架可插拔的夹于扫描台和弹性夹片之间以便于更换样品；所述探针扫描平台位于样品扫描平台相对一侧，包括连接于冷台底部的针尖耦合提取平台和针尖托，针尖托上固定有探针，针尖托以磁吸式连接于针尖耦合提取平台并且与扫描台相对以便于更换探针对样品进行扫描；所述抛物面镜平台设置于底座上以会聚外部激光于探针处并收集带有样品信息的散射光于外部探测器。本实用新型可以同时实现原位换探针和换样品，操作简单兼容性强。
针尖样品扫描扫描台冷台探针低温扫描近场本实用新型光学显微镜弹性夹片抛物面镜探针扫描耦合散射式样品架底座扫描磁吸式连接外部探测器平台设置样品信息兼容性可插拔散射光会聚激光外部

[发明专利]一种散射式低温扫描近场光学显微镜-CN201910053045.8在审
发明人：王文杰 -专利权人：仪晟科学仪器（嘉兴）有限公司
申请日： 2019-01-21 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种散射式低温扫描近场光学显微镜，包括冷台、设置于冷台底部的样品扫描平台和探针扫描平台、抛物面镜平台以及底座，所述样品扫描平台包括扫描台，扫描台上设置有弹性夹片和样品架，样品架可插拔的夹于扫描台和弹性夹片之间以便于更换样品；所述探针扫描平台位于样品扫描平台相对一侧，包括连接于冷台底部的针尖耦合提取平台和针尖托，针尖托上固定有探针，针尖托以磁吸式连接于针尖耦合提取平台并且与扫描台相对以便于更换探针对样品进行扫描；所述抛物面镜平台设置于底座上以会聚外部激光于探针处并收集带有样品信息的散射光于外部探测器。本发明可以同时实现原位换探针和换样品，操作简单兼容性强。
针尖样品扫描扫描台冷台探针低温扫描近场光学显微镜弹性夹片抛物面镜探针扫描耦合散射式样品架底座扫描磁吸式连接外部探测器平台设置样品信息兼容性可插拔散射光会聚激光外部

[发明专利]用于提取近场太赫兹信号的伪零差干涉探测系统及探测方法-CN201610178610.X有效
发明人：代广斌;王化斌;杨忠波;郑妍;崔洪亮;魏东山;常天英;杜春雷 -专利权人：吉林大学
申请日： 2016-03-26 - 公布日： 2019-01-25 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于提取近场太赫兹信号的伪零差干涉探测系统及探测方法，探测系统包括太赫兹功率探测器、锁相放大器、太赫兹波分束器、斩波器、太赫兹反射镜、AFM针尖、函数发生器。借助于伪零差探测的优点，大大优化了近场探测装置，提高了系统集成度，同时丰富了信号的频谱成分，展宽了信号频带，使得锁相探测时能够有更多的频率选择。该发明实现了太赫兹近场扫描显微镜中近场信号的高指标和低成本探测，并为其技术实现提供了新的途径。
用于提取近场赫兹信号伪零差干涉探测系统方法

[发明专利]基于全光纤共光路反射式干涉仪的无孔式近场光学显微成像方法-CN201810964380.9在审
发明人：丁伟;孙一之 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2018-08-23 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本发明提供一种无孔式近场光学显微成像方法，包括如下步骤：辐照步骤：将激光耦合进波导样品；扫描步骤：用探针扫描所述波导样品；干涉步骤：将参考光和信号光引入同一条光纤路径中发生干涉，其中，所述参考光为所述激光在波导样品端面处的反射光或在所述波导样品之前的布拉格光纤光栅处的反射光，所述信号光为所述激光在所述波导样品的探针扫描部位处的反射光；以及相干检测步骤：对所述干涉步骤产生的干涉光信号进行相干检测。
波导样品反射光干涉近场光学探针扫描显微成像相干检测参考光无孔式信号光激光布拉格光纤光栅干涉光信号辐照步骤光纤路径激光耦合扫描步骤端面处反射式共光路全光纤引入

[发明专利]一种基于金属纳米线表面等离激元纳米光源的光学显微镜-CN201510856134.8有效
发明人：徐红星;管志强;童廉明;张顺平;张福平 -专利权人：武汉大学
申请日： 2015-11-27 - 公布日： 2018-09-21 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于金属纳米线表面等离激元纳米光源的光学显微镜，该光学显微镜采用金属纳米线中传播型表面等离激元作为纳米光源；金属纳米线扫描探针包括粘结在石英共振音叉或原子力显微镜探针上的金属纳米线，或粘结在石英共振音叉上含有金属纳米线的空心光纤管；测量光路采用显微镜进行宏观光路与微观光路的桥接，外接光源，采用载波技术进行弱信号探测，采用偏振光谱与单色仪配合相应的滤波片进行波长分光，采用CCD、单光子计数器收集光学信号。还公开了金属纳米线扫描探针的制备及修饰。本发明将金属纳米线等离激元的发射作为纳米光源激发样品，在提高光学分辨率、增强光与样品的相互作用、实现可控偏振纳米光源等成像技术方面具有重要意义。
一种基于金属纳米表面离激元光源光学显微镜

[发明专利]近场偏振光扫描探针显微镜-CN201610167405.3有效
发明人：金涛;沈璐 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2016-03-23 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种近场偏振光扫描探针显微镜，具有一条近场光学探测光路，所述近场光学探测光路中由He‑Ne激光器发出的一束线偏振光依次经过四分之一波片A、分光棱镜、物镜A、探针至载物台形成近场光学产生光路；从探针反射的反射光依次经过物镜A、分光棱角、四分之一波片B、格兰泰棱镜、物镜，由光电接收器接收至图像显示系统。本发明能有效抑制远场背景光，提高近场光的信噪比，且能达到小于10纳米的空间分辨率。
偏振光近场光学物镜扫描探针显微镜四分之一波片探测光路近场探针图像显示系统光电接收器空间分辨率分光棱镜有效抑制激光器背景光反射光近场光信噪比载物台棱镜棱角分光格兰光路束线远场反射

[发明专利]一种用于近场扫描光学显微镜的光纤照明透射装置-CN201710817357.2在审
发明人：李江艳 -专利权人：滨州学院
申请日： 2017-09-12 - 公布日： 2018-02-27 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于近场扫描光学显微镜的光纤照明透射装置，包括激光器(1)、照明光纤(2)、光纤固定器主体(3)、光纤连接孔(4)、光纤连接器安装孔(5)、光纤连接器安装头(6)、光纤连接器(7)、光纤固定器主体安装头(8)。本发明通过在近场扫描光学显微镜的物镜转换器上的安装孔上设置微功率激光照射光源，实现了外置微功率激光光源在透射收集模式的近场扫描光学显微镜上的应用，有效满足近场扫描对平面波入射的要求，尤其是对微细结构加工的测量的要求，具有结构简单、使用强、无需改装加工近场扫描光学显微镜等特点。
一种用于近场扫描光学显微镜光纤照明透射装置