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[发明专利]扫描隧道显微镜和扫描微电极联用测量系统及其测量技术-CN200510052314.7无效
发明人：林昌健;李彦;卓向东;胡融刚 -专利权人：厦门大学
申请日： 2005-02-05 - 公布日： 2005-10-19 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：涉及一种扫描隧道显微镜与扫描微电极联用测量系统及技术，由扫描隧道显微镜(STM)测量平台，扫描微探针及控制/驱动单元；隧道电流信号和微区电位信号测量单元及测量信号的控制和处理单元组成。利用扫描微探针同时检测表面隧道电流和表面电位分布，以压电微扫描和步进电机机械扫描进行扫描测量模式互换，并利用隧道电流作为扫描微电极到达样品表面的指示，实现了扫描微电极尖端与样品表面距离的定量控制，可显著提高表面微区电化学腐蚀电位的分布测量的空间分辨度。该系统可同时测量纳米分辨度的表面形貌图像和表面微区电化学活性分布图像，实现对表面形貌结构—化学活性的相互关联研究。为多种表面空间分辨测量技术提供相互结合、优势互补、关联研究的开放平台。
扫描隧道显微镜微电极联用测量系统及其技术

[发明专利]一种微型三维自扫描共焦显微镜-CN200510018429.4无效
发明人：张新宝 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2005-03-24 - 公布日： 2005-09-07 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种微型三维自扫描共焦显微镜。双梳状直线扫描器由动子和二个作为定子的X向直线驱动器和Z向直线驱动器组成，第二微透镜位于动子上；点式光源发出的光经过第一微透镜后，成为准直激光束；准直激光束透过微型光学分束镜，经过微扫描反射镜反射后，由第二微透镜聚焦于样本；反射光或荧光沿原光路依次经过第二微透镜和微扫描反射镜反射后，返回到微型光学分束镜，被微光学分束镜反射的光经过第三微透镜和针孔，照射到微型光探测器；控制装置用于数据采集和处理，并控制双梳状直线扫描器在X、Y方向的焦点直线扫描。本发明具有体积小、结构简单、稳定性好、动态特性的频率响应高和直接三维立体自扫描测量的特点。
一种微型三维扫描显微镜

[发明专利]微结构键合工艺检测方法及检测结构-CN200410039025.9无效
发明人：阮勇;张大成;郝一龙;罗葵;王玮;李婷;贺学锋;胡维;王阳元 -专利权人：北京大学
申请日： 2004-01-21 - 公布日： 2005-08-03 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种微结构键合工艺结果的检测方法及用于该方法的检测结构。先设计包含微结构的硅结构版图；采用键合工艺方法制备微结构，硅结构和硅衬底或玻璃衬底通过键合面连接，硅结构至少有一端与键合面保有距离，并记录键合面积；用探针在没有键合的一端侧面推动硅结构，使之绕键合面发生形变直至单晶硅结构从键合面处断裂，并记录探针推点和键合面的距离和形变直至断裂过程的参数；根据所记录的上述数据，实现键合强度的检测。将复杂的MEMS器件检测技术，用简单的方法完成，解决了目前MEMS技术中微结构键合强度检测的难题，能满足多种MEMS器件加工时键合强度检测的需求。可应用于MEMS加工工艺技术领域。
微结构工艺检测方法结构

[发明专利]扫描探针显微镜及扫描方法-CN200410085110.9有效
发明人：北岛周;渡边和俊;胁山茂;安武正敏;井上明 -专利权人：精工电子纳米科技术有限公司
申请日： 2004-08-25 - 公布日： 2005-06-08 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：公开了扫描探针显微镜和扫描方法，其能减小或避免因探针尖与样品碰撞而造成的损害，缩短测量时间，提高生产力和测量精确度，不受粘附水层的影响收集样品表面的观测数据，如形貌数据。显微镜具有振动探针尖的振动单元、探针尖与样品表面接近或接触时收集观测数据的观测单元、探针尖与样品表面接近或接触时检测探针尖振动状态变化的检测单元和控制探针尖在平行于样品表面的X和Y方向上及在垂直于样品表面的Z方向上移动的控制单元。在收集观测数据以后，控制单元在平行于样品表面的方向上扫描探针尖，直到达到在X或Y方向上的下一观测位置。在扫描中，若检测到探针尖振动状态变化，控制单元就在Z方向上远离样品表面移动探针尖。
扫描探针显微镜方法

[发明专利]高分辨率窄线宽长时效探测装置-CN200410084251.9无效
发明人：龚尚庆;金石琦 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2004-11-17 - 公布日： 2005-04-06 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：一种高分辨率窄线宽长时效探测装置，该装置由激光光源、第一分光元件、斩波器、锁定放大器、第二分光元件、四个反射元件、两个接收装置、信号处理器、偏振元件和小孔光阑构成，本发明装置是利用激光分光使样品实现饱和吸收提高窄线探测能力，另一束探测光与经样品的泵浦光进行自相关以提高探测效率。本发明装置具有窄线宽、高分辨率和长时效的特点。
高分辨率窄线宽长时效探测装置

[发明专利]一种测定镍基高温合金相含量的方法-CN200410061055.X无效
发明人：彭志方;杨志刚;阎光宗 -专利权人：武汉大学
申请日： 2004-11-08 - 公布日： 2005-04-06 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：本发明公开了测定镍基高温合金相含量的方法，包括以下步骤：①将被测试样观察面磨光、抛光；②利用电子探针分别测基体相和基体相与有序结构析出相混合区域以及试样整体的化学成分；③对上述各相的测定数据分别求出统计平均值；④建立涉及有序结构析出相的亚点阵元素浓度和各元素间原子置换引起的体应变关系的目标函数；⑤建立约束条件；⑥将所建立的目标函数及约束条件编制成计算程序；⑦将有序结构析出相含量还原成为合金试样中上述各相的实际含量；⑧用上述结果算出碳化物相含量。本发明与常规化学相分析法的结果有很好的吻合性，并大大节省了分析所用时间。本发明可用于高温合金的设计、工艺控制以及相分析等重要领域。
一种测定高温金相含量方法

[发明专利]一种带有永磁透镜和静电透镜的粒子－光学装置-CN200410043413.4有效
发明人： B·布伊斯塞 -专利权人： FEI公司
申请日： 2004-04-23 - 公布日： 2005-03-09 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：粒子－光学装置一般设置磁透镜或静电透镜，以将带电粒子束(1)聚焦到样品(8)。这些装置希望能在不同束能量下使用。但是不希望粒子束的焦点位置(9)会相对样品(8)移动。磁透镜使用永磁材料(6)具有结构紧凑的优点，但一般避免使用永磁材料是因为不容易将透镜的能量调节到符合变化的束能量。本发明显示了通过将设有永磁材料的磁透镜与静电透镜结合，可保持焦点位置(9)的恒定，并使之与粒子束1的粒子能量无关。静电透镜在此示例中是加速透镜。
一种带有永磁透镜静电透镜粒子光学装置

[发明专利]原位微区结构分析与性质测试联合系统-CN200410070112.0有效
发明人：白雪冬;王恩哥;薛其坤;王中林;陈东敏 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2004-08-02 - 公布日： 2005-03-02 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种原位微区结构分析与性质测试联合系统，包括透射电子显微镜和扫描探针显微镜，扫描探针显微镜包括机械系统和电子学系统，机械系统安装在与透射电子显微镜样品杆外形尺寸一致的气密的空心杆内，对探针(或样品)的位置在透射电镜中可观测的空间范围内进行调节，电子学系统控制机械系统工作并对所测信号进行处理。本系统将透射电子显微镜和扫描探针显微镜的优势集于一身，实时记录材料微区原子结构和原位物性，将微区物性与其微观结构直接对应起来，能可视地操纵扫描探针显微镜的双探针(或样品)，并对样品进行位置调节和物性测量，可针对个别纳米结构进行再重入和定位测量。
原位结构分析性质测试联合系统

[发明专利]氧环境扫描电子显微方法及系统-CN200410078331.3无效
发明人：吉元;钟涛兴;郭汉生;徐学东;张虹;权雪玲 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2004-09-24 - 公布日： 2005-03-02 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种在扫描电子显微镜中，注入微量氧气，在氧环境中对非导电材料直接进行观察和分析的方法及系统。特征在于：在扫描样品前，将微量活性氧气注入样品室内，以减小和消除非导电样品荷电现象。注入氧气前先选择真空模式，氧气通过减压阀减压，用真空计和真空规监测样品室内的真空度，由针阀继续降低氧气流量；注入的氧气对扫描电镜系统真空度的影响非常小，实现了在不同真空模式下的氧环境观察条件；配合氧环境扫描电子显微方法的氧气微注入系统设置在样品室侧壁上，主要包括有供气回路、真空检测系统及吸收电流测试系统。本发明完成了简便而有效地消除氧化物、氢氧化物等类非导电样品进行电子显微分析时产生荷电效应的目的。
环境扫描电子显微方法系统

[实用新型]自适应多形变量程模式压电陶瓷扫描器-CN200420019932.2无效
发明人：赵于勒 -专利权人：赵于勒
申请日： 2004-02-05 - 公布日： 2005-01-26 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：本实用新型包括若干个分别控制X、Y、Z方向扫描的压电陶瓷扫描器，给压电陶瓷扫描器的每个导电层施加不同的驱动电压，使压电陶瓷扫描器具有多个模式的最大形变量程；将每一组压电陶瓷导电层对应于不同扫描量程等效驱动电压的形变量的非线性函数，以及相关参数存储于EPROM中，系统调用相应的扫描量程状态的非线性函数，对X、Y、Z方向的扫描进行非线性校正，本实用新型的优点是同一个压电陶瓷扫描器可以具有多个不同的最大形变量程扫描模式，并且无论将该扫描器配置到任何一台扫描探针显微镜上，都无需重新进行非线性校正，具有自适应功能，使用非常方便。
自适应形变量程模式压电陶瓷扫描器

[发明专利]扫描探针显微镜中压电执行器模型参数标定和非线性校正方法-CN200410016561.7无效
发明人：费敏锐;黄自元;李荣庆;刘辉;林学海 -专利权人：上海大学;上海爱建纳米科技发展有限公司
申请日： 2004-02-26 - 公布日： 2005-01-05 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种扫描探针显微镜中的压电执行器参数标定和非线性校正方法。本发明提出的方法是：(1)扫描标准光栅样品，获得其SPM图像；(2)利用压电执行器模型参数标定软件获取压电执行器模型参数，(3)进行非线性在线校正前的数据转换，(4)在线进行非线性校正。本发明基于标准光栅样品SPM图像的压电执行器模型参数标定软件，以获得压电执行器模型参数，进行压电执行器非线性校正，消除SPM图像特征扭曲，并大为降低SPM产品标定的复杂程度。
扫描探针显微镜压电执行模型参数标定非线性校正方法

[发明专利]中子显微镜-CN02111729.2无效
发明人：陈建文;高鸿奕;谢红兰;徐至展 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2002-05-17 - 公布日： 2004-09-01 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：一种中子显微镜，包括由中子源发射的中子束经过长筒状的准直器准直、再经过单色器变成单色中子束后，通过狭缝由波带片将其中子束聚焦在置放在样品台上的待测样品上，待测样品产生的信号经正比计数器变成电流信号输入计算机进行重构处理。与在先技术相比，具有分辨率高，能够测量微细结构。可以广泛应用于工业、农业、生物医学、物理、地球化学和宇宙化学、考古和海洋学等方面的微观结构的观察测量。
中子显微镜

[发明专利]扫描探针显微镜-CN03156917.X无效
发明人：王宏;奚爽;李丹芸 -专利权人：北京中科奥纳科技有限公司
申请日： 2003-09-15 - 公布日： 2004-04-21 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：本发明提供一种既能够有效防止划伤样品，又能够减少图像失真，从而有利于获得精确表征样品表面形貌的高分辨率图像的扫描探针显微镜，包括带针尖的微悬臂，其特征在于：所述微悬臂与振荡装置固定连接；所述针尖位于所述微悬臂的一端，所述振荡装置位于所述微悬臂的另一端；所述振荡装置包括压电陶瓷晶体，和对该压电陶瓷晶体的振荡频率及振幅进行控制的振荡频率控制器，所述微悬臂固定在所述压电陶瓷晶体上。
扫描探针显微镜

[发明专利]扫描探针显微镜-CN02143466.2无效
发明人：武笠幸一;末冈和久;加茂直树;细井浩贵;泽村诚 -专利权人：北海道大学
申请日： 2002-06-26 - 公布日： 2003-03-26 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：本发明提供一种扫描探针显微镜，其中在探针最前端形成具有椅型晶体结构或其最前端经改性分子进行化学改性的碳纳米管。
扫描探针显微镜

[实用新型]一种用于扫描探针显微镜的调距装置-CN02215094.3无效
发明人：胡志强;李民乾;胡钧;孙洁林;邱柄良 -专利权人：上海爱建纳米科技发展有限公司
申请日： 2002-01-10 - 公布日： 2002-12-25 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于扫描探针显微镜的调距装置。该装置包括丝杆、导向指针及外壳体。所述丝杆与直流马达和导向指针之间由软性连轴器相连，减少了电机启动的冲击，提高了抗震能力。导向指针与直流马达之间采用紧配合的方式紧密相连。导向指针上设有一突出块嵌入所述外壳体的缝道内，使得马达只能作轴向运动，而不能作旋转运动。在外壳体对应导向指针的位置处开有透明标尺窗用来指示丝杆的位移，从所述马达引出的两根导线通过话筒插座与外控制电路相联。所述的控制电路包括1个非门、2个与门组驱动器及2个限流电阻。其2个输入端1个是进退状态脉冲输入端，另1个是马达动作输入端。本实用新型结构简单，扫描性能稳定，且成本低使用寿命长。
一种用于扫描探针显微镜装置

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