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[发明专利]一种纳米多孔二氧化锡薄膜气敏材料及其制备方法和应用-CN201510454246.0有效
发明人：刘锋;赵晓静;陈金鑫;陈骏伟;张轶;石旺舟 -专利权人：上海师范大学
申请日： 2015-07-29 - 公布日： 2018-12-14 - 主分类号： B82B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种纳米多孔二氧化锡薄膜气敏材料的制备方法,以纳米多孔金为生长模板，利用原子层沉积技术沉积二氧化锡、经过退火结晶、王水腐蚀生长模板过程后，最终得到具有纳米多孔金的双联通二氧化锡气敏薄膜。本发明制备得到的纳米多孔二氧化锡薄膜气敏材料可用于检测用于检测二氧化氮，且其最佳工作温度为300℃；并且具有超低的二氧化氮气敏检测极限和超高的气敏响应度。
二氧化锡薄膜纳米多孔气敏材料纳米多孔金二氧化氮二氧化锡制备检测原子层沉积技术制备方法和应用退火模板过程气敏薄膜王水腐蚀生长超低的响应度可用联通沉积

[发明专利]一种聚合物纳米柱阵列的无模板制备方法-CN201610487730.8有效
发明人：袁立嘉 -专利权人：北京随能科技有限公司
申请日： 2016-06-28 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： B82B3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种聚合物纳米柱阵列的无模板制备方法，根据本发明的方法，提供一种聚合物，所述聚合物具有相应的表面；在所述聚合物的所述表面上沉积未形成连续膜状态的金属层，通过所述沉积形成所述聚合物的被所述金属层覆盖的暂时保护区，以及未被所述金属层覆盖的暴露区；对沉积有所述金属层的聚合物的表面进行蚀刻，使得未被所述金属层覆盖的暴露区被蚀刻，而被所述金属层覆盖的所述暂时保护区未被蚀刻，由此形成聚合物的纳米柱阵列。本发明的实现了一种聚合物纳米阵列高度可控，又能够快速成型、适用性广、成本较低且大面积的制备垂直纳米线阵列的方法。
一种聚合物纳米阵列模板制备方法

[发明专利]一种基于等离子激元效应电场辅助Ag纳米线自身形貌修复方法-CN201710130047.3有效
发明人：戴菡;黄同瑊;房洪杰;赵俊凤;孙杰;张涛;刘慧;王美春 -专利权人：烟台南山学院
申请日： 2017-03-07 - 公布日： 2018-12-04 - 主分类号： B82B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于等离子激元效应电场辅助金属Ag纳米线自身形貌修复方法，采用了Ag纳米线表面施加光照结合电场的工艺过程，利用简单的流体铺展工艺，通过原子力显微镜探针拨动，将Ag纳米线置于在银膜电极间，通过同时施加光照与电场对置于在银膜电极间的Ag纳米线样品进行表面修复，采用该技术可以修复位于银纳米表面深度达到10 nm左右的缺陷，修复后的Ag纳米线的表面形貌接近或达到原始形貌，为提高金属纳米结构缺陷修复精度与效率提供新的技术手段。
一种基于等离子效应电场辅助 ag 纳米自身形貌修复方法

[发明专利]用于气敏传感器的贵金属负载氧化钨纳米线的合成方法-CN201610953128.9有效
发明人：席广成;钟坚海;白桦 -专利权人：中国检验检疫科学研究院
申请日： 2016-11-03 - 公布日： 2018-11-30 - 主分类号： B82B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于气敏传感器的贵金属负载氧化钨纳米线的合成方法，包括以下步骤：称取若干富含氧缺陷的氧化钨纳米线，超声分散至去离子水中，搅拌均匀形成蓝色悬浊液；量取若干贵金属盐溶液并分成两份，分两次边搅拌边向蓝色悬浊液中加入贵金属盐溶液；将混合物转入离心管，离心得到上层液体和底部的固体，弃去上层液体，保留底部的固体；清洗固体；清洗后的固体经干燥得到最终产物。本发明利用富含氧缺陷的氧化钨自身的还原性，在其表面直接还原负载贵金属，使得材料具有极佳的纯度无需任何后处理过程进行纯化，从而使得本发明成为一个室温水相反应过程，具有安全性高、可操作性强、易推广的特点。
用于传感器贵金属负载氧化钨纳米合成方法

[发明专利]一种硅藻壳微粒单层阵列的方法-CN201610855502.1有效
发明人：张文强;李容;张德远 -专利权人：中国农业大学
申请日： 2016-09-27 - 公布日： 2018-11-27 - 主分类号： B82B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了属于微纳米先进制造技术领域的一种硅藻壳微粒单层阵列的方法。本发明通过正己烷溶胀和阵列管脚转移两种方法实现硅藻壳微粒阵列化。正己烷溶胀阵列方法将密排后的硅藻壳微粒转移至PDMS块上，通过液态正己烷溶胀PDMS后，再将其置于气态正己烷中，实现大面积硅藻壳微粒的快速阵列，该方法简单、快速、成本低，使得硅藻壳片单个单元化，壳片与壳片之间等距阵列，为各类基于硅藻、硅藻土微器件的制备和应用提供技术支撑。管脚阵列转移方法将等距管脚粘附密排后的硅藻壳微粒后，转移到具有一定黏性的PDMS块上，实现单层区域硅藻壳微粒阵列化，该方法简单、快速，可设计管脚接触面图案实现单层密排硅藻图案阵列化。
一种硅藻微粒单层阵列方法

[发明专利]在熔融金属中的纳米结构自分散和自稳定化-CN201780020325.8在审
发明人：李晓春;许家全 -专利权人：加利福尼亚大学董事会
申请日： 2017-03-30 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： B82B1/00 文献下载
摘要：一种金属基质纳米复合材料，其包括：1)基质，该基质包括一种或多种金属；和2)纳米结构，该纳米结构以一定体积分数均匀且稳定地分散在基质中，所述体积分数包括大于纳米复合材料的约3％的体积分数。
纳米结构体积分数基质纳米复合材料金属基质熔融金属自分散自稳定金属

[发明专利]一种产生非对称传输的双层矩形孔微纳结构的制备方法-CN201810616454.X在审
发明人：刘黎明;王红航;杨健君;迟锋;水玲玲;吐达洪·阿巴;张智;张中月 -专利权人：电子科技大学中山学院
申请日： 2018-06-15 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： B82B3/00 文献下载
摘要：本发明属于微纳光学技术领域，具体涉及一种产生非对称传输的双层矩形孔微纳结构的制备方法。本发明双层矩形孔微纳结构的制备方法包括：设计图形、准备基底、镀镍、镀金、镀介质层、镀金和轰击七个步骤，采用先蒸镀各纳米层，然后利用聚焦离子束(Focused Ion beam，简称FIB)精确的进行矩形孔刻蚀的制备方法，解决了现有技术中存在的双层矩形孔微纳结构中由于技术和实验误差的限制，上下两层的矩形孔很难校准的问题，达到了简化制备工艺、降低制备难度和降低成本的效果。
制备双层矩形微纳结构非对称矩形孔镀金简化制备工艺聚焦离子束传输镀介质层上下两层设计图形实验误差微纳光学校准纳米层镀镍基底刻蚀蒸镀轰击

[发明专利]一种纳米材料切断加工方法-CN201710045914.3有效
发明人：许婷婷;裴永永;田永涛;李新建 -专利权人：郑州大学
申请日： 2017-01-22 - 公布日： 2018-11-09 - 主分类号： B82B3/00 文献下载
摘要：本发明涉及纳米材料加工技术领域，具体涉及一种纳米材料切断加工方法，包括将纳米材料接触Li⁺发生锂化反应，然后对纳米材料施力，使纳米材料从已锂化位置和未锂化位置交界处断裂，实现对纳米材料的切断。本发明纳米材料切断方法是利用原位锂化的方式使纳米材料锂化膨胀产生应力效应，使得纳米材料在已锂化和未锂化的交界处受到拉应力或者弯曲应力即可断裂，完成纳米材料的切断。其切断的机理与纳米材料的锂化有关，通过控制锂化速率和锂化时间，实现纳米材料锂化长度的可控性，实现对纳米材料在长度方向上切断的精确可控加工，并且不受加工材料厚度、导电能力等性能的影响，适用范围广，操作方便，易于控制，适于推广应用。
一种纳米材料切断加工方法

[发明专利]一种基于MBE设备原位低温获得大尺寸Ga滴的方法-CN201810523864.X在审
发明人：石震武;杨新宁;杨琳韵;缪力力;陈晨;霍大云;邓长威;彭长四 -专利权人：苏州大学
申请日： 2018-05-28 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： B82B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于MBE设备原位低温获得大尺寸Ga滴的方法，包括步骤，利用分子束外延系统在基底上沉积Ga，以获得一层致密的Ga滴，在所述分子束外延系统上原位引入脉冲激光，使脉冲激光辐照上述Ga滴，使Ga滴融合团聚形成大尺寸的Ga滴。本申请采用分子束外延系统，在较低的基底温度下直接在基底表面沉积一层致密的Ga滴，直接在高真空外延设备MBE系统上原位引入脉冲激光对致密的Ga滴进行照射，Ga滴在膨胀时与相邻的Ga滴互相融合，从而制备得到大尺寸的Ga滴，由于整个制备大尺寸Ga滴的过程基底温度始终可以处于低温，因此可有效避免Ga滴对基底材料的刻蚀作用。
分子束外延系统致密基底脉冲激光原位低温沉积制备脉冲激光辐照基底表面基底材料刻蚀作用外延设备融合高真空引入照射团聚膨胀申请

[发明专利]一种大面积高分辨率宽视场在线测量装置及其测量方法-CN201610921773.2有效
发明人：陈修国;陈军;张传维;刘世元 -专利权人：武汉颐光科技有限公司
申请日： 2016-10-21 - 公布日： 2018-10-30 - 主分类号： B82B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种面向纳米结构薄膜大面积、高分辨率、宽视场在线测量装置及测量方法。光源发出的光经过波长选择器变为单波长光束转化为椭圆偏振光束投射到待测纳米结构薄膜上。该薄膜反射光束经过成像单元和偏振态分析单元，进入面阵探测器，得到待测纳米结构薄膜的成像光谱椭偏测量数据。该数据和理论值匹配，提取得到对应像素点处待测纳米结构薄膜的参数值，所提取的参数值构成待测纳米结构薄膜的三维显微形貌。相应地，本发明还公开了一种测量方法。本发明可解决现有装置仪器焦深值很小、装置难以同时实现宽视场清晰成像与高横向分辨率测量问题，真正实现纳米结构薄膜的大面积高分辨率精确测量。
一种大面积高分辨率视场在线测量装置及其测量方法

[发明专利]用于定向自组装的共聚物配制品、其制造方法以及包含其的物件-CN201510938179.X有效
发明人： P·D·胡斯泰特;J·张;P·特雷福纳斯三世 -专利权人：罗门哈斯电子材料有限责任公司;陶氏环球技术有限责任公司
申请日： 2015-12-15 - 公布日： 2018-10-23 - 主分类号： B82B3/00 文献下载
摘要：本文公开一种图案形成方法，其包含提供不含刷状聚合物层的衬底；在所述衬底上安置一种组合物，所述组合物包含：包含第一聚合物和第二聚合物的嵌段共聚物；其中所述嵌段共聚物的所述第一聚合物和所述第二聚合物彼此不同；包含在安置在所述衬底上后与所述衬底形成一键或络合物或配位键的反应性官能部分的添加剂聚合物；以及溶剂；以及使所述组合物以促进所述添加剂聚合物与所述衬底的键合或络合或配位以及所述嵌段共聚物的所述第一聚合物与所述第二聚合物之间的结构域分离以形成由所述第一聚合物和所述第二聚合物形成的周期结构域的形态。
用于定向组装共聚物配制制造方法以及包含物件

[发明专利]一种贵金属纳米粒子间距可控的SERS衬底制备方法-CN201610929950.1有效
发明人：梁培;吴燕雄;黄杰;舒海波;徐碧洁;白阳;曹艳亭 -专利权人：中国计量大学
申请日： 2016-10-26 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： B82B3/00 文献下载
摘要：本发明公开一种贵金属纳米粒子间距可控的SERS衬底制备方法，主要步骤为：用稀释的盐酸清洗AAO模板，而后通过物理方法或者化学方法获得贵金属纳米粒子团簇，并填满整个AAO模板的孔。进一步将贵金属纳米粒子填满孔的AAO模板倒置于一块PMMA上，并进行热处理，使贵金属纳米粒子团簇侵入PMMA中。最后通过稀释的盐酸洗涤，去除AAO模板后，放入真空干燥箱干燥，得到贵金属纳米粒子规则排布的SERS衬底。该方法操作简单方便，SERS衬底上贵金属纳米粒子排布均匀规则，有利于进行拉曼光谱分析。
一种贵金属纳米粒子间距可控 sers 衬底制备方法

[发明专利]硅纳米线阵列的制备方法-CN201480052091.1有效
发明人：尹明汉;李世宁 -专利权人：光州科学技术院
申请日： 2014-07-14 - 公布日： 2018-10-16 - 主分类号： B82B3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种硅纳米线阵列的制备方法，包括以下步骤：使塑料粒子以均匀随机图案相互隔离地布置于硅基板上；在所述塑料粒子之间形成催化剂层；除去所述塑料粒子；垂直蚀刻与所述催化剂层接触的硅基板部位；及除去所述催化剂层。根据本发明，工艺简单，费用低，通过大面积工艺能够实现批量生产，在资源有限的地方也能够制备纳米线，可以独立控制纳米线的结构。
纳米阵列制备方法

[发明专利]一种纳米级硅藻壳颗粒单层阵列及其制备方法-CN201610998529.6有效
发明人：李风浪;李舒歆 -专利权人：东莞市联洲知识产权运营管理有限公司
申请日： 2016-11-14 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： B82B3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种纳米级硅藻壳颗粒单层大面积阵列及其制备方法，具体制备方法为：硅藻土通过聚焦高能密度脉冲激光束在氧气氛围中进行烧灼处理得到纳米级硅藻壳颗粒，然后将纳米级硅藻壳颗粒疏水整理后于空气‑水的表面形成密排的纳米级硅藻壳颗粒膜，用亲水改性的基片转移至自然固化的PDMS上，然后通过PDMS在正己烷中溶胀处理得到纳米级硅藻壳颗粒单层大面积阵列。本发明通过激光烧灼法对硅藻土实现快速高效的整理，使硅藻土的粒径规整，多孔结构纳米化多级化，再通过自组装和PDMS的易转移和溶胀特性，实现纳米级硅藻壳颗粒单层大面积阵列，具有高比表面积、高稳定性、高活性等优点，扩大了硅藻壳的应用领域。
一种纳米硅藻颗粒单层大面积阵列及其制备方法

[发明专利]一种SEM下纳米构件闭环操控方法及操作平台设计方案-CN201810258030.0在审
发明人：李东洁;王倩倩 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2018-03-27 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： B82B3/00 文献下载
摘要：一种SEM下纳米构件闭环操控方法及操作平台设计方案。SEM下纳米构件闭环操控方法及操作平台的研究将为纳尺度构件的稳定操作提供理论基础和实用方法，对促进我国NEMS、生物工程、光电工程、纳米科学等领域相关研究的进一步发展具有重要的理论和现实意义。项目所进行的工作属基础性研究，主要着重在机理、方法方面，为纳观尺度构件的实时、高效及三维可视化操作提供相关的理论、方法和控制策略，能从根本上促进纳米操作技术的发展和实用化，具有重要的理论意义和实用价值，为系统向生物工程、光电工程、信息存储等领域的产业化提供平台。
闭环操作平台操控光电工程生物工程尺度基础性研究三维可视化控制策略理论基础理论意义纳米操作稳定操作现实意义信息存储产业化研究