[发明专利]机械手系统中的传送装置和方法

说明书

本发明涉及机械手系统中的传送装置和传送方法，特别是涉及一种用于将堆叠于一料盒上的托盘拾起并将这些托盘沿水平及垂直方向传送的传送装置。

在电子工业中，总是不断地要求生产诸如集成电路或半导体晶片之类的成本低且尺寸小的电子装置。增加这种电子装置的产量，即减少其单位成本的方法之一是借助于同时测试许多这种装置而增加这些电子装置的测试速度。

为了测试这样的半导体装置，使用了一种机械手系统。当这些半导体装置在一用于测试半导体装置的机械手系统中进行测试时，一个装纳许多半导体装置的托盘被作为一个单元进行传送。此处，用户用于输入和输出该半导体装置的托盘称之为用户托盘，而用于机械手系统中的标准托盘称之为测试托盘。为了便于供给和输出这些被测试的半导体装置，该半导体装置需要从用户托盘传送到测试托盘或从测试托盘传送到用户托盘。

图1和2表示一种公开于美国专利NO.530711中的机械手系统。该文公开的机械手系统21包括一下箱22(图1中示出其局部)，一中部23及一上部24。该下箱22装纳有动力供给件，电连接装置及各电缆，它们控制主要是在该机械手系统21的中部23和上部24中发生的测试操作的功能及步骤。

一料盒输入区25位于该机械手系统21的中部23的左侧，而一料盒输出区26位于该机械手系统21的中部23的中前侧。每个料盒输入区25和输出区26都包括若干工作台27。每个工作台27装载料盒1，在该料盒1上堆叠许多用户托盘。欲被测试的半导体装置就设置于这些用户托盘上。

每个工作台27设有一个用于升/降该料盒1的升降机38，并用一电动机49驱动该升降机38。在该工作台27上方配装有许多用于将堆叠在料盒1上的托盘传送到一设定位置或者用于将含有已被测试并已根据测试结果分类过的半导体装置的托盘传送到一预定位置的传送头(未示出)，及用于驱动这些传送头的各传送臂40。

这些传送臂40在水平方向和垂直方向运动。这些传送臂40降到该工作台27处的料盒1的上侧面上，所以该传送头可以从堆叠于该料盒1上的各托盘中拾起最上面的托盘。然后该传送臂40上升，并沿水平方向移动将该拾起的托盘传送到一预定的地方。然后电动机49驱动该升降机38使该料盒1抬升，因此下一个堆叠于该料盒上的托盘上升到能被该传送头拾起的高度处。然后该传送头返回并下降，从而拾起已上升到拾起位置的下一个托盘。

然而，这种常规的机械手系统存在问题是：由于传送头的上下位置是固定的，因此每个托盘已被拾起后，料盒1必须抬升以致该传送头可拾起随后的托盘。因此，常规的机械手系统必须具有一个用于抬升该料盒1的升降机38及用于驱动该升降机38的电动机，所以该机械手系统的结构变得复杂并且其制造成本增加。

为了克服现有技术中的上述问题提出了本发明，因此本发明的目的是提供一种用在一机械手系统中的传送装置，该装置可改变用于拾起一个堆叠于一料盒上的托盘的传送头的上下位置，因而可简化该机械手系统的结构。

为了实现上述目的，本发明提供一种用于传送堆叠于一机械手系统的料盒上的托盘的传送装置。该传送装置包括：一个用于拾起一托盘的传送头；一个用于沿水平方向传送该传送头的第一装置；和一个用于沿垂直方向传送该传送头的第二装置，所述第二传送装置可改变该传送头的垂直行程。

本发明也涉及一种托盘的传送方法。

从以下结合附图的说明中可更好地理解本发明，并且本发明的其它各种目的及优点也可更全面地得到理解。其中

图1是一种用于测试半导体装置的常规机械手系统的透视图；

图2是图1的前视图；

图3是本发明的传送装置的透视图；

图4是图3的侧视图。

下面将参照附图详细说明本发明。

图3是本发明的传送装置的透视图，而图4是图3的侧视图。该传送装置包括一对传送头12，每个传送头用于拾起一个堆叠于一料盒1a上的托盘20；一个用于使该传送头12沿水平方向运动的第一传送件；和一个用于使该传送12沿垂直方向运动的第二传送件。

该第一传送件包括一传送支架3，导轨5，一第一传送轴4及一第一电机8。该传送头12装在该传送支架3上。该导轨5水平地设置于一箱体2上，并且给该传送支架3的运动水平导向。该第一传送轴4与该导轨5平行设置，并由一螺丝与该传送支架3相连。该第一电机8由一托架7固定于该箱体2上。该第一电机8是一个可控电机，例如直流伺服电机或步进电机。该第一电机8安装有一电机皮带轮10，而该第一传送轴4安装有一第一皮带轮6。该电机皮带轮10和该第一皮带轮6由一正时皮带11相互连接。