[发明专利]具有低金属离子含量的表面活性剂和由其产生的显影剂的生产方法无效

专利信息
申请号: 96197057.X 申请日: 1996-09-25
公开(公告)号: CN1096628C 公开(公告)日: 2002-12-18
发明(设计)人: M·D·拉曼;D·P·奥宾 申请(专利权)人: 克拉里安特国际有限公司
主分类号: G03F7/32 分类号: G03F7/32
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 王杰
地址: 瑞士*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 具有 金属 离子 含量 表面活性剂 产生 显影剂 生产 方法
【权利要求书】:

1.一种生产含有金属离子含量非常低的月桂基硫酸铵表面活性剂的显影剂的方法,它包括:

a)用去离子水洗涤一种酸性离子交换树脂,接着用一种无机酸溶液洗涤,因此将离子交换树脂中的钠和铁离子含量各减少到小于200ppb;

b)制备该表面活性剂在去离子溶剂中的1-40重量%的溶液;

c)让该表面活性剂溶液通过该离子交换树脂,因此将该表面活性剂溶液中的全部钠和铁离子含量减少到各不大于1,000ppb;

d)将氢氧化铵加入去离子溶液中以便将pH值调至7~8;

e)通过加入下列物质的混合物配制一种含有该表面活性剂的显影剂组合物:

(1)处在一种合适的去离子溶剂中经过离子交树脂处理的表面活性剂溶液;和

(2)一种合适的无金属离子的显影剂。

2.根据权利要求1所述的方法,其中用一种与用于有待被酸性离子交换树脂处理的组分或组分混合物的溶剂相容的溶剂处理酸性离子交换树脂。

3.根据权利要求2所述的方法,其中用足够新的溶剂处理酸性离子交换树脂,以基本上除去其他的溶剂,并用该新溶剂使酸性离子交换树脂饱和。

4.根据权利要求1所述的方法,其中去离子溶剂选自水、乙醇和水/乙醇混合物。

5.根据权利要求1所述的方法,其中显影剂是一种氢氧化铵。

6.根据权利要求5所述的方法,其中显影剂是氢氧化四甲铵。

7.根据权利要求1所述的方法,其中显影剂组合物的钠离子和铁离子含量各低于200ppb。

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