[其他]离子镀膜用高压单脉冲引弧装置

说明书

本发明属于电气装置。本发明提出的高压单脉冲引弧装置是用于引燃离子镀膜机阳极与阴极之间的电弧。

在目前已有的利用电弧放电原理的离子镀膜机中，国内外一般是采用直流高压引弧方法来引燃离子镀膜机阴阳极之间的直流电弧。有少数的离子镀膜机是采用高频引弧方法（如日本专利52053778），或者是高频引弧与直流高压引弧并用的方法（如中国电工技术学会电子束离子束技术专业委员会第二届学术交流会论文集“35KW‘HCD’型镀膜机”）。采用直流高压引弧方法或高频引弧方法的离子镀膜机，除需要一台主弧电源作为工作电源外，还需要单独采用一台直流高压电源或者高频电源作为引弧电源。高频引弧与直流高压引弧并用的离子镀膜机甚至还需要采用两台引弧电源（一台高频引弧电源和一台直流高压引弧电源）。从而增大了离子镀膜机的体积和制作成本，并且使机器的使用操作也比较复杂。

本发明的目的是要克服现有离子镀膜机引弧装置的缺点，直接利用主弧电源产生高压单脉冲，以实现离子镀膜机的引弧。

本实用新型提出的高压单脉冲引弧装置，是采用一个附加在离子镀膜机主弧电源的输出端的、并由主弧电源进行供电的高压单脉冲引弧电路，它可以是利用电容放电或者电容充电的原理产生高压单脉冲，其输出端可以与主弧电源的输出端相互串联或者相互关联，而加到离子镀膜机的阳极与阴极之间。因此，本实用新型提出的高压单脉冲引弧装置所采用的引弧电路可包括放电——串联式、放电——并联式、充电——串联式    以及充电——并联式    四种。

附图说明

图1为放电——串联式高压单脉冲引弧电路的一种具体电路示例。

图2为放电——并联式高压单脉冲引弧电路的一种具体电路示例。

图3为充电——串联式高压单脉冲引弧电路的一种具体电路示例。

图4为充电——并联式高压单脉冲引弧电路的一种具体电路示例。

下面将结合附图的具体电路示例进一步说明本发明的内容。

如图1所示，放电——串联式高压单脉冲引弧电路是利用电容放电的原理产生高压单脉冲，引弧电路的输出端是与主弧电源的输出端相互串联。在引弧电路中有一个由电容〔3〕和脉冲变压器〔6〕的初级线圈〔7〕并联的迴路，由主弧电源〔1〕先对电容〔3〕进行充电，然后再由电容〔3〕对脉冲变压器〔6〕的初级线圈〔7〕进行放电，利用电容放电电流流经脉冲变压器〔6〕的初级线圈〔7〕，而在脉冲变压器〔6〕的次级线圈〔8〕上感应出高压单脉冲，并输送到引弧电路的输出端。引弧电路的输出端是与主弧电源〔1〕的输出端相互串联，由引弧电路的输出端输出的高压单脉冲是与主弧电源〔1〕的空载输出电压串联迭加后，而加到离子镀膜机的阳极〔18〕与阴极〔19〕上。

如图2所示，放电——并联式高压单脉冲引弧电路是利用电容放电的原理产生高压单脉冲，引弧电路的输出端是与主弧电源的输出端相互并联。在引弧电路中有一个由电容〔3〕和脉冲变压器〔6〕的初级线圈〔7〕并联的迴路，由主弧电源〔1〕先对电容〔3〕进行充电，然后再由电容〔3〕对脉冲变压器〔6〕的初级线圈〔7〕进行放电，利用电容放电电流流经脉冲变压器〔6〕的初级线圈〔7〕，而在脉冲变压器〔6〕的初级线圈〔8〕上感应出高压单脉冲，并输送到引弧电路的输出端。引弧电路的输出端是通过隔离二极管〔17〕而与主弧电源〔1〕的输出端相互并联。由引弧电路的输出端输出的高压单脉冲是与主弧电源〔1〕的空载输出电压并联加到离子镀膜机的阳极〔18〕与阴极〔19〕上。接在主弧电源〔1〕输出端的隔离二极管〔17〕，起着使主弧电源〔1〕能隔离由引弧电路所产生的高压单脉冲的作用。

如图3所示，充电——串联式高压单脉冲引弧电路是利用电容放电的原理产生高压单脉冲，引弧电路的输出端是与主弧电源的输出端相互串联。在引弧电路中有一个由电容〔3〕和脉冲变压器〔6〕的初级线圈〔7〕串联的迴路，由主弧电源〔1〕对电容〔3〕进行充电，利用电容充电电流流经脉冲变压器〔6〕的初级线圈〔7〕，而在脉冲变压器〔6〕的次级线圈〔8〕上感应出高压单脉冲，并输送到引弧电路的输出端。引弧电路的输出端是与主弧电源〔1〕的输出端相互串联，由引弧电路的输出端输出的高压单脉冲是与主弧电源〔1〕的空载输出电压串联迭加后，而加到离子镀膜机的阳极〔18〕与阴极〔19〕上。