[其他]材料的沉积

权利要求书

1、一种用于材料沉积的盒式载体，其特征包括；

多个侧壁，它含有一个隔离的区间，

多个端壁，它与所述的侧壁相联结，

一个衬底，它位于所述的载体中，靠在一个上述的侧壁上，

一种装置，它用于将气体混合物引入到上述的区间，以允许来源于气体混合物的沉积物沉积到上述的衬底上。

一种装置，它用于从所述的区间中排出所述的气体混合物。

2、按照权利要求1的载体，其特征在于，所述的区间包含有垂直设置的电极，所述的侧壁相对于所述电极形成一个等电位外壳。

3、按照权利要求1的载体，其特征在于，所述的侧壁是平整的和平行的，每个侧壁旁设置了一个衬底，以接受来源于上述气体混合物的沉积。

4、按照权利要求2的载体，其特征在于，所述的电极有两个相对的平整的表面，该表面与上述的侧壁平行，侧壁上靠有衬底，以用于接受来源于上述气体混合物的沉积。

5、按照权利要求1的载体，其特征在于，上述的气体混合物至少含有一种硅烷和/或锗烷，并且，上述的沉积物是非晶硅和/或非晶锗。

6、按照权利要求1的载体，其特点在于，上述的容器是具有相对平行侧面的四面体。

7、按照权利要求2的载体，其特征在于，上述电极起着二等分上述载体的作用。

8、按照权利要求7的载体，其特征在于，被等分的载体具有上述气体混合物的独立的进口和出口。

9、按照权利要求1的载体，该载体是活动的，以便可以逐次通过不同的容器。

10、在衬底上沉积材料的方法，其特点包括步骤（a）提供一种盒式载体，它至少包含一个上述的衬底;以及（b）将上述载体移动到多个连续位置上，在那里，指定的气体混合物引入到上述的容器中。

11、根据权利要求10的方法，还包括在上述载体中提供一个电极，以及在选定的一个上述位置上对所述电极供电。

12、根据权利要求10的方法，还包括在选定的一个上述位置上对所述载体预热。

13、根据权利要求10的方法，还包括在选定的一个上述位置上对所述载体的冷却。

14、根据权利要求10的方法，其特点在于，提供了多个活动载体，它们被处于其间的气帘相互隔离;由于在上述的不同位置上引入的气体混合物是不同的，所以气帘限制了上述载体中衬底的交叉污染。

15、根据权利要求10的方法，其特点在于，提供了多个活动载体，它们之间是用处于其间的阀门联锁相互隔离的;由于上述各不同位置所引入的气体混合物是不同的，所以阀门联锁限制了上述载体中衬底的交叉污染。

16、根据权利要求15的方法，还包括一个位于相邻接的阀门联锁之间的冲洗区段。

17、根据权利要求14的方法，还包括一个位于上述各位置之间的冲洗区段。

18、根据权利要求17的方法，还包括一个位于上述位置之间的隔板。

19、根据权利要求18的方法，还包括与上述隔板相搭接的弹性密封装置。

20、根据权利要求19的方法，其特征在于，上述弹性密封装置是安装在上述的载体上。