[其他]自动传送片机构

权利要求书

1.一种半导体工艺设备中包括机械叉、升降顶片杆、片盒、机械传送杆和控温工作平台的传送片机构，其特征在于有一个由传动装置带动的传送杆与机械叉连成一体的可自动直接传送片的传送杆机械手〔2〕和一个其上面有多个由升降顶片杆〔14〕顶起或降下的载片座〔15〕的可转光控定位控温工作平台〔10〕。

2.按权利要求1.所述的传送片机构，其特征在于传送机械手前部的机械叉上有放置片子的定位点〔12〕。

3.按权利要求1.所述的传送片机构，其特征在于工作平台上的载片座在升降杆落下时载片座〔15〕平面与平台〔10〕平面在同一平面上。

4.按权利要求1、2、3所述的传送片机构，其特征在于有控制传送杆机械手〔2〕片盒升降架〔5〕、可转光控定位控温工作平台〔10〕以及升降顶片部分的微机。