[实用新型]一种高效的UV膜紫外线解胶装置

说明书

本实用新型公开了一种高效的UV膜紫外线解胶装置，包括：解胶机构；上料机构，所述上料机构固定连接于解胶机构的顶部；安装机构，所述安装机构固定连接于上料机构的顶部，所述安装机构包括固定板，所述固定板的顶部分别固定连接有支撑架和第一气缸，所述支撑架的表面固定连接有限位件，所述第一气缸的活塞杆固定连接有夹具，所述固定板的底部固定连接有第二气缸。本实用具备高效的优点，解决了现有的UV膜紫外线解胶装置在使用的过程中，不便于对需要解胶的晶圆片进行夹持固定，容易导致晶圆片在移动的过程中不稳定，不便于顶出解胶后的晶圆片，影响工作人员快速取出晶圆片，降低了解胶装置工作效率的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体芯片生产技术领域，具体为一种高效的UV膜紫外线解胶装置。

背景技术

UV解胶机是一种UV膜和切割膜胶带粘性降低和粘性解除的全自动化解胶设备。在半导体芯片生产工艺中，芯片划片之前，要将晶圆片用划片胶膜固定在框架上，在划片工艺完成后，用UV光对固定胶膜进行照射使UV胶膜粘性固化硬化，以降低划片固定膜的粘性，以便后续封装工序的顺利生产。UV胶带具有很强的粘合强度，在晶片研磨工艺或晶片切割工艺期间，胶带牢固地粘住晶片。当紫外线照射时，粘合强度变低。因此，在紫外线照射后晶圆或芯片很容易从粘胶带上面剥离脱落，UV解胶机解决了晶圆、玻璃和陶瓷切割工艺的解胶工序UV解胶机目前不仅局限于半导体封装行业，还适用于光学镜头、LED、IC、半导体、集成电路板、移动硬盘等半导体材料，玻璃滤光片等UV膜脱胶，UV胶带脱胶。

专利号为CN 213519893 U的一种UV膜解胶装置，通过增加晶圆片与放置板之间的缝隙，来方便工作人员拿出解胶后的晶圆片，增加解胶的效率，但是通过缝隙拿出晶圆片容易导致其受损。

现有的UV膜紫外线解胶装置在使用的过程中，不便于对需要解胶的晶圆片进行夹持固定，容易导致晶圆片在移动的过程中不稳定，不便于顶出解胶后的晶圆片，影响工作人员快速取出晶圆片，降低了解胶装置的工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高效的UV膜紫外线解胶装置，具备高效的优点，解决了现有的UV膜紫外线解胶装置在使用的过程中，不便于对需要解胶的晶圆片进行夹持固定，容易导致晶圆片在移动的过程中不稳定，不便于顶出解胶后的晶圆片，影响工作人员快速取出晶圆片，降低了解胶装置工作效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高效的UV膜紫外线解胶装置，包括：

解胶机构；

上料机构，所述上料机构固定连接于解胶机构的顶部；

安装机构，所述安装机构固定连接于上料机构的顶部，所述安装机构包括固定板，所述固定板的顶部分别固定连接有支撑架和第一气缸，所述支撑架的表面固定连接有限位件，所述第一气缸的活塞杆固定连接有夹具，所述固定板的底部固定连接有第二气缸，所述第二气缸的顶部延伸至固定板的顶部并固定连接有推板。

为了便于进行解胶，作为本实用新型的一种高效的UV膜紫外线解胶装置优选的，所述解胶机构包括底座，所述底座的顶部固定连接有壳体，所述壳体的顶部固定连接有控制器，所述壳体内腔的顶部固定连接有紫外线灯。

为了便于观察工作情况，作为本实用新型的一种高效的UV膜紫外线解胶装置优选的，所述壳体正面的顶部开设有观察窗，所述壳体正面的底部设置有指示灯。

为了便于带动安装机构移动，作为本实用新型的一种高效的UV膜紫外线解胶装置优选的，所述上料机构包括板体，所述板体的顶部固定连接有滑轨和固定架，所述滑轨的顶部滑动连接有移动件。

为了便于带动安装机构移动，作为本实用新型的一种高效的UV膜紫外线解胶装置优选的，所述固定架的底部固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有齿轮，所述齿轮的表面啮合有齿条，所述齿条的后侧与移动件的正面固定连接。