[实用新型]一种寻边器

权利要求书

1.一种寻边器，其特征在于：包括机台(1)、托盘(2)、移动机构、识别机构(3)以及控制器(4)，所述移动机构安装于所述机台(1)上，所述托盘(2)安装于所述移动机构上，所述识别机构(3)架设于所述机台(1)上并位于所述托盘(2)的正上方，所述托盘(2)用于放置晶圆，所述识别机构(3)用于识别所述托盘(2)上的晶圆是否位于正确位置，所述移动机构用于调节所述托盘(2)的位置以调节晶圆的位置，所述移动机构以及所述识别机构(3)均与所述控制器(4)电连接。

2.根据权利要求1所述的一种寻边器，其特征在于：所述移动机构包括Y轴移动组件、第一连接板(5)、X轴移动组件以及第二连接板(6)，所述Y轴移动组件安装于所述机台(1)上，所述第一连接板(5)安装于所述Y轴移动组件上，所述Y轴移动组件用于带动所述第一连接板(5)在Y轴方向上移动，所述X轴移动组件安装于所述第一连接板(5)上，所述第二连接板(6)安装于所述X轴移动组件上，所述托盘(2)安装于所述第二连接板(6)上，所述X轴移动组件用于带动所述第二连接板(6)以带动所述托盘(2)在X轴方向上移动。

3.根据权利要求2所述的一种寻边器，其特征在于：所述Y轴移动组件包括第一导轨(7)、第一滑块(8)以及第一直线电机(9)，所述第一导轨(7)安装于所述机台(1)上，所述第一滑块(8)滑移安装于所述第一导轨(7)上，所述第一导轨(7)的长度方向位于Y方向上，所述第一滑块(8)与所述第一连接板(5)固定连接，所述第一直线电机(9)安装于所述机台(1)上，并且所述第一直线电机(9)与所述第一连接板(5)相连接，所述第一直线电机(9)与所述控制器(4)电连接，所述第一直线电机(9)用于驱动所述第一连接板(5)在Y方向上移动。

4.根据权利要求3所述的一种寻边器，其特征在于：所述X轴移动组件包括第二导轨(10)、第二滑块(11)以及第二直线电机(12)，所述第二导轨(10)安装于所述第一连接板(5)上，所述第二滑块(11)滑移安装于所述第二导轨(10)上，所述第二导轨(10)的长度方向位于X方向上，所述第二滑块(11)与所述第二连接板(6)固定连接，所述第二直线电机(12)安装于所述第一连接板(5)上，并且所述第二直线电机(12)与所述第二连接板(6)相连接，所述第二直线电机(12)用于驱动所述第二连接板(6)在X方向上移动。

5.根据权利要求1所述的一种寻边器，其特征在于：所述识别机构(3)包括摄像头，所述摄像头架设于所述机台(1)上，所述摄像头位于所述托盘(2)的正上方，并且所述摄像头朝向所述托盘(2)，所述摄像头与所述控制器(4)电连接，所述摄像头用于拍摄所述托盘(2)上晶圆的位置。

6.根据权利要求2所述的一种寻边器，其特征在于：所述托盘(2)与所述第二连接板(6)之间设置有旋转组件，所述旋转组件用于带动所述托盘(2)转动。

7.根据权利要求6所述的一种寻边器，其特征在于：所述旋转组件包括旋转电机(19)，所述旋转电机(19)安装于所述第二连接板(6)上，所述旋转电机(19)的输出轴与所述托盘(2)同轴固定连接，并且所述旋转电机(19)与所述控制器(4)电连接，所述旋转电机(19)的输出轴用于带动所述托盘(2)转动。

8.根据权利要求3所述的一种寻边器，其特征在于：所述机台(1)上固定设置有第一防撞固定座(15)，所述第一连接板(5)的底部固定设置有第一防撞块(16)，所述第一防撞固定座(15)位于所述第一导轨(7)的端部旁，所述第一防撞块(16)用于与所述第一防撞固定座(15)碰撞。