[实用新型]一种搬运用末端执行器

权利要求书

1.一种搬运用末端执行器，其特征在于：包括：

基板(1)，其中一侧面与外部机械臂相连接；

夹板(2)，设置有两个，两个所述夹板(2)滑动连接在所述基板(1)远离外部机械臂的一侧，两个所述夹板(2)在靠近的一侧设置有弧形缺口(21)，两个所述弧形缺口(21)用于卡接晶圆；

滑动机构(3)，设置在所述基板(1)上，所述滑动机构(3)与所述夹板(2)相连接，所述滑动机构(3)用于使两个所述夹板(2)相互靠近或远离。

2.根据权利要求1所述的一种搬运用末端执行器，其特征在于：所述基板(1)远离外部机械臂的一侧面设置有T形槽(11)；所述滑动机构(3)包括滑动件(31)以及锁止件(32)，所述滑动件(31)包括滑动块(311)以及滑动弹簧(312)，所述滑动块(311)滑动连接在所述T形槽(11)中，所述滑动块(311)其中一端会从所述T形槽(11)中穿出，所述滑动块(311)设置有两个，两个所述滑动块(311)穿出所述T形槽(11)的一侧分别与两个所述夹板(2)相连接，所述滑动弹簧(312)设置在所述T形槽(11)中，所述滑动弹簧(312)设置有两个，其中一个所述滑动弹簧(312)的一端与所述T形槽(11)的一侧壁相连接，另一端与所述其中一个滑动块(311)相连接，另一个所述滑动弹簧(312)的一端与所述T形槽(11)相对的一侧壁相连接，另一端与所述另一个滑动块(311)相连接；所述锁止件(32)用于使两个所述滑动块(311)保持在所述T形槽(11)的预定位置上。

3.根据权利要求2所述的一种搬运用末端执行器，其特征在于：所述锁止件(32)包括锁止板(321)以及锁止气缸(322)，所述锁止板(321)滑动连接在所述T形槽(11)中，所述锁止板(321)用于与两个所述滑动块(311)相抵接；所述锁止气缸(322)设置在所述T形槽(11)的其中一侧壁上，所述锁止气缸(322)的活塞杆与所述锁止板(321)相连接以使所述锁止板(321)向着靠近或远离所述滑动块(311)的方向运动。

4.根据权利要求3所述的一种搬运用末端执行器，其特征在于：所述T形槽(11)在远离所述锁止板(321)的一侧面设置有腰形孔(4)；所述滑动块(311)上设置有滑杆(5)，所述滑杆(5)能从所述腰形孔(4)中伸出所述T形槽(11)。

5.根据权利要求4所述的一种搬运用末端执行器，其特征在于：所述腰形孔(4)远离所述T形槽(11)的一侧孔口边缘处设置有刻度。

6.根据权利要求1所述的一种搬运用末端执行器，其特征在于：所述弧形缺口(21)的内侧设置有多个气孔(22)，所述气孔(22)与外部气泵相连通。

7.根据权利要求6所述的一种搬运用末端执行器，其特征在于：所述气孔(22)均匀分布设置在所述弧形缺口(21)处。

8.根据权利要求2所述的一种搬运用末端执行器，其特征在于：所述弧形缺口(21)远离所述滑动块(311)的一侧设置有弹性垫(23)。