[实用新型]贴膜装置有效

专利信息
申请号: 202320179427.7 申请日: 2023-02-10
公开(公告)号: CN219418967U 公开(公告)日: 2023-07-25
发明(设计)人: 秦乐 申请(专利权)人: 南通通富科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理有限公司 11435 代理人: 郭栋梁
地址: 226017 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 装置
【权利要求书】:

1.一种贴膜装置,其特征在于,包括:

贴膜平台(10),所述贴膜平台(10)用于放置待贴膜圆片;

送膜组件(20),所述送膜组件(20)位于所述贴膜平台(10)的水平方向的一侧,用于提供膜原料(21);

出膜组件(30),所述出膜组件(30)位于所述贴膜平台(10)的相对所述送膜组件(20)的一侧,用于收集膜废料(31);

贴膜组件,所述贴膜组件位于所述贴膜平台(10)上方,用于将膜原料(21)贴附于所述待贴膜圆片的表面;

监测组件(50),所述监测组件(50)靠近所述膜原料(21)或所述膜废料(31)的边缘设置,用于监测所述膜原料(21)或所述膜废料(31)是否超出最大偏移距离。

2.根据权利要求1所述的贴膜装置,其特征在于,所述监测组件(50)包括:

光电传感器(51),所述光电传感器(51)设置在垂直于所述膜原料(21)或所述膜废料(31)所在平面的一侧,且位于所述膜原料(21)或所述膜废料(31)的最大偏移距离处,用于发射光线和接收光线;

反光件(52),所述反光件(52)设置在所述膜原料(21)或所述膜废料(31)的相对所述光电传感器(51)的另一侧,用于反射所述光电传感器(51)发射的光线;

所述光电传感器(51)用于根据接收到的所述反光件(52)发射的光线判断所述膜原料(21)或所述膜废料(31)是否超出最大偏移距离。

3.根据权利要求2所述的贴膜装置,其特征在于,所述光电传感器(51)设置在所述出膜组件(30)上,且位于所述膜废料(31)的上侧;所述反光件(52)设置在所述出膜组件(30)上,且位于所述膜废料(31)的下侧。

4.根据权利要求1所述的贴膜装置,其特征在于,所述膜原料(21)或所述膜废料(31)的最大偏移距离为3mm。

5.根据权利要求1所述的贴膜装置,其特征在于,所述贴膜组件包括贴膜滚轴(40),所述贴膜滚轴(40)沿垂直于所述膜原料(21)的传输方向设置,且具有压膜位置和空闲位置。

6.根据权利要求5所述的贴膜装置,其特征在于,所述贴膜滚轴(40)沿竖直方向与所述贴膜平台(10)活动连接,以实现所述压膜位置和所述空闲位置的切换。

7.根据权利要求1所述的贴膜装置,其特征在于,还包括裁切组件,所述裁切组件位于所述贴膜平台(10)上方,用于将所述膜原料(21)裁切为与所述待贴膜圆片尺寸相同的圆片膜以及所述膜废料(31)。

8.根据权利要求7所述的贴膜装置,其特征在于,所述裁切组件包括裁切刀(60),所述裁切刀(60)沿所述待贴膜圆片的边缘与所述贴膜平台(10)转动连接,以对所述膜原料(21)进行裁切。

9.根据权利要求1所述的贴膜装置,其特征在于,所述贴膜平台(10)包括:

支撑盘(11),所述支撑盘(11)用于支撑所述待贴膜圆片;

吸附组件,所述吸附组件与所述支撑盘(11)连接,用于将所述待贴膜圆片吸附在所述支撑盘(11)上。

10.根据权利要求1所述的贴膜装置,其特征在于,所述送膜组件(20)包括送膜滚轴(22),所述送膜滚轴(22)用于卷绕所述膜原料(21);所述出膜组件(30)包括出膜滚轴(32),所述出膜滚轴(32)用于卷绕所述膜废料(31)。

11.根据权利要求1所述的贴膜装置,其特征在于,还包括报警器,当所述监测组件(50)监测到所述膜原料(21)或所述膜废料(31)超出所述最大偏移距离时,所述报警器示警。

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