[实用新型]一种用于离子源零部件的抓取机构

说明书

本申请涉及自动化加工的领域，公开了一种用于离子源零部件的抓取机构，其安装于机械手臂上，包括有用于和机械手臂相连接的安装座以及设置于安装座上的第一抓取端和第二抓取端。第一抓取端用于抓取板状零部件，第二抓取端用于抓取棒状零部件。本申请通过在一个抓取机构上设置第一抓取端和第二抓取端，既能够抓取板状零部件又能抓取棒状零部件，避免了在加工线上设置两台抓取机构，出现两台抓取机构在加工过程中互相干涉的情况，且实现了自动化抓取离子源的零部件，降低了工人的劳动强度，且提高离子源零部件的装夹速度，以提高离子源零部件的加工效率。

技术领域

本申请涉及自动化加工的领域，尤其是涉及一种用于离子源零部件的抓取机构。

背景技术

离子注入机是生产半导体晶圆芯片的最主要设备之一。一台离子注入机是多个极为复杂精密的分系统的集成，其中离子源是极其重要的分系统，而离子源离化电弧腔室是离子源的核心组件，离子源离化电弧腔室50％的零部件是由金属钨的精密加工件构成，30％零部件是由金属钼和钼合金（TZM）的精密加工件构成，5%零部件是由金属钽的精密加工件构成。

构成离子源离化电弧腔室的零部件主要是棒状或板状。棒状或板状的零部件加工的工艺流程为磨光-穿丝孔-割内孔/割外形-磨外形。零部件在加工过程中需要被转运至各个不同的机构上重复进行上料-定位-下料，传统的离子源离化电弧钨腔室零部件加工时是由工人将棒状或板状的零部件安装在不同的机构上，对零部件进行定位，当零部件在一个机构上加工结束后，再将零部件取下安装在下一个机构上。工人抓取零部件，安装工件，不仅工人劳动强度大而且工人安装工件时速度也慢以至零部件加工效率也低。

实用新型内容

为了提高离子源零部件的加工效率，本申请提供一种用于离子源零部件的抓取机构。

本申请提供的一种用于离子源零部件的抓取机构，采用如下的技术方案：

一种用于离子源零部件的抓取机构，安装于机械手臂上，包括有用于和机械手臂相连接的安装座以及设置于所述安装座上的第一抓取端和第二抓取端；

所述第一抓取端包括有与所述安装座相连接的第一驱动件以及相对设置于所述第一驱动件上的第一抓取块和第二抓取块，所述第一驱动件同时驱动所述第一抓取块和所述第二抓取块朝向或远离对方运动，所述第一抓取块和所述第二抓取块用于抓取板状零部件；

所述第二抓取端包括有第二驱动件、第一夹紧块、第二夹紧块和第三夹紧块，所述第二驱动件为圆柱状，所述第二驱动件的一端与所述安装座相连接，所述第一夹紧块、所述第二夹紧块和所述第三夹紧块沿所述第二驱动件的周向均布设置于所述第二驱动件远离所述安装座的一端的端面上，且所述第二驱动件同时驱动所述第一夹紧块、所述第二夹紧块和所述第三夹紧块沿所述第二驱动件的径向朝向或远离所述第二驱动件的端面的中心运动，所述第一夹紧块、所述第二夹紧块和所述第三夹紧块围合形成有夹紧空间，所述夹紧空间用于容纳棒状零部件。

通过采用上述技术方案，在加工离子源零部件时，将抓取机构安装于机器手臂上，机械手臂能够驱动抓取机构于不同的机构之间往复运动。在抓取板状零部件时，第一驱动件驱动第一抓取块和第二抓取块同时朝向对方运动，板状零部件的相对的两侧面分别与第一抓取块相对于第二抓取块的面和第二抓取块相对于第一抓取块的面贴合。在放置板状零部件时，机械手臂能够驱动抓取机构到达加工位，第一驱动件驱动第一抓取块和第二抓取块同时远离对方运动，板状零部件被放置加工位。

在抓取棒状零部件时，棒状零部件进入夹紧空间，第二驱动件驱动第一夹紧块、第二夹紧块和第三夹紧块沿第二驱动件的径向朝向第二驱动件的端面的中心运动，第一夹紧块、第二夹紧块和第三夹紧块均与棒状零部件的周面抵接，以夹紧棒状零部件。在放置棒状零部件时，机械手臂能够驱动抓取机构到达加工位，第二驱动件驱动第一夹紧块、第二夹紧块和第三夹紧块同时沿第二驱动件的径向远离第二驱动件的端面的中心运动，棒状零部件被放置在加工位。