[实用新型]用于提高芯片测试效率的机械臂

说明书

本实用新型涉及一种用于提高芯片测试效率的机械臂，包括基座和抓取座，基座上设有多个安装工位，安装工位设有卡接凸起，抓取座两侧设有凸缘，凸缘设有贯穿凸缘的卡孔，抓取座底部设有向下延伸的延伸部，延伸部内设有气道，气道向上延伸并在抓取座背向延伸部的一端形成连接端，连接端设有吸盘，基座位于朝向延伸部的一侧设有安装槽，基座位于背向安装槽的一侧设有气孔，气孔与安装槽连通。本实用新型具有以下优点和效果：通过在安装工位中对称设置卡接凸起，以及在抓取座两侧设置带有卡孔的凸缘，使得将卡接凸起插入卡孔，便能实现抓取座的快速连接，从而使得吸盘的拆装更加方便，通过节省吸盘的拆装时间，能够提高整体对芯片的测试效率。

技术领域

本实用新型涉及芯片测试技术领域，具体涉及一种用于提高芯片测试效率的机械臂。

背景技术

芯片是半导体元件产品的统称,又称微电路、微芯片、集成电路。是指内含集成电路的硅片,体积很小,常常是计算机或其他电子设备的一部分。由于芯片生产需经过几百步的工艺，任何一步的错误都可能导致器件失效，因此芯片在出厂前需要通过芯片分选机对其各项性能进行检测，在检测时，一般通过机械手将芯片抓取后放入到测试座中，并通过相应的光学测试模块实现对芯片的检测，而现有的机械手一般通过吸盘进行抓取，相较于机械爪能够更加适用于不同大小、外形的芯片。

例如，公告号为CN210704803U的中国专利文件，公开了一种半导体芯片测试用机械手，包括上部固定座，所述上部固定座直接固定在机械臂上，所述上部固定座设置有若干组，每个上部固定座下面均配合设置有独立的纵向轨道，相邻的纵向轨道之间配合设置有横向轨道，所述横向轨道的下面配合设置有机械手组件，所述机械手组件包括机械手滑动座，配合机械手滑动座设置的机械手控制座，设置在机械手控制座底部的机械抓手，设置在机械抓手底部的吸盘组件。

由上述公开的内容可知，在上述技术方案中，能够在芯片测试过程中根据检测芯片与测试底座的位置关系，调节控制好距离并保持平衡，降低测试过程中发生的质量风险和良率损失，提高工作效率，然而在实际使用的过程中，为了能够对多个芯片同时进行检测，以进一步提高对芯片的检测效率，会通过排列多个测试座，由机械臂将多个芯片同时放入到各个测试座，为了确保机械臂能够同时将多个芯片放入到各个测试座，需要确保机械手上的吸盘数量与测试座的数量相适配，而在上述技术方案中，吸盘固定在抓手的端部，而抓手又与中间固定板固定连接，从而导致吸盘的拆装十分不便，使得吸盘的更换效率低下，影响对芯片整体的测试效率。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种用于提高芯片测试效率的机械臂，能够便于对吸盘的拆装，以提高对芯片整体的测试效率。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种用于提高芯片测试效率的机械臂，包括与机械臂连接的基座和与基座连接的抓取座，所述基座上设有多个且彼此间隔设置的安装工位，所述安装工位用于安装抓取座，所述安装工位对称设有卡接凸起，所述抓取座两侧设有凸出的凸缘，所述凸缘设有贯穿凸缘的卡孔，所述卡接凸起可卡入卡孔，并构成两者之间的卡接配合，所述抓取座底部设有向下延伸的延伸部，所述延伸部内设有气道，所述气道向上延伸并在抓取座背向延伸部的一端形成连接端，所述连接端设有吸盘，所述基座位于朝向延伸部的一侧设有安装槽，所述延伸部可卡入安装槽，并构成两者之间的卡接配合，所述基座位于背向安装槽的一侧设有气孔，所述气孔与安装槽连通。

本实用新型进一步设置为：所述安装槽内设有环绕延伸部的镶嵌槽，所述镶嵌槽内设有密封圈，当延伸部卡入安装槽时，所述密封圈顶压于延伸部，并构成两者之间的密封配合。

本实用新型进一步设置为：所述气孔连接有电磁阀。

本实用新型进一步设置为：所述卡接凸起外周设有向外凸出的定位部，所述定位部用于承接抓取座。

本实用新型进一步设置为：所述卡接凸起顶端沿朝向基座的方向高度依次降低，形成倾斜的导向侧壁。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：