[发明专利]气压膜压接装置在审

专利信息
申请号: 202310885939.X 申请日: 2023-07-19
公开(公告)号: CN116631917A 公开(公告)日: 2023-08-22
发明(设计)人: 戚国强;刘元;王尧;杨友志;蒋士杰;袁云霞;刘泸 申请(专利权)人: 江苏快克芯装备科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 代理人: 王美华
地址: 213100 江苏省常州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 气压 膜压接 装置
【权利要求书】:

1.一种气压膜压接装置,其特征在于:包括第一模块(1)、隔离膜(4)和第二模块(2),所述隔离膜(4)位于第一模块(1)与第二模块(2)之间;

所述第一模块(1)具有第一模板(11),所述第一模板(11)靠近隔离膜(4)的一侧设置有开口朝隔离膜(4)的凹槽(11a);所述第一模块(1)和第二模块(2)被配置成可相对靠拢而夹紧隔离膜(4),使得凹槽(11a)与隔离膜(4)之间形成施压腔(5),第二模块(2)与隔离膜(4)之间形成可放置多个产品(61)的烧结腔(6);

所述施压腔(5)用于和高压气路系统(7)连接,所述高压气路系统(7)被配置成向施压腔(5)通入施压气体,使隔离膜(4)朝向烧结腔(6)内的产品(61)移动而对各个产品(61)施加压力;

所述烧结腔(6)用于和保护气路系统(8)连接,所述烧结腔(6)具有与其连通的进气道(211)和出气道(212),所述保护气路系统(8)与烧结腔(6)的进气道(211)和出气道(212)连通;

所述保护气路系统(8)还被配置为施压腔(5)内的气体因隔离膜(4)破损而进入烧结腔(6)内时,保护气路系统(8)断开与烧结腔(6)的连通。

2.根据权利要求1所述的气压膜压接装置,其特征在于:所述第一模板(11)靠近隔离膜(4)的一侧凸出有围绕凹槽(11a)外周边缘的成闭合结构的凸缘(11b),所述凸缘(11b)用于压紧隔离膜(4)而形成施压腔(5)和烧结腔(6)。

3.根据权利要求1所述的气压膜压接装置,其特征在于:所述保护气路系统(8)包括送气管路(81)、出气管路(86)、进气开关阀(85)、出气开关阀(87)及压力传感器(89);

所述送气管路(81)的入口用于连接提供保护气体的保护气源,送气管路(81)的出口通过进气开关阀(85)与烧结腔(6)的进气道(211)连通;压力传感器(89)用于检测施压腔(5)内部的气压值;所述烧结腔(6)的出气道(212)通过出气开关阀(87)和出气管路(86)的入口连通,出气管路(86)的出口用于连接抽真空机构(88);

所述进气开关阀(85)和出气开关阀(87)均被配置为在压力传感器(89)所检测的施压腔(5)内部的气压值低于阈值时而关闭。

4.根据权利要求3所述的气压膜压接装置,其特征在于:所述高压气路系统(7)包括驱动管路(71)、第一调压阀(74)、气体增压器(76)、施压管路(77)和第一排气阀(715);

所述第一调压阀(74)串联在驱动管路(71)上,驱动管路(71)的入口用于连接提供驱动气体的驱动气源,驱动管路(71)的出口与气体增压器(76)连通;

所述气体增压器(76)串联在施压管路(77)上,施压管路(77)的入口用于连接提供施压气体的施压气源,施压管路(77)的出口与施压腔(5)连通;

所述驱动管路(71)用于为气体增压器(76)提供动力,使施压管路(77)中流入气体增压器(76)内的施压气体进行增压;

所述第一排气阀(715)和施压腔(5)连通,且第一排气阀(715)被配置为在压力传感器(89)检测到施压腔(5)内部的气压值低于阈值时而打开使烧结腔(6)泄压。

5.根据权利要求1所述的气压膜压接装置,其特征在于:所述第二模块(2)包括第二模板(22)和载台(21),所述第二模板(22)靠近第一模块(1)的一侧为上表面,所述载台(21)放置在第二模板(22)的上表面,所述进气道(211)和出气道(212)均位于载台(21)内,所述载台(21)的上端面具有工作面(213)及围绕在工作面(213)四周的结合面(214),所述第一模块(1)和第二模块(2)相对靠拢而夹紧时,隔离膜(4)与结合面(214)贴合,使得隔离膜(4)与工作面(213)之间形成烧结腔(6);

所述工作面(213)的高度与结合面(214)的高度齐平;或者所述工作面(213)的高度低于结合面(214)的高度。

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