[发明专利]一种槽内晶圆篮故障排除方法及装置

说明书

本申请涉及一种槽内晶圆篮故障排除方法和装置，用于将槽内处于异常的晶圆篮取走后，是否可以将该位置的状态调整为无篮，通过调取机械臂进入具有异常状态的晶圆篮的工艺槽判断是否能够抓取晶圆篮，进一步分辨需不需要手动拿走晶圆篮，并在拿走晶圆篮的过程中进行相应的监控，确保系统内状态的调整不会产生误判。

技术领域

本申请属于晶圆清洗设备技术领域，尤其是涉及一种槽内晶圆篮故障排除方法及装置。

背景技术

晶圆清洗设备通常包括很多到工序，比如经过上料、两道工艺、水洗、酸洗、碱洗、水洗、酸洗、酸洗、水洗、碱洗、水洗、臭氧、水洗、酸洗、酸洗、慢提、多道烘干、下料。对应这些工序均有相应的槽体以及上下料设备。

当出现异常状态时，比如晶圆篮卡在某个槽体内时，就可能需要手动调整，取走晶圆篮，此时就需要在控制系统上手动调整晶圆篮状态。但是如果调整不当，则会发生事故，因此，需要进行槽内晶圆篮故障排除以确定槽体内的异常晶圆篮是否被排除。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种在槽内状态进行调整时确保系统内状态的调整不会产生误判槽内晶圆篮故障排除方法及装置。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种槽内晶圆篮故障排除方法，包括以下步骤：

发现晶圆篮处于异常状态时，立即停止上料机构向工艺槽内的进料；

调取机械臂进入具有异常状态的晶圆篮的工艺槽，若机械臂能抓取晶圆篮，则由机械臂正常抓取，并进一步判断出现异常的晶圆篮所在槽体的后续的工艺槽内是否全部为无篮，若全部为无篮则通过机械臂抓取异常的晶圆篮直接送到下料机构；

若后续的其中一个或多个工艺槽内有晶圆篮，则后续的工艺槽内的晶圆篮完成整个工艺流程到达下料机构后，再由机械臂抓取异常的晶圆篮直接送到下料机构；

若机械臂不能抓取晶圆篮，则需要操作人员手动取走晶圆篮，并在手动取走晶圆篮后将虚拟篮界面中的状态调整为“无篮”；

手动取走晶圆篮前停止整个系统的运行，手动取走晶圆篮的过程中，监测槽体内清洗液的液面，槽体内清洗液的液面下降后，再调用附近的无篮的机械手臂伸入到槽体内一次，通过机械手臂上的传感器感应一次槽体内是否存在晶圆篮，仅当机械手臂上的传感器感应槽体内不存在晶圆篮时，监控系统才可将相应工艺槽内的状态调整为“无篮”。

优选地，本发明的槽内晶圆篮故障排除方法，手动取走晶圆篮前，将已处于工艺槽中的正常的晶圆篮按照预定的设置完成工艺后，再进行手动处理。

优选地，本发明的槽内晶圆篮故障排除方法，对于位于异常状态的晶圆篮的工艺前端的正常的晶圆篮按照以下方式进行处理，若系统中具有与异常工艺槽相同功能的工艺槽，则将正常的晶圆篮的工艺调整到与异常工艺槽相同功能的工艺槽内进行；若没有与异常工艺槽相同功能的工艺槽，则将位于异常状态的晶圆篮的工艺前端的正常的晶圆篮标记为异常并依次送至下料机构处。

优选地，本发明的槽内晶圆篮故障排除方法，当发现晶圆篮处于异常状态时，具有异常晶圆篮的工艺槽的清洗液循环功能和清洗液排出功能停止，鼓泡器停止工作。

优选地，本发明的槽内晶圆篮故障排除方法，系统重新工作前，机械臂依次进入每个工艺槽内以探测是否具有晶圆篮。

本发明还提供一种槽内晶圆篮故障排除装置，包括：

进料停止模块，用于再发现晶圆篮处于异常状态时，立即停止上料机构向工艺槽内的进料；

输送模块，用于调取机械臂进入具有异常状态的晶圆篮的工艺槽，若机械臂能抓取晶圆篮，则由机械臂正常抓取，并进一步判断出现异常的晶圆篮所在槽体的后续的工艺槽内是否全部为无篮，若全部为无篮则通过机械臂抓取异常的晶圆篮直接送到下料机构；