[发明专利]一种晶圆键合装置、控制方法及存储介质

权利要求书

1.一种晶圆键合装置，包括第一键合端，其特征在于，所述第一键合端中配置有第一相机、第一物镜、第二物镜、第一反射镜、半反半透镜及定标片，其中，

所述第一相机与所述第一反射镜被分别设于所述半反半透镜的横向两侧，所述第一物镜与所述第二物镜被分别设于所述半反半透镜的纵向两侧，

所述第一相机透过所述半反半透镜，获取所述定标片透过所述第一物镜，并经过所述半反半透镜的第一表面及所述第一反射镜的二次反射的第一图像，以进行光学校准。

2.如权利要求1所述的晶圆键合装置，其特征在于，还包括第二键合端，其中，所述第二键合端中配置有第二相机、第二反射镜及第三物镜，

所述第二相机经由所述第二反射镜，获取所述定标片透过所述第一物镜、所述半反半透镜、所述第二物镜及所述第三物镜投射到所述第二反射镜的第二图像，以进行光学校准。

3.如权利要求2所述的晶圆键合装置，其特征在于，还包括运动平台，用于承载并移动待键合晶圆，其中，

响应于键合指令，所述运动平台将待键合的第一样品及第二样品移动到所述第二物镜及所述第三物镜之间，所述第一相机经由所述半反半透镜的第二表面，获取第一样品透过所述第二物镜投射到所述半反半透镜的第三图像，所述第二相机经由所述第二反射镜，获取第二样品透过所述第三物镜投射到所述第二反射镜的第四图像，其中，所述第一样品及所述第二样品中的至少一者为待键合晶圆。

4.如权利要求2所述的晶圆键合装置，其特征在于，所述定标片朝向所述第一物镜的一侧设有特征标记，所述第一图像及所述第二图像中包含所述特征标记。

5.如权利要求1所述的晶圆键合装置，其特征在于，所述第一物镜上配置有安装结构，所述定标片经由所述安装结构固定连接所述第一物镜。

6.一种晶圆键合装置的控制方法，其特征在于，包括以下步骤：

控制第一相机，透过半反半透镜获取定标片透过第一物镜，并经过所述半反半透镜的第一表面及第一反射镜的二次反射的第一图像，其中，所述晶圆键合装置的第一键合端中配置有所述第一相机、所述第一物镜、第二物镜、所述第一反射镜、所述半反半透镜及所述定标片，所述第一相机与所述第一反射镜被分别设于所述半反半透镜的横向两侧，所述第一物镜与所述第二物镜被分别设于所述半反半透镜的纵向两侧；

控制第二相机，经由第二反射镜获取所述定标片透过所述第一物镜、所述半反半透镜、所述第二物镜及第三物镜投射到第二反射镜的第二图像，其中，所述晶圆键合装置的第二键合端中配置有所述第二相机、所述第二反射镜及所述第三物镜；以及

根据所述第一图像及所述第二图像，对所述第一键合端及所述第二键合端进行光学校准。

7.如权利要求6所述的控制方法，其特征在于，所述第一物镜上配置有安装结构，所述定标片经由所述安装结构固定连接所述第一物镜，

所述控制第一相机，透过半反半透镜获取定标片透过第一物镜，并经过所述半反半透镜的第一表面及第一反射镜的二次反射的第一图像的步骤包括：在获取光学校准指令之前，控制所述第一相机预先获取所述第一图像，

所述控制第二相机，经由第二反射镜获取所述定标片透过所述第一物镜、所述半反半透镜、所述第二物镜及第三物镜投射到第二反射镜的第二图像的步骤包括：响应于所述光学校准指令，控制所述第二相机在线获取所述第二图像。

8.如权利要求6所述的控制方法，其特征在于，所述定标片朝向所述第一物镜的一侧设有特征标记，所述第一图像及所述第二图像中包含所述特征标记。