[发明专利]一种电子元器件表面划痕检测方法

说明书

本发明涉及图像处理技术领域，具体涉及一种电子元器件表面划痕检测方法，该方法包括：获取电子元器件的芯片表面图像及其灰度图像，获取特征值共生矩阵及其角二阶矩，并获取第一高斯滤波半径，获取划痕方向，计算划痕宽度并获取第二高斯滤波半径，将第一高斯滤波半径与第二高斯滤波半径的均值作为最优高斯滤波半径，以最优高斯滤波半径对目标灰度图像进行高斯滤波处理得到去噪图像，根据去噪图像确定划痕区域，本发明通过最优高斯滤波半径对灰度图像进行滤波处理，然后利用滤波处理后的图像进行边缘检测，从而提高划痕区域边缘的检测精度，进而确定准确的划痕区域。

技术领域

本发明涉及图像处理技术领域，具体涉及一种电子元器件表面划痕检测方法。

背景技术

随着制造业技术的快速变革，行业对于电子元器件的需求量不断增加，其中电子元器件的重要器件之一为芯片，芯片在生产制造过程中会对其进行蚀刻、切割、焊接等一系列的加工工序，由于工序的复杂性和随机性，生产出的芯片表面可能会出现划痕缺陷，对于其他电子元器件轻微的划痕可能不影响其使用性，但是对于金属芯片，任何划痕都会影响芯片的存取功能，故对于芯片上划痕的检测十分重要。

现有检测技术是使用阈值分割或者边缘检测对划痕进行检测的，但是边缘检测往往受到图像的品质影响，如果图像中存在较多噪声点，需要对噪声点进行良好的去除，才能保证后续的边缘检测的准确性。

然而，现有去噪技术多为高斯滤波去噪，然而高斯滤波去噪过程中，均采用经验值设定一个固定的高斯滤波半径，由于缺陷大小不同，在利用固定的高斯核半径对不同大小的缺陷进行滤波处理时不同大小的缺陷受到平滑影响程度不同，故使得在利用去噪后的图像进行边缘检测时对缺陷的边缘检测不够准确，从而影响缺陷区域的识别的精准度。

因此，需要提供一种电子元器件表面划痕检测方法，予以解决上述问题。

发明内容

本发明提供一种电子元器件表面划痕检测方法，以解决现有的边缘检测的精度问题。

本发明的一种电子元器件表面划痕检测方法采用如下技术方案：

获取电子元器件的芯片表面图像及其灰度图像；

对灰度图像进行灰度量化得到目标灰度图像，获取目标灰度图像的不同方向下的灰度共生矩阵，根据不同方向下的灰度共生矩阵获取目标灰度图像的纹理特征的特征值共生矩阵，获取特征值共生矩阵的角二阶矩，根据角二阶矩获取第一高斯滤波半径；

计算目标灰度图像不同方向下的灰度共生矩阵对应的自相关值，根据所有自相关值中的最大自相关值确定划痕方向；

在目标灰度图像内设定滑窗，滑窗沿目标灰度图像从左到右、从上到下方向开始滑动，并计算滑窗与其相邻滑窗之间的灰度差，当灰度差大于预设的灰度差阈值时，将滑窗滑动方向调整为沿垂直划痕方向滑动，直至沿垂直划痕方向滑动时的灰度差大于预设的灰度差阈值时，结束滑动；

获取滑窗沿垂直划痕方向滑动时直至沿垂直划痕方向开始滑动到结束滑动时的滑窗数量，并根据滑窗数量、滑窗尺寸及滑窗的滑动方向确定划痕宽度并作为第二高斯滤波半径；

将第一高斯滤波半径与第二高斯滤波半径的均值作为最优高斯滤波半径，以最优高斯滤波半径对目标灰度图像进行高斯滤波处理得到去噪图像，对去噪图像进行边缘检测获得划痕的边缘线，并确定划痕区域。

优选的，对灰度图像进行灰度量化得到目标灰度图像的步骤包括：

获取灰度图像的灰度直方图；

对灰度直方图进行均衡化得到均衡化灰度直方图；

获取均衡化灰度直方图中的灰度级进行压缩得到目标灰度图像。

优选的，根据不同方向下的灰度共生矩阵获取目标灰度图像的纹理特征的特征值共生矩阵的步骤包括：