[发明专利]一种电子元器件表面划痕检测方法

权利要求书

1.一种电子元器件表面划痕检测方法，其特征在于，该方法包括：

获取电子元器件的芯片表面图像及其灰度图像；

对灰度图像进行灰度量化得到目标灰度图像，获取目标灰度图像的不同方向下的灰度共生矩阵，根据不同方向下的灰度共生矩阵获取目标灰度图像的纹理特征的特征值共生矩阵，获取特征值共生矩阵的角二阶矩，根据角二阶矩获取第一高斯滤波半径；

计算目标灰度图像不同方向下的灰度共生矩阵对应的自相关值，根据所有自相关值中的最大自相关值确定划痕方向；

在目标灰度图像内设定滑窗，滑窗沿目标灰度图像从左到右、从上到下方向开始滑动，并计算滑窗与其相邻滑窗之间的灰度差，当灰度差大于预设的灰度差阈值时，将滑窗滑动方向调整为沿垂直划痕方向滑动，直至沿垂直划痕方向滑动时的灰度差大于预设的灰度差阈值时，结束滑动；

获取滑窗沿垂直划痕方向开始滑动到结束滑动时的滑窗数量，并根据滑窗数量、滑窗尺寸及滑窗的滑动方向确定划痕宽度并作为第二高斯滤波半径；

将第一高斯滤波半径与第二高斯滤波半径的均值作为最优高斯滤波半径，以最优高斯滤波半径对目标灰度图像进行高斯滤波处理得到去噪图像，对去噪图像进行边缘检测获得划痕的边缘线，并确定划痕区域。

2.根据权利要求1所述的一种电子元器件表面划痕检测方法，其特征在于，对灰度图像进行灰度量化得到目标灰度图像的步骤包括：

获取灰度图像的灰度直方图；

对灰度直方图进行均衡化得到均衡化灰度直方图；

获取均衡化灰度直方图中的灰度级进行压缩得到目标灰度图像。

3.根据权利要求1所述的一种电子元器件表面划痕检测方法，其特征在于，根据不同方向下的灰度共生矩阵获取目标灰度图像的纹理特征的特征值共生矩阵的步骤包括：

获取不同方向下的目标灰度图像的灰度共生矩阵；

将所有方向下的灰度共生矩阵中对应位置的频数求均值；

将均值作为纹理特征的特征值并得到特征值共生矩阵。

4.根据权利要求1所述的一种电子元器件表面划痕检测方法，其特征在于，根据特征值共生矩阵的灰度对的频数与灰度级的个数计算特征值共生矩阵的角二阶矩。

5.根据权利要求1所述的一种电子元器件表面划痕检测方法，其特征在于，根据角二阶矩获取第一高斯滤波半径的步骤包括：

获取角二阶矩的倒数；

将不超过角二阶矩的倒数的最大整数作为第一高斯滤波半径。

6.根据权利要求1所述的一种电子元器件表面划痕检测方法，其特征在于，计算目标灰度图像不同方向下的灰度共生矩阵对应的自相关值的公式：

式中，表示第个方向的灰度共生矩阵的自相关值，取；

表示第个方向的灰度共生矩阵的第个灰度级的值；

表示第个方向的灰度共生矩阵的第个灰度级值；

K表示灰度级的总数量；

表示第个方向的灰度共生矩阵的灰度对（）的频数；

表示第个方向的灰度共生矩阵中的第行频数的均值；

表示第个方向的灰度共生矩阵中的第列频数的均值；

表示第个方向的灰度共生矩阵中的第行频数的方差；

表示第个方向的灰度共生矩阵中的第列频数的方差。

7.根据权利要求1所述的一种电子元器件表面划痕检测方法，其特征在于，将所有自相关值中的最大自相关值对应的方向作为划痕方向，其中，当最大自相关值大于1个，则将所有最大自相关值对应的方向求均值得到均值方向作为划痕方向。

8.根据权利要求1所述的一种电子元器件表面划痕检测方法，其特征在于，根据滑窗数量、滑窗尺寸及滑窗的滑动方向确定划痕宽度的步骤包括：

当垂直划痕方向为0°或者90°时，滑窗沿着垂直划痕方向滑动时，划痕宽度为，其中n为开始滑动到结束滑动时的滑窗的数量，3为滑窗的边长；

当垂直划痕方向不是0°或者不是90°时，滑窗沿着垂直划痕方向滑动时，划痕宽度为=，其中表示垂直划痕方向。