[发明专利]带孔陶瓷生产带引脚陶瓷覆铜基板的方法在审
申请号: | 202310414953.1 | 申请日: | 2023-04-18 |
公开(公告)号: | CN116477963A | 公开(公告)日: | 2023-07-25 |
发明(设计)人: | 井敏;张继东;施纯锡;冯家伟 | 申请(专利权)人: | 福建华清电子材料科技有限公司 |
主分类号: | C04B37/00 | 分类号: | C04B37/00 |
代理公司: | 泉州协创知识产权代理事务所(普通合伙) 35231 | 代理人: | 吕连川 |
地址: | 362200 福建省泉州*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 陶瓷 生产 引脚 覆铜基板 方法 | ||
本发明涉及一种带孔陶瓷生产带引脚陶瓷覆铜基板的方法,包括以下步骤:SA、对铜箔的一个表面进行氧化,在该表面形成氧化层;SB、在陶瓷基板上预设位置打若干通孔;SC、将铜箔具有氧化层的一个表面与陶瓷基板贴合,然后共烧结;SD、将陶瓷覆铜基板的铜箔一侧进行贴膜、曝光、显影处理,通孔内的靠近铜箔一侧贴膜,曝光区域宽度小于通孔宽度;SE、然后采用蚀刻液进行蚀刻,刻蚀液刻蚀区域经过通孔区域,这样使得铜箔在通孔位置残留下引脚;SF、在陶瓷基板上加工掰断痕,将已经覆铜的陶瓷基板掰成若干具有引脚的陶瓷基板。
技术领域
本发明涉及陶瓷覆铜基板生产技术领域,特别是涉及一种带孔陶瓷生产带引脚陶瓷覆铜基板的方法。
背景技术
覆铜陶瓷基板简称陶瓷覆铜板,Centrotherm DBC(Direct Bonding Copper)。陶瓷材料包括氮化铝/氧化铝/ZTA陶瓷板,陶瓷覆铜板具有陶瓷的高导热、高电绝缘、高机械强度、低膨胀等特性,又兼具无氧铜的高导电性和优异焊接性能,且能像PCB线路板一样刻蚀出各种图形。在制作完成后都需要在覆铜陶瓷基板上进行开设引脚,较为耗时费力,且开设不好机就会导致覆铜陶瓷基板损坏直接造成损失。
发明内容
为克服现有技术存在的技术缺陷,本发明提供一种带孔陶瓷生产带引脚陶瓷覆铜基板的方法,能够生产带引脚覆铜基板。
本发明采用的技术解决方案是:
带孔陶瓷生产带引脚陶瓷覆铜基板的方法,包括以下步骤:
SA、对铜箔的一个表面进行氧化,在该表面形成氧化层;
SB、在陶瓷基板上预设位置打若干通孔;
SC、将铜箔具有氧化层的一个表面与陶瓷基板贴合,然后共烧结,冷却后得到表面具有铜箔的陶瓷覆铜基板;
SD、将陶瓷覆铜基板的铜箔一侧进行贴膜、曝光、显影处理,所述通孔内的靠近铜箔一侧贴膜,所述曝光区域宽度小于通孔宽度;
SE、然后采用蚀刻液进行蚀刻,形成线路图形,得到所述陶瓷覆铜板,所述刻蚀液刻蚀区域经过通孔区域;
SF、在所述陶瓷基板上加工掰断痕,所述掰断痕经过通孔。
优选的,对铜箔的一个表面进行氧化的步骤包括:将铜箔的一面放置于一个陶瓷垫板上,然后整体放入网带烧结炉中进行氧化;所述陶瓷垫板为氧化铝陶瓷片。
优选的,步骤SC中,共烧结的温度为1081-1083℃。
优选的,步骤SE中,所述刻蚀液包括1% -5%碱、2% -8%过氧化氢以及余量的水,所述碱为氢氧化钠或者氢氧化钾。
优选的,步骤SE中,在超声条件下进行,并控温≤25℃,蚀刻时间为20min~45min;第二蚀刻液进行刻蚀时,在超声条件下进行,并控温≤25℃,蚀刻时间3min~15min。
优选的,步骤SF中,掰断痕为激光加工出的线状分布的盲孔。
优选的,步骤 SA中,所述铜箔的厚度为0.2-0.4mm 。
优选的,步骤 SB中,所述氧化铝陶瓷基板的厚度为 0.2-1.5mm。
本发明的有益效果是:
带孔陶瓷生产带引脚陶瓷覆铜基板的方法,包括以下步骤:
SA、对铜箔的一个表面进行氧化,在该表面形成氧化层,该氧化层为氧化亚铜层;
SB、在陶瓷基板上预设位置打若干通孔,各通孔的位置根据引脚位置和引脚大小设计;
SC、将铜箔具有氧化层的一个表面与陶瓷基板贴合,然后共烧结,冷却后得到表面具有铜箔的陶瓷覆铜基板,铜箔与陶瓷基板烧结时,陶瓷基板在各通孔位置并不会与铜箔接触;
SD、将陶瓷覆铜基板的铜箔一侧进行贴膜、曝光、显影处理,所述通孔内的靠近铜箔一侧贴膜,所述曝光区域宽度小于通孔宽度;
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