[发明专利]一种阵列式晶体的制备设备及其工艺在审

专利信息
申请号: 202310360081.5 申请日: 2023-03-29
公开(公告)号: CN116377558A 公开(公告)日: 2023-07-04
发明(设计)人: 陈亨;陈梓昂 申请(专利权)人: 深圳核安电子材料科技有限公司
主分类号: C30B7/02 分类号: C30B7/02;B01D53/04
代理公司: 合肥诺梵知识产权代理事务所(普通合伙) 34293 代理人: 曾基
地址: 518300 广东省深圳市南山区粤海街道高新*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 阵列 晶体 制备 设备 及其 工艺
【权利要求书】:

1.一种阵列式晶体的制备设备,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)顶部左侧固定连接有操作箱(2),所述操作箱(2)内部中心处开设有晶体生长区域(3),所述晶体生长区域(3)左右两侧均开设有调节槽(4),所述调节槽(4)内部上方与下方均滑动连接有调节板(5),所述调节板(5)内部与所述调节槽(4)内部之间共同设置有调节组件(6),左侧所述调节板(5)与右侧所述调节板(5)之间固定连接有隔板(7),所述隔板(7)内部开设有多个均匀分布的通气孔(13),所述晶体生长区域(3)内部上表面的前方与后方分别固定安装有温湿度传感器(9)与冷风机(10),所述操作箱(2)顶部从左到右依次固定安装有控制器(8)与加热器(11)和加湿器(12),所述操作箱(2)右侧开设有凹槽二(50),且所述凹槽二(50)内部与所述晶体生长区域(3)内部相通,所述凹槽二(50)内部前后两表面之间的下方通过所述转动杆三(54)转动连接有箱门(51),且所述箱门(51)与所述凹槽二(50)内部相适配,所述箱门(51)顶部固定连接有密封垫二(49),且所述密封垫二(49)的顶部与所述凹槽二(50)的内部上表面相贴合,所述箱门(51)右侧下方开设有凹槽三(52),所述操作箱(2)右侧下方固定连接有支撑组件(53),且所述支撑组件(53)与所述箱门(51)磁性连接,所述操作箱(2)右侧下方的前方连通有连接管一(14),所述连接管一(14)右端固定安装有吸气泵(15),所述吸气泵(15)右侧固定安装有连接管二(16),所述连接管二(16)右端固定安装有筒体(17),所述筒体(17)内部中心处开设有内槽一(18),且所述内槽一(18)内部右侧与外部相通,所述内槽一(18)内部插接有内筒(19),所述内筒(19)内部开设有内槽二(23),所述内槽二(23)内部填充有固体吸收剂(24),所述内槽二(23)内部左右两侧均开设有左右贯穿式的螺纹孔一(20),所述螺纹孔一(20)内部螺纹连接有外螺纹套环(21),所述外螺纹套环(21)内部固定连接有透气网(22),所述筒体(17)顶部开设有凹槽一(34),所述凹槽一(34)内部插接有盖板(36),且所述盖板(36)底部与所述内筒(19)顶部固定连接,所述盖板(36)前后两表面均固定连接有密封垫一(33),且所述密封垫一(33)外表面与所述凹槽一(34)内部相贴合,所述盖板(36)前后两表面的中心处均开设有限位槽二(35),所述内槽一(18)内部下表面中心处开设有内槽五(48),所述内槽五(48)内部前后两表面均开设有内槽四(42),所述内槽四(42)内部下表面开设有滑槽(43),所述滑槽(43)内部滑动连接有滑块(45),所述滑块(45)远离所述内槽五(48)内部中心处的一侧与所述滑槽(43)内部远离所述内槽五(48)内部中心处的一侧之间固定连接有弹簧四(44),所述滑块(45)顶部固定连接有挤压杆(41),所述挤压杆(41)靠近所述内槽五(48)内部中心处的一端固定连接有挤压块一(46),所述内槽四(42)内部远离所述内槽五(48)内部中心处的一侧开设有内槽三(26),所述内槽三(26)内部通过转动杆一(27)转动连接有摆杆(25),且所述摆杆(25)的外表面下方与所述挤压杆(41)远离所述内槽五(48)内部中心处的一端相贴合,所述摆杆(25)远离所述内槽一(18)内部中心处的一侧的上方与所述内槽三(26)内部远离所述内槽一(18)内部中心处的一侧之间固定连接有弹簧三(28),所述摆杆(25)内部上方开设有左右贯穿式的限位槽一(30),所述限位槽一(30)内部活动连接有限位杆一(29),所述内槽三(26)内部靠近所述内槽一(18)内部中心处的上方开设有前后贯穿式的导向槽(32),所述导向槽(32)内部滑动连接有限位杆二(31),所述限位杆一(29)的右端贯穿所述限位杆二(31)内部位于所述内槽三(26)内部,且与所述限位杆二(31)转动连接,所述限位杆二(31)靠近所述凹槽一(34)内部中心处的一端贯穿所述密封垫一(33),且插接在所述限位槽二(35)内部,所述盖板(36)内部中心处开设有上下贯穿式的螺纹孔二(38),所述螺纹孔二(38)内部螺纹连接有螺纹杆(39),所述内槽二(23)内部上下两表面的中心处均开设有上下贯穿式的通槽六(40),所述螺纹杆(39)的底端贯穿所述通槽六(40)与所述内槽二(23)插接在所述内槽五(48)内部,且固定连接有挤压块二(47),所述挤压块二(47)的外表面与所述挤压块一(46)的外表面相贴合。

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