[发明专利]一种三维集成MEMS声矢量传感器的信号处理方法及装置

权利要求书

1.一种三维集成MEMS声矢量传感器的信号处理方法，其步骤包括：

1)将4个MEMS声矢量敏感芯片分别设置在两对平行对应的侧面上，上述两对平行对应的侧面相互垂直，其中，每个侧面上的MEMS声矢量敏感芯片的敏感平面上敏感方向与水平方向夹角分别是b₁，b₂，b₃，b₄，均为任意角度；

2)获取一对平行侧面上的两个MEMS声矢量敏感芯片的振速信号V₁和V₃，以及在另一平行侧面上的两个MEMS声矢量敏感芯片的振速信号V₂和V₄，按照如下公式计算分别得到Y轴、Z轴方向上的声粒子振速信号分量；

2.一种三维集成MEMS声矢量传感器，其特征在于，包括柱体、MEMS声矢量集成模块和信号采集与处理系统，其中，MEMS声矢量集成模块包括声压传感器和4个MEMS声矢量敏感芯片，4个MEMS声矢量敏感芯片分别设置在柱体的相互垂直的两对平行侧面上，MEMS声矢量集成模块同时获得声压和4个MEMS声矢量敏感芯片的振速信号，信号采集与处理系统，用于对4个MEMS声矢量敏感芯片的振速信号进行采集和计算，获得在X轴、Y轴、Z轴方向上的声粒子振速信号分量。

3.如权利要求2所述的三维集成MEMS声矢量传感器，其特征在于，在MEMS声矢量集成模块内增加一信号调理模块用于对4个MEMS声矢量敏感芯片输出的信号进行放大滤波处理。

4.如权利要求2所述的三维集成MEMS声矢量传感器，其特征在于，所述柱体的截面为长方形、正方形或八边形。

5.如权利要求2所述的三维集成MEMS声矢量传感器，其特征在于，在MEMS声矢量敏感芯片上设置保护壳。