[发明专利]一种微机械陀螺仪及电子产品

说明书

本发明提供一种微机械陀螺仪及电子产品，该微机械陀螺仪包括第一传感组件、第二传感组件、驱动件、第一耦合梁和第二耦合梁。驱动件位于第一传感组件和第二传感组件的沿第一方向相对设置的两侧。第一传感组件通过第一耦合梁与驱动件连接。第二传感组件通过第二耦合梁与驱动件连接。第一耦合梁沿第二方向的刚度大于第一耦合梁沿第三方向的刚度，第三方向垂直于第一平面。第二耦合梁沿第二方向的刚度大于第二耦合梁沿第一方向的刚度。本申请的微机械陀螺仪及电子产品的工作精度较高。

技术领域

本申请涉及陀螺仪技术领域，尤其涉及一种微机械陀螺仪及电子产品。

背景技术

现有技术中微机械陀螺仪是一种典型的角速度传感器，一般包括驱动件、运动件，其工作原理是：驱动件能够驱动运动件在确定的平面内沿确定的方向振动，当外界环境产生沿垂直于上述平面的方向的角速度时，由于哥氏效应，运动件会受到垂直于上述确定方向的哥氏力(科里奥利力)并产生位移，该位移值的大小可以被检测件检测，从而得到上述外界环境的角速度大小，实现对角速度的测量。现有的三轴微机械陀螺仪中用于检测Z轴角速度的运动件和用于检测X/Y轴角速度的运动件不完全解耦，正交误差较大，以使微机械陀螺仪的工作精度较低。

发明内容

本申请提供了一种微机械陀螺仪及电子产品，工作精度较高。

本申请第一方面提供一种微机械陀螺仪，该微机械陀螺仪包括第一传感组件、第二传感组件、驱动件、第一耦合梁和第二耦合梁。第一传感组件包括第一运动件，第一运动件能绕第一方向和/或第二方向摆动，第一方向与第二方向正交。第二传感组件包括第二运动件，第二运动件能在第一方向和第二方向所在的第一平面内运动。驱动件位于第一传感组件和第二传感组件的沿第一方向相对设置的两侧，其中一个驱动件能沿第二方向移动，另一个驱动件能沿第二方向的反向运动。第一传感组件的沿第一方向相对设置的两端通过对应的第一耦合梁与对应的驱动件连接。第二传感组件的沿第一方向相对设置的两端通过对应的第二耦合梁与对应的驱动件连接。第一耦合梁沿第二方向的刚度远大于第一耦合梁沿第三方向的刚度，第三方向垂直于第一平面。第二耦合梁沿第二方向的刚度远大于第二耦合梁沿第一方向的刚度。