[发明专利]一种微机械陀螺仪及电子产品

权利要求书

1.一种微机械陀螺仪，其特征在于，包括：

第一传感组件，包括第一运动件，所述第一运动件能绕第一方向和/或第二方向摆动，所述第一方向与所述第二方向正交；

第二传感组件，包括第二运动件，所述第二运动件能在所述第一方向和所述第二方向所在的第一平面内运动；

驱动件，位于所述第一传感组件和所述第二传感组件的沿第一方向相对设置的两侧，其中一个所述驱动件能沿所述第二方向移动，另一个所述驱动件能沿所述第二方向的反向运动；

第一耦合梁，所述第一传感组件的沿所述第一方向相对设置的两端通过对应的所述第一耦合梁与对应的所述驱动件连接；

第二耦合梁，所述第二传感组件的沿所述第一方向相对设置的两端通过对应的所述第二耦合梁与对应的所述驱动件连接；

所述第一耦合梁沿所述第二方向的刚度大于所述第一耦合梁沿第三方向的刚度，所述第三方向垂直于所述第一平面；

所述第二耦合梁沿所述第二方向的刚度大于所述第二耦合梁沿所述第一方向的刚度。

2.根据权利要求1所述的微机械陀螺仪，其特征在于，所述第一传感组件还包括第一解耦组件、第一扭转组件、第一固定锚点和第二固定锚点，所述第一解耦组件的结构为框形结构，所述第一解耦组件的外边缘通过所述第一耦合梁与所述驱动件连接，所述第一运动件、所述第一扭转组件、所述第一固定锚点和所述第二固定锚点均位于所述第一解耦组件所围合的空间内，所述第一运动件和所述第一固定锚点均与所述第一解耦组件连接，所述第一运动件设置有第一镂空部，所述第一扭转组件和所述第二固定锚点设置于所述第一镂空部内，所述第一运动件通过所述第一扭转组件与所述第二固定锚点连接。

3.根据权利要求2所述的微机械陀螺仪，其特征在于，所述第一解耦组件包括第一解耦件、第一解耦梁、第一解耦锚接梁，所述第一解耦件的结构为矩形框结构，所述第一解耦件的两个相对设置的外边缘均通过对应的所述第一耦合梁与对应的所述驱动件连接，所述第一解耦件的四个内边缘均通过对应的所述第一解耦梁与所述第一运动件连接，所述第一解耦件的四个内边缘均通过对应的所述第一解耦锚接梁与对应的所述第一固定锚点连接；

所述第一解耦梁沿第二方向的刚度大于所述第一解耦梁沿所述第三方向的刚度。

4.根据权利要求2所述的微机械陀螺仪，其特征在于，所述第一扭转组件包括扭转框、第一扭转梁、第二扭转梁，所述扭转框的两个相对设置的外边缘通过对应的所述第一扭转梁与所述第一运动件中对应的内边缘连接，所述扭转框的两个相对设置的内边缘通过对应的所述第二扭转梁与所述第二固定锚点连接，所述第一扭转梁与所述第二扭转梁正交。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的微机械陀螺仪，其特征在于，所述第二传感组件还包括第二解耦组件、第三固定锚点，所述第二运动件通过所述第二耦合梁与所述驱动件连接，所述第二运动件通过所述第二解耦组件与所述第三固定锚点连接。

6.根据权利要求5所述的微机械陀螺仪，其特征在于，第二解耦组件包括第二解耦件、第二解耦梁和第二解耦锚接梁，所述第二解耦件通过所述第二解耦梁与所述第二运动件连接，所述第二解耦件通过所述第二解耦锚接梁与所述第三固定锚点连接，所述第二解耦梁沿所述第一方向设置，所述第二解耦锚接梁沿所述第二方向设置；

所述第二解耦梁沿所述第二方向的刚度小于所述第二解耦梁沿所述第一方向的刚度；

所述第二解耦锚接梁沿所述第二方向的刚度大于所述第二解耦锚接梁沿所述第一方向的刚度。

7.根据权利要求5所述的微机械陀螺仪，其特征在于，所述第二传感组件包括两个相对设置的所述第二解耦组件、两个相对设置的所述第二运动件，每个所述第二解耦组件与对应的所述第二运动件连接，所述第二传感组件还包括第三耦合梁，所述第三耦合梁的两端与对应的所述驱动件连接，所述第三耦合梁还分别与两个相对设置的所述第二运动件连接。