[发明专利]无应力减薄设备

权利要求书

1.无应力减薄设备，包括承接箱(1)、蚀刻工作台(4)与晶圆携持臂(7)，其特征在于，所述蚀刻工作台(4)通过支撑架(3)设置在承接箱(1)中，所述蚀刻工作台(4)中设有蚀刻化学液盒(5)，且蚀刻化学液盒(5)外侧设有过滤框(6)并套设在蚀刻工作台(4)外侧部。

2.根据权利要求1所述的无应力减薄设备，其特征在于，所述支撑架(3)包括两个支撑横板(310)，且两个支撑横板(310)底部靠近两端的位置皆设有加强板(320)，两个支撑横板(310)的同一端皆设有通过螺栓与承接箱(1)内壁连接的连接块(340)，两个支撑横板(310)顶部远离连接块(340)的位置皆设有搭接块(330)；

所述蚀刻工作台(4)底部开设有供搭接块(330)进行插设的搭接孔(450)。

3.根据权利要求1所述的无应力减薄设备，其特征在于，所述蚀刻工作台(4)顶部中间位置贯穿开设有用于安放蚀刻化学液盒(5)的安装孔(410)；

所述蚀刻化学液盒(5)表面固定套设有连接环(510)，所述蚀刻化学液盒(5)表面还连通设有用将化学液注入到蚀刻化学液盒(5)中的进液管(520)。

4.根据权利要求1所述的无应力减薄设备，其特征在于，所述蚀刻工作台(4)顶部位于安装孔(410)外部固定设有导流边(420)，所述蚀刻工作台(4)顶部开设有用于将蚀刻工作台(4)顶部化学液导流下去的导流槽(430)。

5.根据权利要求1所述的无应力减薄设备，其特征在于，所述过滤框(6)内侧壁靠近顶部拐角处的位置固定设有限位块(610)，所述蚀刻工作台(4)顶部靠近拐角处的位置开设有与限位块(610)相匹配的限位槽(440)。

6.根据权利要求1所述的无应力减薄设备，其特征在于，所述承接箱(1)内部底端设有用于对承接箱(1)内部底端沉淀附着物进行清理的清理结构(2)，且清理结构(2)包括驱动组件与清理组件，其中驱动组件用于带动清理组件进行清理工作。

7.根据权利要求6所述的无应力减薄设备，其特征在于，所述驱动组件包括设置在承接箱(1)外表面的伺服电机(240)，所述伺服电机(240)的输出端的输出轴上设有双槽的传动轮B(241)；

所述驱动组件还包括贯穿承载箱(1)的两个丝杆(220)，两个丝杆(220)表面靠近一端的位置上皆套设有单槽的传动轮A(230)并位于承载箱(1)外部，且两个传动轮A(230)与一个传动轮B(241)之间皆套设有传动带(250)。

8.根据权利要求6所述的无应力减薄设备，其特征在于，所述清理组件包括设置在承载箱(1)内部底端的两个相对的清理板(210)，且两个清理板(210)顶部皆固定设有两个与丝杆(220)相匹配套设的驱动块(2112)。

9.根据权利要求8所述的无应力减薄设备，其特征在于，所述清理板(210)包括相连接的挡板(211)与清理底块(212)，所述挡板(211)底部开设有连接插孔(2111)，所述清理底块(212)顶部固定设有与连接插孔(2111)相插配的连接插块(2121)。

10.根据权利要求9所述的无应力减薄设备，其特征在于，所述清理底块(212)包括方形杆部、三棱杆部与梯形杆部，其中三棱杆部与梯形杆部分别一体连接在方形杆部两侧，并且在两个清理底块(212)中，两个清理底块(212)中的梯形杆部处于相对位置。