[发明专利]一种衰减器加工方法及设备在审
申请号: | 202310230607.8 | 申请日: | 2023-03-07 |
公开(公告)号: | CN116288240A | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 高闿阅;陈书超;肖新来;周金;张毅;董金伟;高志强;张彬 | 申请(专利权)人: | 山东微波电真空技术有限公司 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C23C16/46;C23C16/04;C23C16/52;C23C16/458;C23C16/448 |
代理公司: | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人: | 孟令鲁 |
地址: | 250000 山东省济南市历城区王*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 衰减器 加工 方法 设备 | ||
1.一种衰减器加工设备,其特征在于,包括:
外壳,其内形成真空腔室;
供气组件,其能够向真空腔室供给正庚烷气体;
加热机构,其设于所述真空腔室中,所述加热机构能够通过加热面向外辐射热量;
夹持机构,其能够定位夹持杆并驱动所述夹持杆自转,以使得所述夹持杆沿第一方向延伸并靠近所述加热面,进而使得所述夹持杆能够承接从所述加热面处辐射出的热量;
所述加热机构具有楔形导热板,所述楔形导热板的外侧面形成所述加热面,所述楔形导热板的厚度沿第一方向依次变化,以调节所述夹持杆任意位置与所述加热面的距离,进而调节所述夹持杆不同位置的温度。
2.根据权利要求1所述的衰减器加工设备,其特征在于,所述楔形导热板的加热面包括相拼接的直面和斜面,所述直面与所述第一方向平行。
3.根据权利要求1所述的衰减器加工设备,其特征在于,所述加热机构成对布置,成对布置的两个所述加热机构的所述楔形导热板相对设置且沿所述第一方向的厚度变化趋势一致。
4.根据权利要求1所述的衰减器加工设备,其特征在于,所述夹持机构具有旋转驱动组件,所述旋转驱动组件能够带动所述夹持杆沿自身轴线转动。
5.根据权利要求1所述的衰减器加工设备,其特征在于,外壳中布设沿第一方向的轨道,夹持机构通过轨道滑动安装在外壳的真空腔室中,所述夹持机构能够沿第一方向滑动并固定。
6.根据权利要求2所述的衰减器加工设备,其特征在于,所述楔形导热板沿第一方向的一端与加热机构的本体转动连接,并能够相对于本体转动设定角度并固定,以调节所述斜面与所述第一方向的夹角。
7.根据权利要求2所述的衰减器加工设备,其特征在于,所述加热机构转动安装于所述外壳的内腔中,所述加热机构能够相对于所述外壳转动设定角度并固定,以调节所述斜面与所述第一方向的夹角。
8.根据权利要求1所述的衰减器加工设备,其特征在于,所述加热机构包括箱体,所述箱体一端开口且所述开口处安装有所述楔形导热板,所述箱体内腔设有加热本体,所述加热本体与所述楔形导热板贴合,所述加热本体与所述箱体内壁具有间隙,所述楔形导热板与所述箱体内壁之间安装有隔热件。
9.根据权利要求1所述的衰减器加工设备,其特征在于,所述供气组件包括下端通过管件连通以组成连通器的第一瓶体和第二瓶体,所述第一瓶体处于恒温水箱中,所述第一瓶体竖向布置且其沿水平方向的截面恒定,所述第一瓶体上端与真空腔室连通,所述第二瓶体的上端通过管路与泄压阀连通,所述泄压阀与废气管道连通。
10.一种衰减器加工方法,利用了权利要求1-9中任意一项所述的衰减器加工设备,其特征在于,包括以下步骤:
在夹持杆中不需要镀碳膜的位置包覆贴纸;
打开外壳,将夹持杆需要镀碳膜的区域靠近加热面;沿第一方向移动并定位夹持杆,使得需要镀碳膜的夹持杆区域与所述加热机构的辐射加热区域适配;
利用夹持机构固定夹持杆,关闭并密封外壳;
启动加热机构,向所述真空腔室供给正庚烷气体,夹持机构带动夹持杆转动;
所述加热机构经楔形导热面向被定位的夹持杆辐射热量,所述夹持杆沿长度方向设定位置的温度因距离加热面的数值不同而呈梯度变化;
夹持杆在不同位置的温度不同,进而在夹持杆设定区域处的正庚烷受热分解形成的碳膜厚度沿第一方向依次变化。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的