[发明专利]一种太阳能电池板及其制备方法

权利要求书

1.一种太阳能电池板，其特征在于，包括依次层叠设置的金属电极、减反射层、稀土上转换层、硅片和背电极；所述硅片包括P-Si层和N-Si层，且在P-Si层和N-Si层之间形成PN结；

所述稀土上转换层是由以下方法制得：

S1、靶材制备

将氟化钠、稀土氟化物和上转换稀土元素源混合配置成混合粉体，经真空热压烧结，制得稀土掺杂层，然后利用导电胶将稀土掺杂层与背板层贴合，制得靶材；

S2、将靶材和硅片分别置于溅射室的相应位置，并将溅射室抽真空至5×10^-5Pa～6.0×10^-4Pa，对靶材通过预溅射进行表面除杂，然后将硅片置于辉光中，调节功率进行起辉溅射；

S3、将S2得到的样品在200～350℃下退火1-2小时，使硅片靠近其P-Si层的一侧沉积一层稀土上转换层。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池板，其特征在于，S1中，所述上转换稀土元素源为PrF₃、NdF₃、HoF₃、EuF₃、ErF₃、TmF₃、YbF₃中的任意一种或者多种的组合；

所述稀土氟化物为GdF₃、YF₃、LuF₃中的任意一种。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池板，其特征在于，S1中，氟化钠、稀土氟化物与上转换稀土元素源的摩尔比为：76～80：4～20：0.1～0.4。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池板，其特征在于，S1中，所述靶材的厚度≤6mm；所述背板层的厚度≥2mm；所述稀土掺杂层的厚度≤3mm。

5.根据权利要求1所述的太阳能电池板，其特征在于，S1中，真空热压烧结的条件为：真空度为10^-2Pa，烧结温度为1000±5℃，烧结压力为30MPa，保温保压时间为8h。

6.根据权利要求1所述的太阳能电池板，其特征在于，S2中，调节功率进行起辉溅射的具体操作如下：

向溅射室内充入氩气，调节靶材和硅片之间的间距为90～130mm，调节溅射压强4～10Pa，射频电源溅射功率100~150W，进行起辉溅射，溅射时间30min。

7.根据权利要求1所述的太阳能电池板，其特征在于，S3中，退火操作是在真空度为5×10^-5Pa～6.0×10^-4Pa下进行的。

8.根据权利要求1所述的太阳能电池板，其特征在于，所述稀土上转换层的厚度为20～500nm。