[发明专利]基于散点图的半导体批次优先级及生产计划分析方法

说明书

本发明公开了一种基于散点图的半导体批次优先级及生产计划分析方法，包括如下步骤：(1)通过数据预处理，将需要展现的数据处理成需要的形式；(2)定义各轴坐标；(3)点击图中坐标点，展现Lot信息、当前工序、当前排产耗时、工序名称的相关信息：优先级、类型、站点名、工序名称、Lot实时状态、排产耗时等信息的综合展现。本发明基于散点图的形式完成对Lot排产优先级、Lot实时状态、工序名称、站点描述、排产耗时等信息的综合展现，降低人工及MES系统参与度，能够有效提高对Lot追踪判断的准确性及管理的智能化。

技术领域

本发明涉及半导体及面板等行业生产制造技术领域，具体涉及一种基于散点图的半导体批次优先级及生产计划分析方法。

背景技术

目前半导体行业及面板行业一般都是通过MES制造执行系统，(manufacturingexecution system，简称MES)去查询生产过程中的Lot所在工艺站点、Lot实时状态(Hold、Run、Wait等)、Lot排产计划，而这种庞大的系统操作难度较高，采用本申请中的分析方法可以提高

发明内容

本申请提供了一种基于散点图的半导体批次优先级及生产计划分析方法，其目的在于，解决生产制造过程中Lot所在工艺站点、Lot实时状态(Hold、Run、Wait等)、Lot排产计划实时追踪及追溯分析，节省人工及其他系统核验分析的成本，以提高对Lot追踪判断的准确性及管理的智能化。

本申请是通过以下技术方案实现的：

一种基于散点图的半导体批次优先级及生产计划分析方法，包括如下步骤：

(1)通过数据预处理，将需要展现的数据处理成需要的形式；

(2)定义各轴坐标；

(3)点击图中坐标点，展现Lot信息、当前工序、当前排产耗时、工序名称的相关信息。

作为优先实施例，所述步骤(1)中将需要展现的数据处理成以下形式：

作为优选实施例，所述步骤(3)中的相关信息包括优先级、类型、站点名、工序名称、Lot实时状态、排产耗时的信息的综合展现。

有益效果：本发明基于散点图的形式完成对Lot排产优先级、Lot实时状态、工序名称、站点描述、排产耗时等信息的综合展现，降低人工及MES系统参与度，能够有效提高对Lot追踪判断的准确性及管理的智能化。

附图说明

图1为本申请的操作模块结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的实施例作详细说明：本实施例在以本发明技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本发明的保护范围不限于下述的实施例。

一种基于散点图的半导体批次优先级及生产计划分析方法，包括如下步骤：

(1)通过数据预处理，将需要展现的数据处理成以下的形式；

(2)定义各轴坐标；

(3)点击图中坐标点，展现Lot信息、当前工序、当前排产耗时、工序名称的相关信息：优先级、类型、站点名、工序名称、Lot实时状态、排产耗时等信息的综合展现。

各轴坐标表示含义如下表：

如图1所示，