[发明专利]巴条的裂片方法、裂片机、计算机设备及介质在审
| 申请号: | 202310029705.5 | 申请日: | 2023-01-09 |
| 公开(公告)号: | CN115954266A | 公开(公告)日: | 2023-04-11 |
| 发明(设计)人: | 佘宽;宋克江;叶杨椿;魏秀强;王政;姜星;闫大鹏 | 申请(专利权)人: | 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/304 | 分类号: | H01L21/304;H01L21/67;H01L21/78 |
| 代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 常孟 |
| 地址: | 430000 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 裂片 方法 计算机 设备 介质 | ||
本申请提供一种巴条的裂片方法、裂片机、计算机设备及介质,方法包括:获取划片完成的目标巴条;接收到针对目标巴条的裂片指令时,确定目标巴条上的多个划片位置,并作为目标巴条上的多个裂片位置;获取目标巴条上的合格芯片的位置信息;基于位置信息,确定出多个裂片位置中的多个目标裂片位置;基于目标裂片位置,控制裂片机的裂刀对目标巴条进行裂片处理。本申请通过在划片完成后,基于合格芯片的位置信息,在多个划片位置中筛选出对应的目标裂片位置,并基于目标裂片位置进行裂片,从而避免在不合格芯片处裂片,减少了无效的裂片动作,提高了裂片机设备的产能。
技术领域
本申请涉及半导体激光器技术领域,具体涉及一种巴条的裂片方法、裂片机、计算机设备及介质。
背景技术
在通过裂片机对巴条(bar)进行裂片时,是按照巴条上的划片位置执行裂片动作的。由于划片位置往往是处于巴条上每一芯片的两侧,使得裂片动作也会在巴条上每一芯片的两侧执行。但由于巴条上通常会存在部分不合格的芯片,若仍在巴条上每一芯片的两侧执行裂片动作,每一不合格芯片也会被裂为一片,造成无效的裂片动作,极大浪费了裂片机设备的产能。
发明内容
本申请提供一种巴条的裂片方法、裂片机、计算机设备及介质,旨在提高裂片机设备的产能。
一方面,本申请提供一种巴条的裂片方法,所述巴条的裂片方法包括:
获取划片完成的目标巴条;
接收到针对所述目标巴条的裂片指令时,确定所述目标巴条上的多个划片位置,并作为所述目标巴条上的多个裂片位置;
获取所述目标巴条上的合格芯片的位置信息;
基于所述位置信息,确定出所述多个裂片位置中的多个目标裂片位置;
基于所述目标裂片位置,控制裂片机的裂刀对所述目标巴条进行裂片处理。
在本申请一种可能的实现方式中,所述目标巴条上各芯片的两侧分别具有一个所述划片位置,所述基于所述位置信息,确定出所述多个裂片位置中的多个目标裂片位置,包括:
基于所述位置信息,确定所述合格芯片两侧的裂片位置,所述多个目标裂片位置中包括所述合格芯片两侧的裂片位置。
在本申请一种可能的实现方式中,所述基于所述目标裂片位置,控制裂片机的裂刀对所述目标巴条进行裂片处理,包括:
基于所述目标裂片位置,确定裂片机的裂刀的目标移动距离;
控制裂片机的裂刀移动,以使裂片机的裂刀的移动距离达到所述目标移动距离;
控制裂片机的裂刀进行裂片处理。
在本申请一种可能的实现方式中,所述基于所述目标裂片位置,确定裂片机的裂刀的目标移动距离,包括:
在多个所述目标裂片位置中,确定位置相邻的两个所述目标裂片位置之间的不合格芯片数量;
基于所述不合格芯片数量,确定裂片机的裂刀的目标移动距离。
在本申请一种可能的实现方式中,所述基于所述排序中相邻的两个所述目标裂片位置,确定裂片机的裂刀的目标移动距离,包括:
获取预设的芯片宽度;
基于所述不合格芯片数量和所述芯片宽度,确定裂片机的裂刀的目标移动距离。
在本申请一种可能的实现方式中,所述基于所述目标裂片位置,确定裂片机的裂刀的目标移动距离,包括:
获取所述目标巴条的来料信息,所述来料信息中包括所述目标巴条上的各芯片的标记,所述合格芯片与不合格芯片的标记不同;
基于所述来料信息,确定所述目标巴条上的合格芯片的位置信息。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





