[发明专利]一种低温共烧生瓷、制备方法及陶瓷基板在审
申请号: | 202310003965.5 | 申请日: | 2023-01-03 |
公开(公告)号: | CN116102340A | 公开(公告)日: | 2023-05-12 |
发明(设计)人: | 曹迪;袁礼新;杜兆富;闫旭;任俊卿;闫沁宇 | 申请(专利权)人: | 北京航天微电科技有限公司 |
主分类号: | C04B35/10 | 分类号: | C04B35/10;C04B35/622;C03C12/00;C04B35/632;C04B35/64;H01L23/15;H01L21/48 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 厉洋洋 |
地址: | 100854*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 低温 共烧生瓷 制备 方法 陶瓷 | ||
本发明涉及电子陶瓷材料技术领域,具体而言,涉及一种低温共烧生瓷、制备方法及陶瓷基板。所述低温共烧生瓷的成分包括玻璃粉体、陶瓷粉体、溶剂以及添加剂;所述玻璃粉体为改性钙硼硅玻璃粉体,所述陶瓷粉体为α‑氧化铝、或α‑氧化铝和二氧化硅的混合物、或α‑氧化铝和钛酸钙的混合物。该低温共烧生瓷,可化学镀、可兼容全银浆料体系;改性钙硼硅玻璃粉体可抑制银在高温烧结过程中的扩散;该陶瓷基板具有抗酸碱腐蚀能力,满足化学镀后陶瓷基板的应用可靠性;介电损耗低,能满足多样化的器件、模组的设计需求;该制备方法,具有步骤简单、效率高、成本低的优点。
技术领域
本发明涉及电子陶瓷材料技术领域,具体而言,涉及一种低温共烧生瓷、制备方法及陶瓷基板。
背景技术
低温共烧陶瓷(Low temperature co-fired ceramics,简称LTCC)技术是一种先进的无缘继承及混合电路封装技术。LTCC材料主要包括LTCC生瓷和匹配电子浆料,广泛应用于高频通讯、射频领域等多层互联基板的制造。
以LTCC为基础的多芯片组件具有组装密度高、体积小、重量轻、性能优良、功能多样等特点,是新一代通讯系统、电子设备等的基本单元和核心器件。采用LTCC多层婚恋基板工艺,可大大提高模块的集成度,减小体积和重量,提高可靠性,从而支撑电子设备高性能、小型化发展需求。目前高可靠LTCC基板一般配套金浆料使用,高材料成本限制了其快速发展。通过全银浆料完成基板制备,并通过化学镀工艺在基板表面镀覆NiAu或Ni PdAu可大大降低材料的应用成本,并满足表面的键合与焊接需求,同时保证使用的可靠性。目前现有的LTCC材料在与银浆料共烧时会引起银在高温下在陶瓷中扩散,陶瓷基板发黄,降低基板的绝缘电阻;在化学镀过程中,由于除油、活化等工序需要在碱性或酸性条件下进行,其溶液对LTCC基板也有一定的腐蚀作用,二者均会影响LTCC基板的使用可靠性。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种低温共烧生瓷、制备方法及陶瓷基板。
本发明解决上述技术问题的技术方案如下:
本发明提供一种低温共烧生瓷,所述低温共烧生瓷的成分包括玻璃粉体、陶瓷粉体、溶剂以及添加剂;所述玻璃粉体为改性钙硼硅玻璃粉体,所述陶瓷粉体为α-氧化铝、或α-氧化铝和二氧化硅的混合物、或α-氧化铝和钛酸钙的混合物。
进一步,所述改性钙硼硅玻璃粉体的成分及各成分的质量份数为,二氧化硅40~65份、氧化硼3~20份、氧化钙4~25份、氧化铅0~20份、氧化镁0~5份、氧化铝2~15份、氧化钛0~4份、氧化锌0~5份、氧化锆0~10份、氧化钠1~10份、氧化钾1~10份、氧化锶2~4份。
进一步,所述玻璃粉体和所述陶瓷粉体的粉体粒径中位数相同或不同,所述粉体粒径的中位数为1.3~3.2μm。
进一步,低温共烧生瓷的浆料中,各成分的质量份数为,玻璃粉体为20~40份、α-氧化铝为17~40份、二氧化硅为0~10份、钛酸钙质量分数0~10份,溶剂为26~42份,添加剂为3.5~14份。
进一步,所述溶剂为第一有机溶剂和第二有机溶剂的混合物,或为所述第一有机溶剂、所述第二有机溶剂或第三有机溶剂的混合物;
其中,所述第一有机溶剂为乙醇,所述第二有机溶剂为乙酸乙酯、丁酮、异丙酮中的一种或多种,所述第三有机溶剂为正丁醇。
进一步,所述添加剂包括分散剂、粘接剂和增塑剂;其中,所述分散剂的质量为所述玻璃粉体和所述陶瓷粉体总质量的1%~5%,所述粘接剂的质量为所述玻璃粉体和所述陶瓷粉体总质量的5%-12%,所述增塑剂的质量为所述粘接剂质量的25%-50%。
本发明提供一种如上述的低温共烧生瓷制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1-3、分别称取所述改性钙硼硅玻璃粉体和所述陶瓷粉体,加入所述溶剂和所述添加剂,球磨制备得到生瓷浆料;
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