[发明专利]一种低温共烧生瓷、制备方法及陶瓷基板在审
申请号: | 202310003965.5 | 申请日: | 2023-01-03 |
公开(公告)号: | CN116102340A | 公开(公告)日: | 2023-05-12 |
发明(设计)人: | 曹迪;袁礼新;杜兆富;闫旭;任俊卿;闫沁宇 | 申请(专利权)人: | 北京航天微电科技有限公司 |
主分类号: | C04B35/10 | 分类号: | C04B35/10;C04B35/622;C03C12/00;C04B35/632;C04B35/64;H01L23/15;H01L21/48 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 厉洋洋 |
地址: | 100854*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 低温 共烧生瓷 制备 方法 陶瓷 | ||
1.一种低温共烧生瓷,其特征在于,所述低温共烧生瓷的成分包括玻璃粉体、陶瓷粉体、溶剂以及添加剂;所述玻璃粉体为改性钙硼硅玻璃粉体,所述陶瓷粉体为α-氧化铝,或α-氧化铝和二氧化硅的混合物,或α-氧化铝和钛酸钙的混合物。
2.根据权利要求1所述一种低温共烧生瓷,其特征在于,所述改性钙硼硅玻璃粉体的成分及各成分的质量份数为,二氧化硅40~65份、氧化硼3~20份、氧化钙4~25份、氧化铅0~20份、氧化镁0~5份、氧化铝2~15份、氧化钛0~4份、氧化锌0~5份、氧化锆0~10份、氧化钠1~10份、氧化钾1~10份、氧化锶2~4份。
3.根据权利要求1所述一种低温共烧生瓷,其特征在于,所述玻璃粉体和所述陶瓷粉体的粉体粒径中位数相同或不同,所述粉体粒径的中位数为1.3~3.2μm。
4.根据权利要求1~3任意一项所述一种低温共烧生瓷,其特征在于,所述低温共烧生瓷的浆料中,各成分的质量份数为,所述玻璃粉体为20~40份、所述α-氧化铝为17~40份、二氧化硅为0~10份、所述钛酸钙质量分数0~10份,所述溶剂为26~42份,所述添加剂为3.5~14份。
5.根据权利要求4所述一种低温共烧生瓷,其特征在于,所述溶剂为第一有机溶剂和第二有机溶剂的混合物,或为所述第一有机溶剂、所述第二有机溶剂和第三有机溶剂的混合物;
其中,所述第一有机溶剂为乙醇,所述第二有机溶剂为乙酸乙酯、丁酮、异丙酮中的一种或多种,所述第三有机溶剂为正丁醇。
6.根据权利要求5所述一种低温共烧生瓷,其特征在于,所述添加剂包括分散剂、粘接剂和增塑剂;其中,所述分散剂的质量为所述玻璃粉体和所述陶瓷粉体总质量的1%~5%,所述粘接剂的质量为所述玻璃粉体和所述陶瓷粉体总质量的5%-12%,所述增塑剂的质量为所述粘接剂质量的25%-50%。
7.一种如权利要求1~6任意一项所述的低温共烧生瓷制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1-3、分别称取所述改性钙硼硅玻璃粉体和所述陶瓷粉体,加入所述溶剂和所述添加剂,球磨制备得到生瓷浆料;
S1-4、将所述生瓷浆料经脱泡、流延工艺,得到所述低温共烧生瓷。
8.根据权利要求7所述一种低温共烧生瓷制备方法,其特征在于,所述改性钙硼硅玻璃粉体的制备步骤如下:
S1-1、称取所述改性钙硼硅玻璃粉体的各成分并混合均匀,加热至熔融状态并保温,保温后将熔融的混合物倒入去离子水中冷却至室温,得到玻璃固化物;其中,加热的温度为1400~1600℃,保温时间为1h;
S1-2、将所述玻璃固化物取出并烘干,烘干后制粉,得到所述改性钙硼硅玻璃粉体。
9.一种陶瓷基板,其特征在于,所述陶瓷基板采用权利要求1~6任意一项所述的低温共烧生瓷制备得到。
10.一种如权利要求9所述的陶瓷基板的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
S2-1、将所述低温共烧生瓷经切割、叠层、温等静压的步骤得到低温共烧生坯;
S2-2、将所述低温共烧生坯以2℃/min的速度升温至450℃,之后,排胶1-3h;再以5-8℃/min的速度升温至830-900℃,保温10~30min,最后以10℃/min的速度降温至室温,得到所述陶瓷基板。
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